专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]管靶-CN201680026293.8有效
  • 安德烈·德龙豪弗;克里斯汀·林克;伊丽莎白·艾登伯格 - 攀时奥地利公司
  • 2016-04-28 - 2020-06-19 - H01J37/34
  • 用于阴极溅镀设备的标靶(1a至1d),具有来自一溅镀材料的管状标靶主体(2a至2d);以及至少一连接件(6a至6d),其连接至该标靶主体(2a至2d)并自该标靶主体突出,用以将该标靶主体(2a至2d)连接至一阴极溅镀设备,其中该标靶主体(2a至2d)以一真空密闭及防止扭转的方式连接至该至少一连接件(6a至6d),特征在于至少一阻尼元件(4a至4d')被配置于该至少一连接件(6a至6d)与该标靶主体(2a至2d)之间。
  • 管靶

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