专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]激光照射装置-CN201910121865.6有效
  • 姜善美;朴瑞哲;申东勳;李洪鲁;金志桓;吴世旭;吴泳勳;刘光炫 - 三星显示有限公司
  • 2019-02-19 - 2023-01-06 - B23K26/38
  • 本申请提供一种激光照射装置。激光照射装置包括光学系统、密封箱和工艺腔,其中,所述光学系统包括多个透镜并且在由第一方向和与所述第一方向垂直的第二方向构成的平面上产生长边位于所述第一方向上的矩形形态的激光束(BEAM),并沿着与所述第一方向和所述第二方向垂直的第三方向照射所述激光束,所述密封箱包括阻挡所述激光束在所述第一方向上的两个末端的光束切割器,并且所述工艺腔包括台,所述台支承被穿过所述光束切割器的所述激光束照射的被处理衬底。所述光束切割器包括比热为0.7J/g℃以上的材料。
  • 激光照射装置

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