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[发明专利]电容压差传感器及其生产方法-CN201580034035.X有效
发明人： 拉斐尔·泰伊朋;本杰明·莱姆克 -专利权人：恩德莱斯和豪瑟尔欧洲两合公司
申请日： 2015-06-08 - 公布日： 2020-12-22 - 主分类号： G01L13/02 文献下载
摘要：描述了一种简单构建且能低成本生产的压差传感器，其包括第一和第二配对电极(1、3)、布置在两个配对电极(1、3)之间的能导电的盘(5)、第一绝缘层(7)、第二绝缘层(11)、设置在第一配对电极(1)中的凹部(13)以及设置在第二配对电极(3)中的凹部(13)，通过第一绝缘层，盘(5)的外边缘与第一配对电极(1)的外边缘连接以形成第一压力腔(9)，通过第二绝缘层，盘(5)的外边缘与第二配对电极(3)的外边缘连接以形成第二压力腔(9)，通过设置在第一配对电极中的凹部，第一压力腔(9)可以加载以第一压力(p1)，通过设置在第二配对电极中的凹部，第二压力腔(9)可以加载以第二压力(p2)，该压差传感器的特征在于，盘(5)通过沟槽(17)划分为充当电极的内区域(19)和通过沟槽(17)与内区域电绝缘的外区域(21)，内区域(19)包括布置在两个压力腔(9)之间的测量膜片(15)和环绕测量膜片(15)的、在绝缘层(7、11)的内边缘(25)之间夹紧的边缘区域(23)，并且内区域(19)与其中每个配对电极(1、3)分别形成电容器，该电容器具有依赖于作用到测量膜片(15)上的压差(Δρ)的电容量(C1、C3)。
电容传感器及其生产方法

[发明专利]压差传感器-CN201580017055.6有效
发明人：英·图安·塔姆;彼得·克勒费尔;拉斐尔·泰伊朋;本杰明·莱姆克 -专利权人：恩德莱斯和豪瑟尔欧洲两合公司
申请日： 2015-03-24 - 公布日： 2019-10-22 - 主分类号： G01L13/02 文献下载
摘要：压差传感器包括：具有测量膜和在其间布置测量膜的两个平台以及换能器的压差测量单元；以及具有两个夹持区域的弹性夹持设备，夹持区域每个作用在背离所述测量膜的所述平台的相应后侧上，其中夹持设备具有至少一个弹性元件，夹持区域通过至少一个弹性元件机械联接，以便以轴向夹持力夹持压差测量单元，其中夹持区域是刚性的，其中夹持设备包括具有两个夹持体的夹具，每个夹持体都具有夹持区域之一，其中至少一个夹持体具有弹性元件，夹持体在应力下彼此连接，以便在压差测量单元上施加夹持力，其中两个夹持体具有包括所述夹持区域的中心形状保持段，其中弹性段在至少一个夹持体，尤其是在两个夹持体的所述形状保持段上邻接，弹性段形成弹性元件。
传感器

[发明专利]压差传感器-CN201480065843.8有效
发明人：伯恩哈德·约赫姆;蒂莫·科博;本杰明·莱姆克;达里娜·里默尔;拉斐尔·泰伊朋;英·图安·塔姆;罗兰德·维尔特舒茨基 -专利权人：恩德莱斯和豪瑟尔欧洲两合公司
申请日： 2014-11-03 - 公布日： 2019-06-14 - 主分类号： G01L13/02 文献下载
摘要：一种压差传感器(101)，包括：由导电材料制成的测量隔膜(110)；两个电绝缘的配合体(120、130)，以及至少一个电容式变换器，其中所述测量隔膜(110)通过沿着周向边缘在每一情形中均形成测量室而以耐压的方式连接到所述配合体(120、130)，其中每个配合体都具有中心凹进的隔膜底座，其中每个配合体具有穿过所述配合体延伸到所述测量室中的压力通道(125、135)，其中所述电容式变换器具有至少一个配合体电极，该配合体电极由在所述隔膜底座(124、134)的区域中的所述配合体的表面的金属涂层形成，并且能够通过所述压力通道的通道壁的金属涂层与该配合体电极形成接触，其中所述配合体电极由所述金属涂层的内部区域(127、137)形成，该内部区域被所述涂层的外部区域(126、136)环形地包围并且通过环形的绝缘区域(129、139)而与所述外部区域分开。
传感器

