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[发明专利]连接模块、检查夹具及基板检查装置-CN201810824230.8有效
发明人：裴子容;山下宗宽 -专利权人： 日本电产理德股份有限公司
申请日： 2018-07-25 - 公布日： 2023-10-27 - 主分类号： G01R31/28 文献下载
摘要：本发明提供连接模块、检查夹具及基板检查装置，该连接模块用于使成为连接对象的第一端子与成为连接对象的第二端子导通，具备：第一面，形成有用于与上述第一端子的一端部接触的第一电极；第二面，与上述第一面相对，且设置有用于与上述第二端子接触的第二电极；以及导电部，将上述第一电极与上述第二电极(E2)电连接，上述第二电极具有以与上述第二端子(标准配置电极)相对的方式配设，并且从相对于上述导电部的连接位置以相同的角度间隔呈放射状延伸的多根连接分支。
连接模块检查夹具装置

[发明专利]基板检查装置、检查位置补正方法与信息产生方法及系统-CN201880075733.8有效
发明人：豊田雅纪;三浦弘纲 -专利权人： 日本电产理德股份有限公司
申请日： 2018-11-12 - 公布日： 2023-09-19 - 主分类号： G01R31/28 文献下载
摘要：一种基板检查装置、检查位置补正方法与信息产生方法及系统，包括：检查治具，保持多个探针；驱动机构，使多个探针接触基板的面；存储部，事先存储包含多个各探针的导通状态的组合模式，且表示检查治具的偏离的偏离信息与各组合模式建立对应的位置补正信息；导通状态检测部，使检查治具朝规定的检查位置移动，在所述检查位置上使各探针接触基板来检测各探针的导通状态；偏离信息获取部，根据被检测的各探针的导通状态选择多个组合模式中的一个，并将利用位置补正信息而针对所选择的组合模式建立对应的偏离信息作为补正偏离量而获取；补正部，根据补正偏离量补正检查位置。
检查装置位置补正方法信息产生系统

[发明专利]电阻测定装置、基板检查装置以及电阻测定方法-CN201811122773.1有效
发明人：山下宗寛 -专利权人： 日本电产理德股份有限公司
申请日： 2018-09-26 - 公布日： 2023-05-16 - 主分类号： G01R27/08 文献下载
摘要：本发明提供一种电阻测定装置、基板检查装置以及电阻测定方法。电阻测定装置包括第一电流探针、第二电流探针，接触芯片侧电极；第一检测探针、第二检测探针，接触外向电极；电压检测部，对第一检测探针、第二检测探针间的电压进行检测；第一恒定电流源，正极与第一电流探针连接，负极与地面连接，输出第一电流值的电流；第二恒定电流源，正极与第一恒定电流源的负极及地面连接并与第一恒定电流源串联连接，负极与第二电流探针连接，输出与第一电流值实质上相同的第二电流值的电流；接地探针，使配线与地面导通；以及电阻取得部，根据由电压检测部所检测到的电压来取得配线的电阻。
电阻测定装置检查以及方法

[发明专利]接触端子、检查夹具、检查装置、及制造方法-CN202180062264.8在审
发明人：太田宪宏 -专利权人： 日本电产理德股份有限公司
申请日： 2021-09-07 - 公布日： 2023-05-02 - 主分类号： H01L21/66 文献下载
摘要：提供一种接触端子、检查夹具、检查装置、及制造方法，其中容易降低导体从筒状体脱落的可能性。接触端子Pr包括筒状体Pa、以及具有大致棒状形状的第一导体P1，其中形成有从筒状体Pa的一端朝向筒状体Pa的另一端侧延伸的第一狭缝SL1，在第一狭缝SL1的从另一端侧的端部向一端侧远离第一距离D1的位置设置有第一狭缝SL1的宽度变窄的狭小部N1，第一导体P1的棒状主体Pb1包括卡合部K1，所述卡合部K1位于第一狭缝SL1的另一端侧的端部与狭小部N1之间的区域即接纳部A1内，并朝向与第一狭缝SL1的宽度方向即X方向及筒状体的轴向Z垂直的Y方向突出到能够与狭小部N1产生干扰的位置。
接触端子检查夹具装置制造方法

[发明专利]训练自动缺陷分类的检测仪器的方法与系统-CN202180036832.7在审
发明人：帕里萨·达比修泽德瓦奇伊;游路易-菲利普·玛谢 -专利权人： 日本电产理德股份有限公司;日本电产理德检验加拿大股份有限公司
申请日： 2021-05-17 - 公布日： 2023-01-31 - 主分类号： G06T7/00 文献下载
摘要：提供一种计算机实施方法、检测系统及非暂时性存储媒体，用于使用机器学习自动产生缺陷分类模型，所述缺陷分类模型用于检测半导体和/或印刷电路板(PCB)部件。缺陷分类模型由经训练的神经网络二元分类器与优化器的第一组合以及经训练的神经网络多类别分类器与优化器的第二组合自动建立。
训练自动缺陷分类检测仪器方法系统

