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专利名称

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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[实用新型]一种真空调压装置及曝光机-CN202221678854.1有效
发明人：严佩兵;许时斌;李昶材 -专利权人：合肥晶合集成电路股份有限公司
申请日： 2022-07-01 - 公布日： 2022-11-08 - 主分类号： B65G49/07 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种真空调压装置及曝光机，包括：真空压力传感器；数模转换器，电性连接于所述真空压力传感器；电压放大器，一输入端电性连接于所述数模转换器，另一输入端输入期望真空电压；调压模块，输入端电性连接于所述电压放大器的输出端；单相调压器，电性连接于所述调压模块的输出端；以及电磁调压阀，电性连接于所述单相调压器。通过本实用新型提供的一种真空调压装置及曝光机，可精确调整真空管路的吸附能力。
一种真空调压装置曝光

[实用新型]一种半导体机台液体自动补充装置及半导体机台-CN202122704920.X有效
发明人：张尧;许时斌;李昶材 -专利权人：合肥晶合集成电路股份有限公司
申请日： 2021-11-03 - 公布日： 2022-05-27 - 主分类号： G01F23/292 文献下载
摘要：本实用新型提供一种半导体机台液体自动补充装置及半导体机台，自动补充装置包括：储存罐，其与补充罐相连通；第一激光反射板，其漂浮在所述储存罐内的液面上；第一激光发射器，其设置在所述储存罐上；第一激光接收器，其设置在所述储存罐的内壁上；以及控制器，其分别与所述第一激光发射器、所述第一激光接收器相连接。通过本实用新型公开的一种半导体机台液体自动补充装置及半导体机台，能够及时向储存罐补充冷却液。
一种半导体机台液体自动补充装置

[发明专利]一种半导体设备的报警方法-CN202011283029.7有效
发明人：许时斌;牛振标;李昶材 -专利权人：晶芯成（北京）科技有限公司
申请日： 2020-11-17 - 公布日： 2021-05-14 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明提出一种半导体设备及报警方法，包括：腔体；载台，位于所述腔体内的底部；光源，位于所述腔体内的顶部；挡板，位于所述腔体的侧壁；信号采集器，位于所述挡板的一侧，用于形成脉冲信号；信号接收器，位于所述腔体的外侧，与所述信号采集器连接，用于接收所述脉冲信号；报警器，位于所述腔体的外侧，与所述信号接收器连接。本发明提出的半导体设备可以避免晶圆长时间停留在腔体内时，避免晶圆表面的温度升高，同时还可以避免晶圆表面的光阻图形出现异常；本发明提出的半导体设备还可以起到自动报警的作用，同时还可以计算出生产晶圆的数量。
一种半导体设备报警方法

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