[发明专利]电容式压力传感器及其制造方法-CN201680065156.5在审
发明人：彼得·诺门森;拉斐尔·泰伊朋;本杰明·莱姆克;谢尔盖·洛帕京 -专利权人：恩德莱斯和豪瑟尔欧洲两合公司
申请日： 2016-11-09 - 公布日： 2018-07-31 - 主分类号： G01L9/00 文献下载
摘要：本发明描述一种构造简单且使用根据本发明的方法成本有效地可制造的压力传感器，其包括：平台(1)；导电测量膜(5)，其与所述平台(1)连接以封闭压力腔室(3)并且能够与待测量压力(Δp)接触；以及电极(13)，其与所述测量膜(5)间隔开并且与所述测量膜(5)电绝缘以连同所述测量膜(5)一起形成电容器，所述电容器具有根据所述测量膜(5)的偏转的电容变量，所述偏转取决于作用于所述测量膜(5)上的所述压力(Δp)，其特征在于所述平台(1)具有限定所述压力腔室(3)并且与所述测量膜(5)相对的内表面，其中在所述内表面上提供绝缘层(15)，尤其是二氧化硅(SiO2)绝缘层(15)，并且所述电极(13)是在所述绝缘层(15)上施加到所述内表面上的导电涂层，尤其是掺杂多晶硅的涂层。
测量膜绝缘层内表面电容器偏转电极电容式压力传感器掺杂多晶硅封闭压力腔压力传感器测量压力导电涂层电容变量二氧化硅压力腔室电绝缘有效地导电制造施加

[发明专利]压差传感器及其制造方法-CN201380052765.3有效
发明人：伊戈尔·格特曼;托马斯·林克;彼得·诺门森;拉斐尔·泰伊朋 -专利权人：恩德莱斯和豪瑟尔两合公司
申请日： 2013-09-24 - 公布日： 2018-01-19 - 主分类号： G01L19/06 文献下载
摘要：本发明涉及压差传感器(1)，包括测量膜(10)，该测量膜(10)布置在两个平台(20)之间，并且经相应的第一绝缘层(26)与平台(20)中的每个压力紧密地连接，以便在平台与测量膜之间形成压力室。绝缘层尤其包括氧化硅。压差传感器进一步包括用于记录测量膜的压力依赖偏转的电换能器。平台(20)具有支撑位置(27)，在过载的情况下，测量膜(10)至少部分地接触支撑位置(27)。支撑位置(10)具有位置依赖高度h。压差传感器的特征在于，支撑位置(27)通过各向同性蚀刻形成在第一绝缘层(26)中，并且每个支撑位置的相应高度h是在基准平面中的支撑位置的基部的距离的函数。
传感器及其制造方法

[发明专利]MEMS传感器，尤其是压力传感器-CN201680014763.9在审
发明人： 拉斐尔·泰伊朋;本杰明·莱姆克 -专利权人：恩德莱斯和豪瑟尔两合公司
申请日： 2016-03-04 - 公布日： 2017-11-28 - 主分类号： G01L9/00 文献下载
摘要：本发明涉及用于计量地感测被测变量的具有改进的抗过载性的MEMS传感器，其包括彼此上下布置的多个层(1、3、5)，尤其是硅层，其中，MEMS传感器的层(1、3、5)包括至少一个内层(5)，其被布置在第一层(1)与第二层(3)之间，并且在MEMS传感器的内层(5)中，设置有垂直于内层(5)的平面延伸通过内层(5)的至少一个切口(7)，该切口至少部分地与内层(5)的区域从外部接合并且形成连接元件(9)，该区域与第一层(1)和第二层(3)连接，MEMS传感器的特征在于，至少部分地与切口(7)从外部接界的连接元件(9)的侧表面(11)在面向第一层(1)的端部区域中具有在第一层(1)的方向上减小切口(7)的横截面面积的倒圆形状，并且在面向第二层(3)的端部区域中具有在第二层(3)的方向上减小切口(7)的横截面面积的倒圆形状。
mems 传感器尤其是压力传感器