[发明专利]绝缘检查装置和绝缘检查方法-CN201810810143.7有效
发明人：笠井淳 -专利权人： 日本电产理德股份有限公司
申请日： 2018-07-23 - 公布日： 2023-01-10 - 主分类号： G01R31/12 文献下载
摘要：本发明提供一种绝缘检查装置和绝缘检查方法，绝缘检查装置(1)具备：多个探针，其用于与检查对象的基板中的、多个导体图案接触；电源部，其经由探针向第一图案和第二图案之间输出电压，第一图案为导体图案中的任一个导体图案，第二图案为导体图案中的除第一图案以外的任一个导体图案；放电检测部，其检测在第一图案和第二图案之间产生电火花和局部放电中的至少一方；电源控制部，其在通过放电检测部检测到产生上述电火花和局部放电中的至少一方时，使电源部的电压输出停止或者下降。
绝缘检查装置方法

[发明专利]基板检查装置及基板检查方法-CN201811109766.8有效
发明人：椹木雅也 -专利权人： 日本电产理德股份有限公司
申请日： 2018-09-21 - 公布日： 2022-12-20 - 主分类号： G01R31/28 文献下载
摘要：本发明提供一种基板检查装置以及基板检查方法。基板检查装置(1)是对形成有相互邻接并相向的配线(P1)、配线(P2)的基板(100)进行检查的基板检查装置，具备：第一探针(Pr)，用于接触配线(P1)的一端部；第二探针(Pr)，用于接触配线(P2)的一端部；电容测定部(31)，经由第一探针(Pr)及第二探针(Pr)，而将配线(P1)与配线(P2)之间的静电电容作为线间电容(Cx)来测定；以及第一判定部(22)，根据线间电容(Cx)来判定配线(P1)、配线(P2)中的至少一个配线的状态。
检查装置方法

[发明专利]检查装置以及检查方法-CN202180031140.3在审
发明人：高木范明;郡司庆太 -专利权人： 日本电产理德股份有限公司
申请日： 2021-04-22 - 公布日： 2022-12-16 - 主分类号： G01R31/50 文献下载
摘要：本发明提供一种检查装置以及检查方法，其容易对基板的制造偏差引起的静电电容的偏差进行修正。基板检查装置1是对形成有配线P及基准配线B的多个基板A进行检查的检查装置1，且所述检查装置1中，包括：测定部22，测定各基板A的配线P及基准配线B的静电电容作为测定电容C；平均电容计算部23，计算自在设计上被设置为相同配线的基准配线B测定出的测定电容C的平均值作为平均电容Cav；以及电容修正部24，在将多个基板A中的一个作为目标基板Ai的情况下，计算作为目标基板Ai的检查对象的目标配线P的测定电容C的修正值即修正电容Cc，且电容修正部24通过将目标基板Ai的配线的平均电容Cav相对于测定电容C的比率乘以目标配线P的测定电容C，来计算修正电容Cc。
检查装置以及方法

[发明专利]接触子单元、插座集合体以及连接器-CN202180025488.1在审
发明人：裴子容;山下宗寛 -专利权人： 日本电产理德股份有限公司
申请日： 2021-03-23 - 公布日： 2022-12-02 - 主分类号： H01R13/24 文献下载
摘要：接触子单元2包括：圆筒状的插座20、以及由插座20保持的接触子10，所述插座20包括：插入至收纳孔30的插座本体21、插入至孔部50的前端侧部分22、以及设置于插座本体21与前端侧部分22之间的中间部29，且在中间部29，设置有自其周面向径向外侧突出的突出部27，突出部27的插座本体21侧的外缘即下端面271以包含与插座20的轴心28正交的第一平面F1内的方式自周面伸出，突出部27的前端侧部分22侧的外缘即上端面272以包含与插座20的轴心28正交的第二平面F2内的方式自周面伸出。
接触单元插座集合体以及连接器

[发明专利]检查夹具以及检查装置-CN202180027269.7在审
发明人：津村耕平;山崎秀和 -专利权人： 日本电产理德股份有限公司
申请日： 2021-04-19 - 公布日： 2022-11-25 - 主分类号： G01R1/04 文献下载
摘要：检查夹具3包括：棒状的接触件Pr；第一支撑部311，支撑接触件Pr的一端部侧；第二支撑部312，支撑接触件Pr的另一端部侧；以及分隔保持构件7，使第一支撑部311与第二支撑部312彼此分隔地予以保持，第一支撑部311包括形成有供接触件Pr插通的贯穿孔B2H的支撑板B2，在支撑板B2的与第二支撑部312相对的相向面，配设有弯曲强度比支撑板B2强的加强板5。
检查夹具以及装置

