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- [发明专利]一种有效调制TiNx金属栅功函数的方法-CN200910200008.1无效
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王晓荣;蒋玉龙;茹国平;屈新萍;李炳宗
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复旦大学
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2009-12-04
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2011-06-08
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H01L21/28
- 本发明属微电子技术领域,涉及一种有效调制TiNx金属栅功函数的方法。本发明在已形成栅介质的材料上用正胶进行光刻,形成一定面积的图形,再把淀积一定厚度的TiNx做栅极后,在TiNx薄膜上再淀积一定厚度的Al或直接用钛靶和铝靶在含氮气气氛下共溅射的方法获得AlxTiyN1-x-y合金化合物金属栅。所有的薄膜做完后再对材料进行liftoff处理,最终形成具有一定图形面积的Al/TiNx/栅介质层/衬底Si或者AlxTiyN1-x-y/栅介质层/衬底Si结构,然后对材料进行不同时间以及不同温度的快速热退火,在热的作用下,Al/TiNx叠层结构或者AlxTiyN1-x-y化合物薄膜结构将发生一定变化,使栅极的功函数发生相应变化。本发明通过铝的引入从而实现TiNx金属栅功函数的有效调节,使其对应的费米能级能够接近衬底硅的导带边,同时又具有工艺简单的优点。
- 一种有效调制tinsub金属函数方法
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