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[发明专利]CMOS图像传感器的模拟装置-CN201710285811.4有效
发明人：余达;刘金国;郭永飞;石俊霞;李佩玥;陈云善;丁南南 -专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
申请日： 2017-04-27 - 公布日： 2019-11-29 - 主分类号： H04N5/374 文献下载
摘要：CMOS图像传感器的模拟装置，涉及一种CMOS图像传感器的模拟装置，解决现有CMOS图像传感器航天应用中调试及排查问题困难的问题，包括FPGA、温度传感器、光电二极管、多通道模数转换器、负载模拟电路、接口电路和电源系统；电源系统为FPGA、温度传感器、光电二极管、多通道模数转换器、负载模拟电路和接口电路供电。本发明的模拟装置可完全替代CMOS图像传感器进行工作。模拟装置内部模块检测到外部输入的工作电压和工作时序正常后，输出模拟的CMOS图像信号；在train阶段输出校验数据；在排查问题过程中，可把输出数据的伴随时钟从DDR方式切换为SDR方式，且保证输出图像数据和伴随时钟的相位固定以方便调试，进行异常图像的快速定位，剥离硬件和软件的问题。
cmos 图像传感器模拟装置

[发明专利]一种数字驱动电源-CN201511017675.8有效
发明人：徐立松;李佩玥;葛川;隋永新;杨怀江 -专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
申请日： 2015-12-29 - 公布日： 2019-03-29 - 主分类号： H02N2/06 文献下载
摘要：本发明涉及压电陶瓷驱动控制技术领域，具体公开一种数字驱动电源。本发明设计的数字驱动电源，首先使用电流放大电路改善高压放大器的低频特性，其次使用数模转换电路作为模拟信号和数字信号的接口，再利用低功耗的数字控制的电路实现对算法和数字控制部分的实现，具备结构简单，组成电路灵活的特点；同时具备动态性能好，输出电流大等优点，可以实现对输出电压的数字控制。
一种数字驱动电源

[发明专利]精密气体控制装置及光学制造系统-CN201610479001.8有效
发明人：崔洋;于淼;彭吉;李佩玥;隋永新;杨怀江 -专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
申请日： 2016-06-27 - 公布日： 2019-03-05 - 主分类号： F24F3/16 文献下载
摘要：本发明公开了一种精密气体控制装置及光学制造系统。该精密气体控制装置包括初级过滤器、蒸发器、冷凝器以及混合室，其中：初效过滤器用于将外部环境的空气进行初级过滤，并将经过初级过滤的气体分别输送到蒸发器和冷凝器；蒸发器用于对经过初级过滤得到的气体进行降温，以得到冷气；冷凝器用于对经过初级过滤得到的气体进行加热，以得到热气；混合室用于按照预设的比例混合冷气和热气。通过上述方式，本发明采用冷、热风混合的方式，能够节省外部冷水机，从而达到节能环保的效果。
精密气体控制装置光学制造系统

[发明专利]光学制造系统-CN201610493994.4有效
发明人：崔洋;于淼;彭吉;李佩玥;隋永新;杨怀江 -专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
申请日： 2016-06-29 - 公布日： 2019-03-05 - 主分类号： F24F3/16 文献下载
摘要：本发明公开了一种光学制造系统。光学制造系统包括：精密气体控制装置、气体管路以及环境控制装置，其中：气体管路的两端分别连接精密气体控制装置和环境控制装置；精密气体控制装置包括气体回路，气体回路还包括：除湿装置，用于对输入的气体进行除湿；过滤器，用于对经过除湿前和/或除湿后的气体进行净化过滤，并进一步将经过除湿和净化过滤的气体通过气体管路输送到环境控制装置；环境控制装置包括：高效过滤器，用于对输送的气体进一步净化过滤后输送到所需的环境中。通过上述方式，本发明避免了精密气体控制装置直接对整个大环境空间进行控制，从而导致浪费资源，环境控制装置能够仅对需要进行控制的局部环境的气体湿度和洁净度进行控制。
光学制造系统

