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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

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B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[发明专利]包括响应DC偏压控制的真空等离子体处理器-CN201210349459.3无效
发明人： R·季米萨;F·科扎克维奇;D·特拉塞尔 -专利权人： 拉姆研究有限公司
申请日： 2005-05-25 - 公布日： 2013-01-09 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：一种等离子体处理腔包括下电极和上电极组件，该组件具有被接地电极围绕着的中心电极。各电极之间射频激发的等离子体在这些电极上感应出DC偏压。下电极DC偏压量控制着连接在中心电极和接地之间的第一串联谐振电路的电容器。中心电极DC偏压量控制着连接在下电极和接地之间的第二串联谐振电路的电容器。
包括响应 dc 偏压控制真空等离子体处理器

[发明专利]具有响应多个RF频率的等离子体处理器-CN201010188865.7有效
发明人： R·季米萨;F·科扎克维奇;D·特拉塞尔 -专利权人： 拉姆研究有限公司
申请日： 2005-05-25 - 公布日： 2010-10-20 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：一种处理工件的等离子体处理器包括具有频率2MHz、27MHz和60MHz的源，它们由三个匹配网络施加于包含工件的真空腔中的电极。可选择地由第四匹配网络将60MHz施加于第二电极。基本上调谐到驱动其的源的频率的匹配网络包括串联电感，所以2MHz电感超过27MHz网络电感，且27MHz网络电感超过60MHz网络电感。匹配网络将驱动其的源的频率衰减至少26DB。在27和60MHz源之间的分流电感器将2MHz从27和60MHz源分隔开。串联共振电路(共振于约5MHz)分流2MHz网络和电极以帮助2MHz源匹配于电极。
具有响应 rf 频率等离子体处理器

[发明专利]具有响应多个RF频率的等离子体处理器-CN201010188975.3有效
发明人： R·季米萨;F·科扎克维奇;D·特拉塞尔 -专利权人： 拉姆研究有限公司
申请日： 2005-05-25 - 公布日： 2010-10-20 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：一种处理工件的等离子体处理器包括具有频率2MHz、27MHz和60MHz的源，它们由三个匹配网络施加于包含工件的真空腔中的电极。可选择地由第四匹配网络将60MHz施加于第二电极。基本上调谐到驱动其的源的频率的匹配网络包括串联电感，所以2MHz电感超过27MHz网络电感，且27MHz网络电感超过60MHz网络电感。匹配网络将驱动其的源的频率衰减至少26DB。在27和60MHz源之间的分流电感器将2MHz从27和60MHz源分隔开。串联共振电路(共振于约5MHz)分流2MHz网络和电极以帮助2MHz源匹配于电极。
具有响应 rf 频率等离子体处理器

[发明专利]具有响应多个RF频率的等离子体处理器-CN201010188964.5有效
发明人： R·季米萨;F·科扎克维奇;D·特拉塞尔 -专利权人： 拉姆研究有限公司
申请日： 2005-05-25 - 公布日： 2010-10-20 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：一种处理工件的等离子体处理器包括具有频率2MHz、27MHz和60MHz的源，它们由三个匹配网络施加于包含工件的真空腔中的电极。可选择地由第四匹配网络将60MHz施加于第二电极。基本上调谐到驱动其的源的频率的匹配网络包括串联电感，所以2MHz电感超过27MHz网络电感，且27MHz网络电感超过60MHz网络电感。匹配网络将驱动其的源的频率衰减至少26DB。在27和60MHz源之间的分流电感器将2MHz从27和60MHz源分隔开。串联共振电路(共振于约5MHz)分流2MHz网络和电极以帮助2MHz源匹配于电极。
具有响应 rf 频率等离子体处理器

[发明专利]具有响应多个RF频率的等离子体处理器-CN201010188861.9有效
发明人： R·季米萨;F·科扎克维奇;D·特拉塞尔 -专利权人： 拉姆研究有限公司
申请日： 2005-05-25 - 公布日： 2010-10-20 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：一种处理工件的等离子体处理器包括具有频率2MHz、27MHz和60MHz的源，它们由三个匹配网络施加于包含工件的真空腔中的电极。可选择地由第四匹配网络将60MHz施加于第二电极。基本上调谐到驱动其的源的频率的匹配网络包括串联电感，所以2MHz电感超过27MHz网络电感，且27MHz网络电感超过60MHz网络电感。匹配网络将驱动其的源的频率衰减至少26DB。在27和60MHz源之间的分流电感器将2MHz从27和60MHz源分隔开。串联共振电路(共振于约5MHz)分流2MHz网络和电极以帮助2MHz源匹配于电极。
具有响应 rf 频率等离子体处理器