[发明专利]接触端子、检查治具以及检查装置-CN202180020742.9在审
发明人：横田友佑;太田宪宏 -专利权人： 日本电产理德股份有限公司
申请日： 2021-03-11 - 公布日： 2022-11-15 - 主分类号： H01L21/66 文献下载
摘要：一种接触端子，其中筒状体包括：端部侧切口，在所述筒状体的轴向其中一侧端部，设置成自轴向其中一侧端面朝向轴向另一侧进行切口而成的形状；孔部，在所述轴向其中一侧端部开口；以及一对臂部，由所述端部侧切口与所述孔部夹持，第一导体所具有的第一插入部具有：倾斜部，外径随着朝向所述轴向其中一侧而变大；以及第一直部，连接于所述倾斜部的所述轴向其中一侧且外径沿着所述轴向固定，所述第一直部的外径大于所述筒状体的内径，所述第一直部与所述臂部接触，配置于所述第一直部的轴向其中一侧端的壁面部能够与所述孔部接触。
接触端子检查以及装置

[发明专利]基板检查装置-CN202180024725.2在审
发明人：松川俊英;伊砂隆志 -专利权人： 日本电产理德股份有限公司
申请日： 2021-03-25 - 公布日： 2022-11-11 - 主分类号： G01R31/28 文献下载
摘要：基板检查装置包括：旋转平台，具有载置面；旋转平台支撑部；吸附机构，具有抽吸装置以及一端侧连接于抽吸装置且另一端侧位于载置面的抽吸路，通过抽吸装置来对抽吸路内的气体进行抽吸，由此，将电路基板吸附于载置面；流量检测部，对在抽吸路中流至位于旋转平台支撑部内的部分的气体的流量进行检测；流量判定部，判定由流量检测部所检测出的气体的流量是否为规定值以上；非接触检测部，非接触地检测载置面上的电路基板的配置状态；以及检查部，根据流量判定部及非接触检测部得出的检测结果来进行电路基板的检查。
检查装置

[发明专利]接触式探针、电连接夹具及Ni管-CN201780076151.7有效
发明人：山本正美;太田宪宏;坂井滋树 -专利权人： 日本电产理德股份有限公司
申请日： 2017-10-04 - 公布日： 2022-11-11 - 主分类号： G01R1/067 文献下载
摘要：本发明提供一种接触式探针，其降低了在高温环境下进行探测后的收缩量而改善了耐久性。本发明也提供一种电连接夹具及Ni管。接触式探针1包括具有线圈状弹簧结构11a的Ni管11。Ni管11含有0.5重量％～10重量％的P。
接触探针连接夹具 ni

[发明专利]晶圆装卸机用配接器-CN202180020741.4在审
发明人：松川俊英;伊砂隆志 -专利权人： 日本电产理德股份有限公司
申请日： 2021-03-11 - 公布日： 2022-11-04 - 主分类号： H01L21/68 文献下载
摘要：本发明的晶圆装卸机用配接器1是能够固定于晶圆装卸机100的载置台上的晶圆装卸机用配接器。所述晶圆装卸机用配接器1具有能够保持晶圆匣200的保持部10，所述晶圆匣200能够收容多片电路基板。保持部10能够固定于晶圆装卸机100的载置台上。保持部10具有用于将晶圆匣200定位于基准位置X的位置调整机构15。基准位置X是在固定于晶圆装卸机用配接器1上的晶圆匣200中，自晶圆匣200内取出电路基板时的晶圆装卸机用配接器1侧的基准位置。
装卸机用配接器

[发明专利]检查治具以及包括所述检查治具的基板检查装置-CN202180019734.2在审
发明人：津村耕平 -专利权人： 日本电产理德股份有限公司
申请日： 2021-02-22 - 公布日： 2022-11-01 - 主分类号： G01R1/073 文献下载
摘要：本发明提供一种可抑制检查治具所用的基板的翘曲的结构。检查治具4包括：第一基板10；探针单元70，具有探针71；第二基板40，与第一基板10并排配置，与探针71电性连接；电性连接部80，将第一基板10及第二基板40电性连接，以及基板保持部50，以相对于第一基板10在厚度方向并排的状态保持第二基板40，且保持探针单元70。基板保持部50具有：探针侧保持板部52，位于第二基板40的探针单元70侧；以及保持板支撑部53，将探针侧保持板部52定位于相对于第一基板10在厚度方向并排的位置。基板保持部50通过第一基板10与第二基板40夹持电性连接部80，从而以经由电性连接部80将第一基板10与第二基板40电性连接的状态保持第二基板40。
检查以及包括装置

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