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- [发明专利]一种半导体设备用陶瓷加热盘的测试装置-CN202310330758.0有效
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王彩俊;唐占银
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无锡卓瓷科技有限公司
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2023-03-31
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2023-06-23
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G01K7/02
- 本发明公开了一种半导体设备用陶瓷加热盘的测试装置，包括陶瓷加热盘，陶瓷加热盘的底部设有陶瓷管，还包括测试装置，测试装置包括控制柜、上位机、反应容器、分别与反应容器连接的真空装置、反应气体输送装置、柄部冷却装置、温度检测装置；陶瓷加热盘位于反应容器内部，柄部冷却装置固定位于反应容器的底部，陶瓷管穿过反应容器底部，陶瓷管位于柄部冷却装置内部，温度检测装置位于陶瓷加热盘顶部；上位机与控制柜电性连接，控制柜分别与陶瓷加热盘、真空装置、反应气体输送装置、柄部冷却装置、温度检测装置电性连接。本发明具有成本低、多点温度检测、冷却效果好、密封效果好、防止陶瓷管过热、实现模拟芯片制造过程中的CVD工艺的优点。
- 一种半导体备用陶瓷加热测试装置
- [发明专利]一种陶瓷加热盘-CN202310361271.9有效
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王彩俊;唐占银
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无锡卓瓷科技有限公司
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2023-04-07
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2023-06-06
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H05B3/26
- 本发明公开了一种陶瓷加热盘，包括加热层，加热层包括氮化铝陶瓷基盘、加热丝，氮化铝陶瓷基板顶部沿径向开设有N组由若干第一腰形槽组成的同圆心圆环状的第一腰形槽组，氮化铝陶瓷基板底部沿径向开设有N组由若干第二腰形槽组成的同圆心圆环状的第二腰形槽组，每个第一腰形槽的两端分别开设有第一圆形穿孔、第二圆形穿孔，任意一个第二腰形槽的一端位于一个第一腰形槽的第一圆形穿孔处，该第二腰形槽的另一端位于另外一个第一腰形槽的第二圆形穿孔处，加热丝穿在若干第一腰形槽的第一圆形穿孔、第二圆形穿孔内且嵌设在若干第一腰形槽和第二腰形槽内。本发明具有氮化铝陶瓷基板在同电流同时间内产生更多热量、散热快、真空腔内加热速度快的优点。
- 一种陶瓷加热
- [发明专利]半导体刻蚀设备用气体喷射器的清洗装置-CN202310010381.0有效
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唐占银;高赛魁
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无锡卓瓷科技有限公司
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2023-01-05
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2023-03-10
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B08B3/04
- 本发明公开了半导体刻蚀设备用气体喷射器的清洗装置，包括储液箱、位于储液箱上方的冲洗箱、位于储液箱和冲洗箱的下方泄漏箱、位于冲洗箱内部的出液箱、分流管、球阀、夹具和位于泄漏箱内部的水泵、过滤器；储液箱与水泵的进口端相连通，水泵的出口端与过滤器的进口端相连通，过滤器的出口端与出液箱的进口端相连通，分流管的进口端与出液箱远离出液箱的进口端的一侧相连通，分流管的出口端固定设有球阀，夹具内部固定设有一个气体喷射器，夹具固定位于球阀的出口端，冲洗箱出口端与储液箱相连通。本发明具有安装方便、控制清洗水流速度、可多个气体喷射器同时清洗、能耗低、可针对气体喷射器的第一孔与第二孔进行冲刷的优点。
- 半导体刻蚀备用气体喷射器清洗装置
- [发明专利]一种氧化铝陶瓷倒角装置-CN202211299254.9在审
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唐占银;周阳
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无锡卓瓷科技有限公司
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2022-10-24
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2023-01-24
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B24B9/06