[发明专利]电容式压力传感器及其制造方法-CN201580059230.8在审
发明人： 拉斐尔·泰伊朋;本杰明·莱姆克;蒂莫·科博;拉尔斯·卡尔韦克;斯特凡·鲁姆勒-维尔纳;托马斯·齐里林格 -专利权人：恩德莱斯和豪瑟尔两合公司
申请日： 2015-09-02 - 公布日： 2017-09-08 - 主分类号： G01L9/12 文献下载
摘要：本发明涉及一种高精度压力传感器，其具有第一基体(1)，该第一基体(1)具有两个导电层(11、13)和绝缘层(15)，该绝缘层(15)被布置在这两个层(11、13)之间并且使所述两个层(11、13)彼此电绝缘；导电测量膜(5)，该导电测量膜(5)被布置在第一基体(1)上并且包括压力室(9)，该测量膜(5)可以载以要测量的压力(p、Δp)；和电极(17)，该电极(17)设置在面向膜的层(11)中并且与测量膜(5)间隔开，该电极(17)与测量膜(5)一起形成电容器，该电容器具有根据作用在测量膜(5)上的压力而变化的电容(C1)，该基体(1)的特征在于，其具有测量膜端子(23、23')，经由该测量膜端子(23、23')可以将参考电势(U0)施加到测量膜(5)；电极端子(25)，电极(17)的电极电势(E1)能够经由该电极端子(25)分接；以及屏蔽端子(27、27')，经由该屏蔽端子(27、27')将可以独立于参考电势(U0)预先确定的屏蔽电势(UE1)，特别地，对应于电极电势(E1)的屏蔽电势(UE1)，施加到背离膜的层(13)。
电容压力传感器及其制造方法

[发明专利]通过陶瓷对硅芯片进行机械稳定并且进行电以及液压适配-CN201380067647.X在审
发明人：本杰明·莱姆克;拉斐尔·泰伊朋;英·图安·塔姆 -专利权人：恩德莱斯和豪瑟尔两合公司
申请日： 2013-12-06 - 公布日： 2015-08-26 - 主分类号： G01L19/06 文献下载
摘要：差动压力传感器(1)包括差动压力测量单元(10)，差动压力测量单元具有测量单元体，该测量单元体在其内部具有能加载以压力的测量室(13、15)和第一装配面(17)以及第二装配面(19)，其中，装配面(17、19)在压力加载测量室(13、15)的情况下具有可改变的间距，其中，差动压力传感器此外还具有第一加固体(20)和第二加固体(20)，第一加固体具有平坦的第一加固面，第二加固体具有平坦的第二加固面，其中，由于压力加载测量室所引起的装配面的弯曲度通过加固体来减小，并且其中，在加固体之间没有并联的附加连接的情况下仅通过加固体与测量单元体的连接来得到通过差动压力测量单元连接的加固体的有效刚性K＝1/(dx/dp)的尤其是至少50％，其中，x是第一装配面与第二装配面之间的具有最大的压力关联性dx/dp的间距。
通过陶瓷芯片进行机械稳定并且以及液压

