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- [发明专利]退火设备及其退火工艺-CN201610921638.8有效
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杨翠柏;方聪;杨光辉;陈丙振
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珠海鼎泰芯源晶体有限公司
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2016-10-21
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2019-06-28
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C30B33/02
- 本发明公开了一种退火设备及其退火工艺,包括加热保护元件、内部开有凹槽的上保温腔体和下保温腔体以及升降移动机构;升降移动机构包括竖直升降杆、水平移动带和底座,其中,竖直升降杆一侧连接上保温腔体和下保温腔体,上保温腔体和下保温腔体可沿竖直升降杆上下移动;水平移动带上配有基座,水平移动带通过支撑座固定设置在底座上,水平移动带带动固定加热保护元件的基座左右移动。采用本发明的退火设备操作方便、降温均匀;退火过程中,进行降温的加热保护元件通过吊装从基座上移走的同时,迅速装入下一个装有单晶棒的加热保护元件进行退火,实现连续快速生产,节省能耗和时间。
- 退火设备及其工艺
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