[发明专利]一种基于FPGA的γ能谱测量系统-CN201611133617.6在审
发明人：郑楠;徐立松;李佩玥;隋永新;杨怀江 -专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
申请日： 2016-12-10 - 公布日： 2018-10-02 - 主分类号： G01T1/36 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于FPGA的γ能谱测量系统。所述基于FPGA的γ能谱测量系统包括γ射线探头、调理电路、ADC、FPGA、处理器、显示装置和上位机；所述γ射线探头将探测到的核辐射强度转化为不同幅度的电压脉冲信号，并输入至所述调理电路；所述调理电路将所述不同幅度的电压脉冲信号调节至所述ADC的输入范围内并输出至所述ADC；所述ADC将模拟信号转化为数字信号输出到FPGA；所述FPGA和处理器連接；所述处理器将所述脉冲波形数据和道址数据分别发送到显示装置和上位机。本发明提供的基于FPGA的γ能谱测量系统能简化电路结构。
能谱测量调理电路处理器电压脉冲信号显示装置上位机探头射线简化电路结构脉冲波形数据模拟信号转化核辐射数字信号输出探测转化

[发明专利]一种压电陶瓷的驱动装置-CN201611133605.3在审
发明人：王学亮;李佩玥;张巍;隋永新;杨怀江 -专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
申请日： 2016-12-10 - 公布日： 2018-10-02 - 主分类号： G05B19/042 文献下载
摘要：本发明公开了一种压电陶瓷的驱动装置。所述压电陶瓷的驱动装置包括微处理器、数模转换器、电压基准和电压放大器；所述微处理器产生数字信号提供给数模转换器；所述数模转换器使用所述电压基准作为数模转换的参考电压，并将所述数字信号转换为模拟信号传输至所述电压放大器；所述模拟信号经电压放大器放大后传输至压电陶瓷的两端。本发明提供的压电陶瓷的驱动装置能提高定位系统的定位精度。
压电陶瓷驱动装置电压放大器数模转换器微处理器电压基准数模转换器使用模拟信号传输数字信号转换参考电压定位系统模拟信号数模转换数字信号放大传输

[发明专利]光刻投影物镜控制装置-CN201611133636.9在审
发明人：郭嘉亮;李佩玥;葛川;李朋志;隋永新;杨怀江 -专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
申请日： 2016-12-10 - 公布日： 2018-06-29 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明公开了一种光刻投影物镜控制装置。所述光刻投影物镜控制装置包括上位机、工控机箱、驱动控制箱、压电驱动器和电容传感器：所述工控机箱包括主控单板计算机、多路光纤从板和VPX总线背板，所述主控单板计算机上设置有光刻投影物镜控制器；所述驱动控制箱包括高压驱动板和信号采集板；所述光刻投影物镜控制器在接收到物镜功能性调节控制指令后，对所述物镜功能性调节控制指令进行闭环运动控制运算处理并打包后将控制指令发送至多路光纤从板；所述多路光纤从板将所述控制指令发送至高压驱动板，所述高压驱动板对所述控制指令做出数/模转换之后完成对压电驱动器的驱动控制。本发明提供的光刻投影物镜控制装置能对个功能性调节机构进行集中控制。
光刻投影物镜控制装置高压驱动控制指令从板控制指令发送驱动控制箱压电驱动器多路光纤工控机箱主控单板控制器物镜电容传感器信号采集板数/模转换闭环运动集中控制控制运算驱动控制上位机计算机背板打包光纤

[发明专利]高光效LCOS投影机-CN201611182161.2在审
发明人：方斌;田伟;李佩玥;张巍 -专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
申请日： 2016-12-20 - 公布日： 2018-06-26 - 主分类号： G03B21/20 文献下载
摘要：本发明涉及一种高光效LCOS投影机，包括照明光源，沿着照明光源光线传输线路上依次设置有光强匀化装置、偏振极化装置、用于透射红色光的第一分光镜及第一反射镜，还包括X棱镜、投影镜头；还设置有第一光线反射模块、第二光线反射模块及第三光线反射模块，本方案将红光PBS镜的透射光线、绿光PBS镜的透射光线及蓝光PBS镜的透射光线重新反射到原入射线路中，将PBS镜透射掉的部分无用光进行了重新收集利用，最后将合成后的无用光束重新导入到投影照明系统的输入端，有效提高了投影机的光效，节约了成本。
光线反射透射光线照明光源高光效传输线投影照明系统极化装置入射线路投影镜头透射红色无用光束依次设置匀化装置反射镜分光镜输入端投影机无用光透射光强光效红光蓝光绿光偏振反射合成节约