[发明专利]具有共面的压力进入部的液压测量装置以及具有这种测量装置的压差传感器-CN201380067465.2在审
发明人：本杰明·莱姆克;米夏埃尔·诺亚克;拉斐尔·泰伊朋;英·图安·塔姆 -专利权人：恩德莱斯和豪瑟尔两合公司
申请日： 2013-12-06 - 公布日： 2015-08-26 - 主分类号： G01L13/02 文献下载
摘要：用于记录压差的液压测量装置包括：具有过程联接面(16)的测量装置体(10)；以及两个压力进入口，在这些压力进入口中分别布置有压力管(20、22)，该压力管在背侧从测量装置体(10)伸出并且承载压差测量单元(40)，其中，压力管(20、22)从过程联接面(16)侧压力密封地与测量装置体(10)相连。
具有压力进入液压测量装置以及这种传感器

[发明专利]耐压封装的压差传感器-CN201280015534.0有效
发明人：英·图安·塔姆;弗兰克·帕斯勒;拉斐尔·泰伊朋 -专利权人：恩德莱斯和豪瑟尔两合公司
申请日： 2012-02-10 - 公布日： 2013-12-25 - 主分类号： G01L13/02 文献下载
摘要：一种压差传感器（1）包括：封壳（2），其具有陶瓷封壳主体（20）和在其内部的换能器座，在换能器座中布置具有测量膜元件（33）和至少一个支承元件（31、32）的半导体压力测量换能器（3），其中测量膜元件（33）与至少一个支承元件（31、32）以压力密闭方式连接，支承元件具有压力入口（37、38），其中导管（27、28）分别从封壳（2）的外表面延伸到换能器座内；其中压力入口与第一导管连通，其中压力能够通过压力入口（38）施加于测量膜（33）的一侧，其中支承元件（32）通过接合部42与换能器座的壁以压力密闭方式连接，接合部42包围第一压力入口和第一导管（28）进入换能器座内的开口，并且其中测量膜的第二侧与其第一侧液压地隔离并且与第二导管（37）连通。
耐压封装传感器

[发明专利]具有非球面膜床的平台、具有该平台的压力传感器及其制造方法-CN201180023050.6无效
发明人：英·图安·塔姆;迪特尔·施托尔塞;拉斐尔·泰伊朋 -专利权人：恩德莱斯和豪瑟尔两合公司
申请日： 2011-04-14 - 公布日： 2013-01-16 - 主分类号： B81C1/00 文献下载
摘要：用于具有膜床的平台的制造的方法包括如下步骤：提供包括硅的平台主体；并且借助激光烧蚀从该平台主体的表面去除硅材料。优选地，经烧蚀的表面被另外氧化；并且经处理并氧化的表面被蚀刻。得到的压力传感器（1）包括具有膜床（6a、6b）的两个平台（2a、2b），该膜床（6a、6b）具有用于支撑测量膜（3）的轮廓，其中该轮廓基本对应于该测量膜（3）的弯曲线。
具有球面平台压力传感器及其制造方法

[发明专利]过载安全压力传感器、特别是压力差传感器-CN201080058686.X有效
发明人：英·图安·塔姆;拉斐尔·泰伊朋;迈克尔·菲利普斯 -专利权人：恩德莱斯和豪瑟尔两合公司
申请日： 2010-11-11 - 公布日： 2012-09-19 - 主分类号： G01L7/08 文献下载
摘要：本发明涉及一种压力传感器（1），包括在内部具有传感器腔室的传感器本体；至少一个第一分离膜（16a，16b），将其连接到传感器本体从而形成第一分离膜腔室（15a，15b）；测量膜（2），其将传感器腔室划分成两个子腔室（3a，3b）；转移流体，其用于填充第一分离膜腔室、第一子腔室和在其间的通道从而向测量膜转移压力；其中压力传感器被规定用于在最小温度和最大温度之间的温度范围以及一压力范围，其中，在最小温度下，在第一子腔室、第一通道和第一分离膜腔室中的转移流体体积足以在总压力范围内向测量膜转移压力，而无需第一分离膜静止下来，并且当在最大温度下在过载的情形下全部油液体积从第一分离膜腔室进入第一子腔室并且被测量膜（2）容纳时，测量膜不经历任何塑性变形（1）。
过载安全压力传感器特别是压力传感器

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