- 本发明公开了一种氧化铝陶瓷倒角装置，涉及氧化铝陶瓷加工技术领域，其技术方案要点包括机架、夹紧台、三维运动平台和激光倒角器，所述机架的顶部开设有凹槽，所述夹紧台装设于凹槽内并用于夹紧待倒角的氧化铝陶瓷材料，所述三维运动平台装设于机架的上方，所述激光倒角器位于夹紧台的上方并随着三维运动平台移动，所述激光倒角器和三维运动平台之间装设有用于调节激光倒角器的调节机构。该发明采用激光切割倒角，不会出现与氧化铝陶瓷材料产生碰撞或振动导致氧化铝陶瓷材料边角破损的情况；且工装夹具设计合理，在夹紧受力时，不会使氧化铝陶瓷挤压破碎。
- 一种氧化铝陶瓷倒角装置
- [发明专利]一种氧化铝陶瓷平面磨床-CN202211402841.6在审
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唐占银;杨盛国
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无锡卓瓷科技有限公司
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2022-11-10
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2023-01-20
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B24B41/04
- 本发明公开了一种氧化铝陶瓷平面磨床，涉及氧化铝陶瓷加工技术领域，其技术方案要点包括磨床机体，所述磨床机体内装设有驱动机构、安装机构、动静压主轴和轴套，所述轴套的两端均通过螺栓连接有法兰封盖，两个所述法兰封盖的轴心处均装设有油封，所述动静压主轴的两端设置为台阶状，所述动静压主轴安装于两个油封之间，所述动静压主轴的一端安装有砂轮，所述动静压主轴的另一端通过螺栓和安装机构可拆卸安装，所述动静压主轴通过安装机构和驱动机构相连，所述驱动机构用于驱动动静压主轴旋转进行磨削工作。该发明的优点在于便于安装和拆卸，安装后结构稳定，拆卸时润滑油不会造成浪费或污染工作环境。
- 一种氧化铝陶瓷平面磨床
- [发明专利]一种氧化铝结构件清洗系统-CN202211220805.8在审
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唐占银;高赛魁
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无锡卓瓷科技有限公司
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2022-10-08
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2023-01-10
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B08B3/02
- 本发明涉及清洗设备技术领域，特别是涉及一种氧化铝结构件清洗系统，包括下溶液腔室和与下溶液腔室连接构成清洁腔室的喷淋腔室，以及用于密封喷淋腔室开口部分的密封仓门，所述下溶液腔室的内部中间位置处设置有横杆，横杆中部通过轴承和转轴的配合转动连接有置物盘；所述喷淋腔室背面中间与横杆齐平的位置处设置有托板，上部固定连接有驱动电机，且驱动电机的输出端连接有减速机，减速机的输出端固定连接有齿轮盘，齿轮盘一侧延伸至下溶液腔室的内部并与置物盘外沿啮合；实现了酸性溶液的循环喷射，通过冲淋的方式替代浸泡的方式，提高了液体在氧化铝结构件内部的流动速度，方便杂物的快速流出。
- 一种氧化铝结构件清洗系统
- [发明专利]一种氧化铝机械手臂真空测试装置-CN202211135111.4在审
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唐占银;高赛魁
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无锡卓瓷科技有限公司
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2022-09-19
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2022-12-23
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B25J19/00
- 本发明属于氧化铝机械手臂性能检测技术领域，公开了一种氧化铝机械手臂真空测试装置，包括真空检测箱、真空泵、氧化铝机械手臂主体、真空保护手套、真空抽气泵、压力控制装置、抽气管、安装座以及吸附板，所述真空泵与真空检测箱相连通，所述氧化铝机械手臂主体位于真空检测箱的内侧。本方案通过压力控制装置起到压力控制与显示效果，从而控制真空抽气泵和抽气管进行不同压力吸附效果，陶瓷遮挡部件由陶瓷粉配合氧化铝烧制成型，从而具有强效耐高温能力，可耐受上千度高温不易损坏，防止连接气道由高温不耐受发生泄漏，使装置达到氧化铝手臂的耐高温强度较高，且测试装置结构较为简单，检测较为便利。
- 一种氧化铝机械手臂真空测试装置
- [发明专利]一种氧化铝高温烧结炉进气系统-CN202211069300.6在审
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唐占银
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无锡卓瓷科技有限公司