[发明专利]压电陶瓷驱动装置-CN201511017671.X有效
发明人：王学亮;李佩玥;张巍;隋永新;杨怀江 -专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
申请日： 2015-12-29 - 公布日： 2018-06-12 - 主分类号： H02N2/06 文献下载
摘要：本发明涉及位移控制技术领域，尤其涉及一种压电陶瓷驱动装置，包括一电压基准、一微处理器、第一数模转换器、第二数模转换器、第一电压放大器、第二电压放大器及压电陶瓷，微处理器的两输出端分别与所述第一数模转换器及第二数模转换器的输入端连接，第一数模转换器及第二数模转换器均以电压基准作为参考电压，且第一数模转换器及第二数模转换器封装在一起；第一电压放大器及第二电压放大器均使用相同的电压放大倍数，且第一电压放大器及第二电压放大器封装在一起；所述第一电压放大器及第二电压放大器分别连接于所述压电陶瓷两端。本发明是一种能够有效地增强驱动信号对环境温度的抵抗能力、提高压电陶瓷的定位精度、成本低的压电陶瓷驱动装置。
电压放大器数模转换器压电陶瓷驱动装置压电陶瓷微处理器电压基准封装输入端连接参考电压抵抗能力电压放大驱动信号位移控制输出端有效地

[发明专利]多动组光学变焦镜头及投影显示系统-CN201611058912.X在审
发明人：魏凤龙;田伟;方斌;李佩玥;张巍 -专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
申请日： 2016-11-25 - 公布日： 2018-06-01 - 主分类号： G02B7/10 文献下载
摘要：本发明涉及一种多动组光学变焦镜头，所述多动组光学变焦镜头包括镜筒、固定在所述镜筒一侧的第一固定镜组、固定在所述镜筒另一侧的第二固定镜组；在所述镜筒内，分别依次设有可沿着镜筒轴向滑动的第一移动镜架、第二移动镜架、第三移动镜架及第四移动镜架；四个移动镜架的外侧壁上分别固定设有一导向柱，镜筒侧壁上沿轴向方向对应设有直线导向槽，导向柱位于导向槽内；所述镜筒外侧还设有驱动机构，用于驱动每导向柱分别在对应的直线导向槽内直线滑动。本方案使镜架移动过程中移动更平稳，运动精度更高，从而有效保证了较高的成像质量，有效避免了镜架运动中跳动的现象。
移动镜架镜筒光学变焦镜头导向柱直线导向槽固定镜组镜架投影显示系统镜筒侧壁驱动机构移动过程直线滑动轴向方向导向槽镜筒轴外侧壁滑动成像跳动驱动移动保证

[发明专利]一种光刻投影物镜腔体精密监控装置-CN201611058915.3在审
发明人：于淼;崔洋;李佩玥;彭吉;隋永新;杨怀江 -专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
申请日： 2016-11-25 - 公布日： 2018-06-01 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明公开了一种光刻投影物镜腔体精密监控装置，所述光刻投影物镜腔体精密监控装置包括上位机，工控机，腔体环境控制单元，光刻投影物镜，高纯气体供给源，高纯供给回路，高纯供给线路；所述上位机与所述工控机相连，并可向所述工控机发送指令；所述高纯气体供给源输送至所述腔体环境控制单元中；所述腔体环境控制单元与所述光刻投影物镜之间通过高纯供给回路和高纯供给线路进行连接；所述光刻投影物镜上设置有传感器，所述工控机与所述光刻投影物镜之间通过传感器进行信号反馈；所述工控机与所述腔体环境控制单元之间通过控制信号相连接。本发明提供的光刻投影物镜腔体精密监控装置，在线调试气体循环回路，达到稳定气路压力、控制气路污染等效果，能有效降低环境噪音和振动对光刻投影物镜的影响。
光刻投影物镜工控机精密监控腔体环境高纯腔体高纯气体供给回路供给线路供给源上位机传感器气体循环回路发送指令环境噪音控制气路控制信号气路压力投影物镜信号反馈在线调试污染

