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- [实用新型]一种带有清洁机构的干法刻蚀设备-CN202223403152.5有效
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李光林;车钟男
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无锡天酬半导体设备有限公司
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2022-12-19
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2023-10-13
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B08B7/00
- 本实用新型公开了一种带有清洁机构的干法刻蚀设备,涉及刻蚀设备技术领域,包括机体和清洁机构,所述仓门的内侧设有内仓,所述内仓的内侧设有清洁机构。本实用新型的有益效果是:一种带有清洁机构的干法刻蚀设备,通过设置清洁机构,储瓶仓内的液氧瓶通过输液管将内部的液氧由分液管输入刀制压器内部,喷氧器下的伸缩管向下伸缩,然后使用液氧喷头将氧气喷洒到刻蚀台上,氧气把光刻胶燃烧掉,光刻胶的基本成分是碳氢有机物,在射频或微波作用下,氧气电离成氧原子并与光刻胶发生化学反应,生成一氧化碳,二氧化碳和水等,然后储水箱通过输水管将水通过水雾喷头喷洒到刻蚀台上,水汇聚到流水槽内,吹风器通过风仓对内仓进行风干处理。
- 一种带有清洁机构刻蚀设备
- [实用新型]一种用于干法刻蚀的硅片夹具-CN202223402220.6有效
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李光林;车钟男
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无锡天酬半导体设备有限公司
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2022-12-19
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2023-09-29
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H01L21/687
- 本实用新型提供一种用于干法刻蚀的硅片夹具,包括装置主体和夹持机构。该用于干法刻蚀的硅片夹具,通过底箱、转轴、箱盖、底板、侧板、伸缩弹簧、第一夹板、软垫、连接架、旋转轴、第一转杆、连接轴、第二转杆以及第二夹板的设置,在对硅片进行夹紧时,将所需进行刻蚀反应的硅片放置到第一夹板的内侧,根据硅片的大小,先由旋转轴向外旋转控制基本宽度,再由第一转杆连接轴和第二转杆的配合控制前方的第二夹板将硅片夹紧固定,然后将两侧的第一夹板通过伸缩弹簧的可伸缩性将硅片进行另一个方向的夹紧固定,内侧的软垫可以对硅片受到的两侧压力进行缓冲,固定好后,通过转轴将箱盖旋转至与底箱闭合,在内部产生反应,从而完成了对硅片的夹紧作用。
- 一种用于刻蚀硅片夹具
- [发明专利]一种用于车辆维修的支撑装置-CN202210712480.9有效
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李光林;杨顺;范先波
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贵州机电职业技术学院
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2022-06-22
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2023-09-15
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B66F3/25
- 本发明提供了一种用于车辆维修的支撑装置,包括至少一个支撑底架,支撑底架的第一支架和第二支架上分别固定有液压千斤顶,液压千斤顶的顶端固定有支板,支板的外侧端连接有转辊,支板外侧端通过转辊转动连接有弧形架,弧形架的外侧端设置有支撑机构。本发明通过在支撑底架的液压千斤顶的顶端固定有支板,支板外侧端通过转辊转动连接有弧形架,弧形架的外侧端设置有支撑机构,在汽车底盘支点较窄的情况下时,利用千斤顶顶起支板,利于加强板上的支撑垫块进行支撑作用;在汽车底盘支点较宽的情况下使用时,利用弧形架和支撑机构配合进行支撑,增加了汽车维修保养过程中支撑支点选择的灵活性,利于提高维修保养效率。
- 一种用于车辆维修支撑装置
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