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2022-09-01
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2022-12-09
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F27B17/00
- 本发明公开了一种氧化铝高温烧结炉进气系统，涉及烧结炉技术领域。本发明包括箱体，所述箱体内部安装有过滤机构，所述过滤机构包括电机，所述电机的动力输出端固定连接有第一转动杆，所述第一转动杆外壁依次固定连接有第一过滤板和主齿轮，所述主齿轮外壁啮合连接有从齿轮，所述从齿轮内壁连接有第二转动杆，且所述第二转动杆两端与所述箱体内壁转动连接，所述第二转动杆外壁固定连接有第二过滤板，所述电机一侧与所述箱体内壁连接。本发明通过设置过滤机构将通入空气上带有的灰尘进行过滤，避免灰尘影响燃烧效果，进而来提高燃烧效率，也加快工作效率。
- 一种氧化铝高温烧结炉系统
- [实用新型]一种陶瓷烧结炉-CN202220021045.7有效
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唐占银;高赛魁;杨盛国
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无锡卓瓷科技有限公司
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2022-01-06
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2022-09-30
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F27B17/00
- 本实用新型涉及陶瓷烧结技术领域,尤其涉及一种陶瓷烧结炉,包括烧结炉本体，烧结炉入口处设置有上料机，上料机用于将待加工的陶瓷放入烧结炉的内腔，上料机一侧安装有可上下滑动的放置架，放置架用于放置物料架，物料架内放置有陶瓷，放置架共有两个，且两者之间存在间隔，物料架放置在放置架之间，上料机下方设置滑轨，滑轨延伸至烧结炉的入口处，滑轨内部安装有第一丝杠，第一丝杠一端连接有第一步进电机，上料机的底部通过螺栓安装有连接杆，连接杆远离上料机一端设置有滑台，滑台与滑轨滑动配合，本实用新型通过放置架完成上下料过程，轻松省力，提高了效率，同时降低了安全隐患。
- 一种陶瓷烧结炉
- [实用新型]一种陶瓷吸盘-CN202220131584.6有效
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高赛魁;周阳;杨盛国
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无锡卓瓷科技有限公司
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2022-01-19
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2022-09-30
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H01L21/683
- 本实用新型涉及陶瓷盘技术领域,尤其涉及一种陶瓷吸盘,包括陶瓷盘本体，陶瓷盘边缘开设有用于卡扣的凸台，凸台共有四个，且绕陶瓷盘圆周均布，陶瓷盘通过凸台卡扣安装在底座内，底座内部开设有卡孔，卡孔内壁两侧开设有第一滑槽，第一滑槽内滑动安装有卡块，卡块一端通过焊接有小型弹簧，小型弹簧远离卡块一端连接第一滑槽的内壁，凸台表面黏连有卡柱，卡柱插入卡孔内，卡孔内滑动安装有顶出柱，本实用新型陶瓷盘的替换快速便捷，同时可拆卸式的把手使得需要移动陶瓷吸盘移动更加方便。
- 一种陶瓷吸盘
- [实用新型]一种陶瓷材料内部探伤装置-CN202123302711.9有效
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高赛魁;杨盛国;唐占银
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无锡卓瓷科技有限公司
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2021-12-27
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2022-08-23
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G01N33/38
- 本实用新型公开了一种陶瓷材料内部探伤装置，属于材料检测技术领域。本实用新型包括连接组件，所述连接组件内部设置有微型电机和电源，所述连接组件端部设置有凹槽，凹槽内部转动连接有转动轴，所述转动轴与微型电机连接，转动轴的另一端通过转动杆与所述探头组件连接，微型电机由控制器无线遥控，能够远程控制微型电机带动探头组件绕转动轴的轴线270°转动，增加了探头组件的灵活性，能够对陶瓷材料的内部复杂结构进行检测，提高了该装置的灵活性，通过在探头本体上设置有多个滚珠，能够减小探头本体相对于材料表面滑动时的摩擦力，使用方便，通过在连接组件的端部设置有弹簧，能够减小探头的震动，保护探头内部的电器件，增加探头的使用寿命。
- 一种陶瓷材料内部探伤装置
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