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- [实用新型]一种硅片清洗的防烙印机构-CN201921882989.8有效
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李宗颖;魏向荣;张迎彬;李玉萍;周浩
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河北广创电子科技有限公司
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2019-11-04
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2020-05-26
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H01L21/67
- 本实用新型公开一种硅片清洗的防烙印机构,包括清洗槽、硅片、片盒、片盒斜托板、槽底托板、垫块和角度调节电机,所述清洗槽的槽体内侧壁底部固定安装有所述垫块,所述垫块数量大于或等于2块,所述垫块的顶部承载安装有所述槽底托板,所述槽底托板上安装有所述片盒斜托板,所述片盒斜托板的上边面安装固定有所述片盒,所述片盒之间的片槽内放置有所述硅片,所述清洗槽的外槽壁上固定安装有所述角度调节电机。有益效果在于:本实用新型在槽底部加一块斜托板,通过电机根据不同的状况将斜板调节成各种角度,这样会使晶片都向同一个方向倾斜,不会出现上述晶片吸附在一起的情况,保证了晶片腐蚀的均匀性,不会产生烙印。
- 一种硅片清洗烙印机构
- [实用新型]一种兆声波清洗机的槽体结构-CN201921882990.0有效
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李勇刚;刘凯;李宗颖;张萍;冯国春
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河北广创电子科技有限公司
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2019-11-04
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2020-05-12
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H01L21/673
- 本实用新型公开一种兆声波清洗机的槽体结构,包括外PP槽壁、兆声挡水板、外槽安装座、内槽壁、石英缸斜底、石英缸槽、花篮、兆声发生器和兆声保护盒,所述外PP槽壁包含四个侧壁和一个底壁形成长方体外槽,所述长方体外槽相对的两个内槽壁上固定安装有支撑板一和支撑板二,所述支撑板一和所述支撑板二处于同一水平高度,所述支撑板一和所述支撑板二上支撑安装有所述内槽壁,所述内槽壁由四个侧面围成并形成起内部的所述石英缸槽,所述石英缸槽的底部固定安装有所述石英缸斜底。有益效果在于:本实用新型所述的兆声波清洗机的槽体结构适用于小物件的清洗,清洗频率更高,并且能量使用率高,浪费低。
- 一种声波清洗结构
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