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[发明专利]压差传感器-CN201480065843.8有效
发明人：伯恩哈德·约赫姆;蒂莫·科博;本杰明·莱姆克;达里娜·里默尔;拉斐尔·泰伊朋;英·图安·塔姆;罗兰德·维尔特舒茨基 -专利权人：恩德莱斯和豪瑟尔欧洲两合公司
申请日： 2014-11-03 - 公布日： 2019-06-14 - 主分类号： G01L13/02 文献下载
摘要：一种压差传感器(101)，包括：由导电材料制成的测量隔膜(110)；两个电绝缘的配合体(120、130)，以及至少一个电容式变换器，其中所述测量隔膜(110)通过沿着周向边缘在每一情形中均形成测量室而以耐压的方式连接到所述配合体(120、130)，其中每个配合体都具有中心凹进的隔膜底座，其中每个配合体具有穿过所述配合体延伸到所述测量室中的压力通道(125、135)，其中所述电容式变换器具有至少一个配合体电极，该配合体电极由在所述隔膜底座(124、134)的区域中的所述配合体的表面的金属涂层形成，并且能够通过所述压力通道的通道壁的金属涂层与该配合体电极形成接触，其中所述配合体电极由所述金属涂层的内部区域(127、137)形成，该内部区域被所述涂层的外部区域(126、136)环形地包围并且通过环形的绝缘区域(129、139)而与所述外部区域分开。
传感器

[发明专利]压力差传感器-CN201780042028.3在审
发明人： 蒂莫·科博;本杰明·莱姆克 -专利权人：恩德莱斯和豪瑟尔欧洲两合公司
申请日： 2017-06-26 - 公布日： 2019-03-01 - 主分类号： G01L9/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种用于确定压力测量信号的压力差传感器，包括以下项目：基本上具有半导体材料的压力差测量单元，其能够被施加第一压力和第二压力，并且基于第一压力和第二压力之间的差使用电换能元件输出压力测量信号；优选地具有陶瓷或半导体材料的第一加强元件，利用第一接合层与压力差测量单元接合并具有第一管道，能够经由第一管道将第一压力施加到压力差测量单元；并且具有陶瓷或半导体材料的第二加强元件，利用第二接合层与压力差测量单元接合并具有第二管道，能够经由第二管道将第二压力施加到压力差测量单元；其中，第一接合层和/或第二接合层包括导电材料，优选金属材料，并且第一接合层和/或第二接合层除了用于压差测量单元分别与第一加强元件和第二加强元件的机械连接之外还用于实现电功能。
接合层测量单元压力差加强元件半导体材料压力差传感器第二管道第一管道压力施加优选陶瓷压差测量单元压力测量信号金属材料测量信号导电材料换能元件机械连接输出压力电功能合并施加

[发明专利]电容式压力传感器及其制造方法-CN201580059230.8在审
发明人：拉斐尔·泰伊朋;本杰明·莱姆克;蒂莫·科博;拉尔斯·卡尔韦克;斯特凡·鲁姆勒-维尔纳;托马斯·齐里林格 -专利权人：恩德莱斯和豪瑟尔两合公司
申请日： 2015-09-02 - 公布日： 2017-09-08 - 主分类号： G01L9/12 文献下载
摘要：本发明涉及一种高精度压力传感器，其具有第一基体(1)，该第一基体(1)具有两个导电层(11、13)和绝缘层(15)，该绝缘层(15)被布置在这两个层(11、13)之间并且使所述两个层(11、13)彼此电绝缘；导电测量膜(5)，该导电测量膜(5)被布置在第一基体(1)上并且包括压力室(9)，该测量膜(5)可以载以要测量的压力(p、Δp)；和电极(17)，该电极(17)设置在面向膜的层(11)中并且与测量膜(5)间隔开，该电极(17)与测量膜(5)一起形成电容器，该电容器具有根据作用在测量膜(5)上的压力而变化的电容(C1)，该基体(1)的特征在于，其具有测量膜端子(23、23')，经由该测量膜端子(23、23')可以将参考电势(U0)施加到测量膜(5)；电极端子(25)，电极(17)的电极电势(E1)能够经由该电极端子(25)分接；以及屏蔽端子(27、27')，经由该屏蔽端子(27、27')将可以独立于参考电势(U0)预先确定的屏蔽电势(UE1)，特别地，对应于电极电势(E1)的屏蔽电势(UE1)，施加到背离膜的层(13)。
电容压力传感器及其制造方法

[发明专利]压力传感器、特别是压力差传感器-CN201080048839.2有效
发明人： 蒂莫·科博;迈克尔·菲利普斯;迪特尔·施托尔塞;英·图安·塔姆;罗兰德·维尔特舒茨基 -专利权人：恩德莱斯和豪瑟尔两合公司
申请日： 2010-10-07 - 公布日： 2012-07-18 - 主分类号： G01L9/00 文献下载
摘要：本发明的压力传感器包括至少一个平台、至少一个测量膜(30)和换能器，其中测量膜包括半导体材料，其中封装压力腔室的测量膜被紧固在平台上，其中测量膜与至少一个压力可接触并且以依赖压力的方式弹性地可变形，其中换能器提供依赖于测量膜的变形的电信号，其中平台具有膜床，测量膜在过载的情形下处于该膜床上从而支撑测量膜，其中膜床(21)具有玻璃层(20)，该玻璃层(20)的表面面对测量膜并且形成压力腔室的壁，其中玻璃层的表面具有适合于在过载的情形下支撑测量膜(30)的轮廓，其特征在于，通过在增加的温度下玻璃板的非支撑区域由于在玻璃板的非支撑区域上的重力而下垂并且随后冷却玻璃板可获得膜床21的轮廓。
压力传感器特别是压力传感器

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