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- [发明专利]激光退火装置-CN201610495085.4有效
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李洪鲁;李忠焕
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三星显示有限公司
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2016-06-29
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2022-02-08
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H01L21/02
- 一种激光退火装置包括：接收具有非晶硅层的基板的基板支撑件；将线激光束照射到设置于基板支撑件上的基板上的激光束照射单元；以及在第一方向以及与第一方向相交的第二方向上移动基板支撑件、并在由第一方向和第二方向限定的第一平面内旋转基板支撑件的基板传输单元。基板传输单元在第一平面内将基板支撑件旋转小于约90度的角度θ，并基本同时在第一方向和第二方向二者上移动基板支撑件。激光束照射单元在基板传输单元移动基板支撑件时将线激光束多次照射到设置于基板支撑件上的基板上。
- 激光退火装置
- [发明专利]悬浮传感器故障诊断仪-CN201811322095.3有效
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吴峻;李中秀;易凌浩;唐训发;李洪鲁
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中国人民解放军国防科技大学
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2018-11-08
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2020-10-27
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G01D18/00
- 一种悬浮传感器故障诊断仪，包括航空连接器、隔离变压器、RS485接收芯片、FPGA芯片、ARM控制器、显示器、UART‑USB桥接器、蓝牙模块连接器、Mini USB连接器、电源。由多台悬浮传感器故障诊断仪和故障诊断计算机组成悬浮传感器故障诊断网络，悬浮传感器故障诊断网络中一台故障诊断计算机作为主节点，一台悬浮传感器故障诊断仪作为一个从节点。悬浮传感器故障诊断网络由一个主节点和多个从节点组成。主节点实现从节点数据收集的功能；从节点实现单个悬浮传感器数据采集与分析功能。故障诊断计算机通过轮询的方式，实现与从节点数据连接与传输。本发明无需连线和外部供电，可同时实现多只悬浮传感器的无线检测和诊断，提高传感器生产及使用维护的效率。
- 悬浮传感器故障诊断仪
- [发明专利]激光结晶装置-CN201911095669.2在审
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申东勋;金志桓;朴京镐;孙明石;李洪鲁;崔京植
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三星显示有限公司
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2019-11-11
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2020-07-21
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H01L21/268
- 根据本公开的激光结晶装置可包括光源部、第一光学部、第二光学部、阻断部、第三光学部以及工作台。所述光源部可射出第一激光束。所述第一光学部可改变所述第一激光束的路径及大小而将所述第一激光束转换为第二激光束。所述第二光学部可将所述第二激光束分割而转换为分割激光束。所述分割激光束包括中心激光束和包围所述中心激光束的外围激光束，所述阻断部可阻断所述中心激光束中的至少一部分。所述第三光学部可改变所述分割激光束中通过所述阻断部的激光束的路径而将所述激光束转换为第三激光束。所述工作台可与所述第三光学部相对布置。所述第一光学部可基于照射所述在工作台上的所述第三激光束，改变所述第一激光束的所述路径及大小。
- 激光结晶装置
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