[发明专利]一种光学系统及其冷却装置-CN201711294683.6在审
发明人：崔洋;周连生;李佩玥;隋永新;杨怀江 -专利权人：长春国科精密光学技术有限公司
申请日： 2017-12-08 - 公布日： 2018-04-13 - 主分类号： G02B7/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种光学系统的冷却装置，包括一端与气源连接、另一端与光学系统的内腔连通以提供工作气体的气体控制管路；气体控制管路分别设有用于对工作气体的温度进行预处理的温度预处理器、用于对工作气体的温度进行精调节的气液热交换器、用于对工作气体的供气压力进行调节的减压阀，气液热交换器连接有一端与水源连接的液体控制管路；液体控制管路分别设有液体泵、用于对工作液体的压力进行调节的调压阀、用于对工作液体进行冷却温度控制的制冷组件。应用该装置，气体通过温度预处理器进行预处理，并通过气液热交换器连接液体控制管路对工作气体的温度进行精确调节，以为光学系统内部提供稳定温度的冷却气体。本发明还公开了一种光学系统。
一种光学系统及其冷却装置

[发明专利]气体供给装置及具有其的光刻投影物镜-CN201510600397.2有效
发明人：崔洋;于淼;李佩玥;彭吉;隋永新;杨怀江 -专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
申请日： 2015-09-21 - 公布日： 2017-10-31 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明公开了一种气体供给装置及具有其的光刻投影物镜，该气体供给装置包括气源及供气控制管路，供气控制管路的一端连通气源，另一端用于与物镜本体的内部腔室连通；供气控制管路包括设于管路上的热交换器、减压阀、质量流量控制器，其中，热交换器用于对工作气体进行热交换以调节温度；减压阀用于对工作气体的供气压力进行调节；质量流量控制器用于对工作气体的流量进行调节。通过对气源提供的工作气体进行处理，使得提供给物镜本体的内部腔室的工作气体的压力、流量、温度等参数稳定，其结构简单、易操作且便于维护，有效地保障了光刻投影物镜正常工作情况下环境参数稳定，且避免外部环境的污染物进入物镜本体内部以对光学系统造成污染。
气体供给装置具有光刻投影物镜

[发明专利]一种压电陶瓷的驱动放大电路-CN201410441037.8有效
发明人：徐立松;李佩玥;葛川;尹志生;隋永新;杨怀江 -专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
申请日： 2014-09-01 - 公布日： 2017-09-12 - 主分类号： H03F3/45 文献下载
摘要：一种压电陶瓷的驱动放大电路，涉及压电陶瓷驱动控制领域，具体地说是一种压电陶瓷驱动放大器，它可以灵活的组成压电陶瓷电源。本发明的压电陶瓷放大器，在保证驱动效果的同时，有效的降低了成本，同时也保证电路应用的便利性。本发明依据放大电路的设计原理进行设计，它由差分输入电路、电压放大电路和电流放大电路组成，差分输入电路解决了高压放大电路的差动输入问题，电压放大电路对电压进行放大，电流放大电路对电流进行放大，增强输出电压的功率，提高系统带负载的能力。使用设计的高压放大器组成压电陶瓷驱动电源，其对称性好，输出电压的分辨率优于10mV。
一种压电陶瓷驱动放大电路

[发明专利]光刻投影物镜容错控制装置-CN201510602510.0有效
发明人：郭嘉亮;李佩玥;葛川;郑楠;隋永新;杨怀江 -专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
申请日： 2015-09-21 - 公布日： 2017-08-25 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明公开了一种光刻投影物镜容错控制装置，包括设于光刻投影物镜内的压电驱动器和电容传感器，光刻投影物镜容错控制装置还包括信号采集板、高压驱动板、主控单板计算机和辅控单板计算机，主控单板计算机和辅控单板计算机形成冗余控制；主控单板计算机和辅控单板计算机均经信号采集板连接电容传感器，以接收电容传感器检测的位置信号；主控单板计算机和辅控单板计算机均经高压驱动板连接压电驱动器，用于根据接收的位置信号生成指令以控制压电驱动器。本发明既满足了对光刻投影物镜内部调节机构的闭环精确控制，以补偿热像差，保障光刻精度，又通过冗余控制保障了控制装置的稳定可靠工作。
光刻投影物镜容错控制装置

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