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- [实用新型]一种Tray盘检测治具-CN202223073282.7有效
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刘守信;朱肖肖
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矽兴(苏州)集成电路科技有限公司
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2022-11-21
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2023-04-25
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G01B5/06
- 本实用新型公开了一种Tray盘检测治具,包括支撑固定架,所述支撑固定架的上端固定连接有放置板,所述放置板上端的两侧均固定连接有检测块固定条,两个所述检测块固定条的一侧均设置有检测块,所述放置板的上端设置有检测尺,所述检测尺两端的两边均螺纹连接有扭转螺丝。本实用新型中,通过在检测尺上设置扭转螺丝,可让其根据tray盘厚度不同,调节检测尺相应刻度参数,随后再进行Tray盘曲面外观筛选,可让装置可用于测量不通规格的tray盘,让装置的实用性更广,此治具在检测方式上采用的是tray板依靠自身重量从检测滑板上滑落检测,使其在检测使用时更加便捷,大大降低人力成本,提高人员工作效率及产品合格率检出。
- 一种tray检测
- [发明专利]对版标记、套刻对版标记的方法及其对准方法-CN202211080759.6在审
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朱肖肖;赵阳洋;赵子仪;王伟明;徐畅
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雄安创新研究院
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2022-09-05
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2022-12-16
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G03F9/00
- 本发明提供一种对版标记、套刻对版标记的方法及其对准方法,其中,套刻标记包括:至少一第一细定位标记图形,设置在第一材料层上;第一细定位标记图形为梳齿状图形,其中,正中间的梳齿记为第一中间梳齿,第一中间梳齿的长度大于其它梳齿的长度;和至少一第二细定位标记图形,设置在第二材料层上;第二细定位标记图形为梳齿状图形,其中,正中间的梳齿记为第二中间梳齿,第二中间梳齿的长度大于其它梳齿的长度;套刻时,第一细定位标记图形与第二细定位标记图形的梳齿的开口方向相对设置,其中,第一细定位标记图形与第二细定位标记图形中的对应齿的宽度及间隔相同。本发明提供的套刻标记可以提高对准精度。
- 标记方法及其对准
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