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[发明专利]一种光刻投影物镜环境采集控制系统及其控制方法-CN201410250579.7无效
发明人：崔洋;李佩玥;于淼;彭吉;隋永新;杨怀江 -专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
申请日： 2014-06-06 - 公布日： 2014-09-10 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：一种光刻投影物镜环境采集控制系统及其控制方法属于光刻投影物镜控制领域，该系统包括控制机箱、采集驱动机箱、模数转换机箱、多种执行器和多种传感器；所述光纤通信板卡通过光纤传输链路与环境控制算法板卡连接，环境采集驱动板卡通过数字信号传输链路与模数转换板卡或接口转换卡连接，环境采集驱动板卡通过驱动信号传输链路与多种执行器连接，模数转换板卡通过低压模拟信号传输链路与多种传感器连接，所述多种执行器设置在光刻机环境机柜内，所述多种传感器设置在所述光刻投影物镜上。本发明缩短了每次调节的调节时间，保障环境参数调节的精度，降低响应时间，保证了光刻投影物镜和光刻机的整机性能。
一种光刻投影物镜环境采集控制系统及其控制方法

[发明专利]一种光学加工用抛光液恒温供给装置及温度控制方法-CN201410250596.0无效
发明人：崔洋;陈华男;尹志生;李佩玥;彭吉;王绍治;隋永新;杨怀江 -专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
申请日： 2014-06-06 - 公布日： 2014-09-10 - 主分类号： B24B57/02 文献下载
摘要：一种光学加工用抛光液恒温供给装置及温控方法属于光学加工技术领域，该装置包括制冷单元、加热单元、内循环回路和控制单元，所述制冷单元用于将抛光液的温度降低到设定值，制冷单元包括压缩机、冷交换器、散热器和膨胀阀；所述内循环回路包括抛光液储液箱、抛光液循环泵、热交换器和冷交换器；所述控制单元包括液位传感器、搅拌电机、声光报警器、加热器、清水箱内温度传感器、抛光液箱内温度传感器、控制器和电源接口。本发明具有较宽温度控制范围和高温度控制精度，同时保证了抛光液的腐蚀性不会对装置产生影响，且被动加热方式保证了抛光液的分子特性不会被破坏。
一种光学工用抛光恒温供给装置温度控制方法

[发明专利]一种基于光隔离技术的安全数据交互结构及方法-CN201410120351.6在审
发明人： 李佩玥;石俊霞;陈雪;章明朝 -专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
申请日： 2014-03-27 - 公布日： 2014-07-16 - 主分类号： H04L29/06 文献下载
摘要：一种基于光隔离技术的安全数据交互结构及方法属于信息安全技术领域，目的在于解决现有技术存在的摆渡攻击问题。本发明包括发送端用户接口、并串转换芯片、光纤一体收发模块、串并转换芯片和接收端用户接口；所述光纤一体收发模块包括封装在内的电光转换模块、发送端光隔离器、接收端光隔离器和光电转换模块；所述电光转换模块上设置有发送端光隔离器，所述光电转换模块上设置有接收端光隔离器，所述发送端光隔离器通过单模光纤与所述接收端光隔离器连接。本发明从物理原理上保证通信链路绝对单向性可实现联网计算机和非联网计算机之间的安全、可靠数据传输，能够有效的抵抗摆渡攻击。
一种基于隔离技术安全数据交互结构方法

[发明专利]一种光刻投影物镜微位移控制的电路结构-CN201410120352.0有效
发明人： 李佩玥;崔洋;郑楠;王学亮;徐立松 -专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
申请日： 2014-03-27 - 公布日： 2014-07-16 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：一种光刻投影物镜微位移控制的电路结构属于光刻投影物镜控制领域，目的在于解决现有技术存在的定位精度低和成本高的问题。本发明包括算法与时序发生电路、高压驱动与数字电容采集电路和电容模数转换电路；算法与时序发生电路和所述高压驱动与数字电容采集电路之间使用自定义协议通信，并通过VME总线技术规范中的P1连接器实现物理连接，高压驱动与数字电容采集电路和电容模数转换电路之间使用自定义协议通信，并通过低压差分数字信号传输线缆实现物理连接；所述电路结构采用N-111.2A压电陶瓷驱动器作为执行元件，采用D-E30.500电容传感器作为反馈元件。本发明可以满足光刻投影物镜中移动镜片的量程与定位精度需求，成本低。
一种光刻投影物镜位移控制电路结构

[发明专利]一种光刻投影物镜功能性调节的控制系统结构-CN201410035505.1有效
发明人： 李佩玥;崔洋;尹志生;郑楠;王学亮 -专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
申请日： 2014-01-24 - 公布日： 2014-05-14 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：一种光刻投影物镜功能性调节的控制系统结构属于光刻投影物镜控制领域，目的在于解决现有技术存在的压电驱动器产生的热功率影响成像质量、电容传感器无法进行远距离传输和调节时间长的问题。本发明包括控制机箱、功放机箱、电平转换机箱、压电驱动器和电容传感器；所述控制机箱的光纤通信板卡通过光纤传输链路与功放机箱的核心算法板卡连接，功放机箱的驱动采集板卡通过数字信号传输链路与电平转换机箱的模数转换板卡连接，功放机箱的驱动采集板卡通过高压模拟信号传输链路与压电驱动器连接，电平转换机箱的模数转换板卡通过低压模拟信号传输链路与电容传感器连接，所述压电驱动器和所述电容传感器设置在所述光刻投影物镜上。
一种光刻投影物镜功能调节控制系统结构