[发明专利]多频等离子体刻蚀反应器-CN200910158947.4有效
发明人： R·丁德萨;S·M·R·萨德贾迪;F·考萨科维奇;D·特鲁瑟尔;L·李;E·伦兹;C·卢稣;M·斯利尼瓦萨恩;A·艾普勒;J·蒂兹;J·马克斯 -专利权人： 拉姆研究有限公司
申请日： 2004-08-20 - 公布日： 2010-02-24 - 主分类号： H01L21/00 文献下载
摘要：一种多频等离子体蚀刻反应器，其中在一个真空等离子体处理舱内，通过在数个频率下激发等离子体，从而使得由数个频率所致的等离子体激发同时地导致数个不同的现象发生于等离子体中，由此用等离子体对工件进行处理。所述舱包括中央的顶电极和底电极，以及一个周围的顶电极和/或底电极装置，其或者由RF激励，或者由一个滤波器装置连接到一个参考电势上，其中该滤波器装置使得至少一个等离子体激发频率通过，但阻隔其它频率。
等离子体刻蚀反应器

[发明专利]电增强等离子体约束-CN200580044623.8有效
发明人： A·库提;J·金;E·兰斯;R·迪恩德萨;L·李;R·萨贾迪 -专利权人： 拉姆研究有限公司
申请日： 2005-12-29 - 公布日： 2007-12-12 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：一种包括具有接地壁和出口的室的真空等离子体处理器。在与壁以及出口隔开的室区域中以第一RF频率激励等离子体。一结构将等离子体约束在此区域，同时使气体能够从此区域流到出口。连接到约束结构的处于第二频率的RF电源使得该约束结构处于不同于接地点的电位，从而增加等离子体与约束结构之间的鞘层的大小，并增加约束结构的有效性。此区域包括经由与第一频率串联谐振并包括鞘层电容的电路接地的电极。
增强等离子体约束

[发明专利]电极同时响应于多频的等离子体处理器-CN200710101306.6有效
发明人： V·瓦荷迪;P·罗文哈德特;B·艾林伯;A·库西;A·菲谢尔 -专利权人： 拉姆研究有限公司
申请日： 2003-06-20 - 公布日： 2007-09-19 - 主分类号： H05H1/00 文献下载
摘要：在加工工件的真空室内，等离子体以等离子体约束容积为界，包括同时响应于第一和第二RF频率功率的第一电极与DC接地第二电极之间的区域。DC接地延伸部分基本上直线对准第一电极。大部分第一频率功率耦合到包括第一与第二电极但不包括延伸部分的通路，大部分第二频率功率耦合到包括第一电极和延伸部分但不包括第二电极的通路。改变加到第一电极的第一与第二频率的相对功率，可控制第一电极的DC偏压。
电极同时响应等离子体处理器

[发明专利]多频等离子体刻蚀反应器-CN200480023943.0有效
发明人： R·丁德萨;S·M·R·萨德贾迪;F·考萨科维奇;D·特鲁瑟尔;L·李;E·伦兹;C·卢稣;M·斯利尼瓦萨恩;A·艾普勒;J·蒂兹;J·马克斯 -专利权人： 拉姆研究有限公司
申请日： 2004-08-20 - 公布日： 2007-05-30 - 主分类号： H01L21/311 文献下载
摘要：在一个真空等离子体处理舱内，通过在数个频率下激发等离子体，从而使得由数个频率所致的等离子体激发同时地导致数个不同的现象发生于等离子体中，由此用等离子体对工件进行处理。所述舱包括中央的顶电极和底电极，以及一个周围的顶电极和/或底电极装置，其或者由RF激励，或者由一个滤波器装置连接到一个参考电势上，其中该滤波器装置使得至少一个等离子体激发频率通过，但阻隔其它频率。
等离子体刻蚀反应器

[发明专利]具有响应多个RF频率的等离子体处理器-CN200580017417.8有效
发明人： R·季米萨;F·科扎克维奇;D·特拉塞尔 -专利权人： 拉姆研究有限公司
申请日： 2005-05-25 - 公布日： 2007-05-09 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：一种处理工件的等离子体处理器包括具有频率2MHz、27MHz和60MHz的源，它们由三个匹配网络施加于包含工件的真空腔中的电极。可选择地由第四匹配网络将60MHz施加于第二电极。基本上调谐到驱动其的源的频率的匹配网络包括串联电感，所以2MHz电感超过27MHz网络电感，且27MHz网络电感超过60MHz网络电感。匹配网络将驱动其的源的频率衰减至少26DB。在27和60MHz源之间的分流电感器将2MHz从27和60MHz源分隔开。串联共振电路(共振于约5MHz)分流2MHz网络和电极以帮助2MHz源匹配于电极。
具有响应 rf 频率等离子体处理器

[发明专利]包括响应DC偏压控制的真空等离子体处理器-CN200580016987.5有效
发明人： R·季米萨;F·科扎克维奇;D·特拉塞尔 -专利权人： 拉姆研究有限公司
申请日： 2005-05-25 - 公布日： 2007-05-02 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：一种等离子体处理腔包括下电极和上电极组件，该组件具有被接地电极围绕着的中心电极。各电极之间射频激发的等离子体在这些电极上感应出DC偏压。下电极DC偏压量控制着连接在中心电极和接地之间的第一串联谐振电路的电容器。中心电极DC偏压量控制着连接在下电极和接地之间的第二串联谐振电路的电容器。
包括响应 dc 偏压控制真空等离子体处理器

[发明专利]电极同时响应于多频的等离子体处理器-CN03818710.8有效
发明人： V·瓦荷迪;P·罗文哈德特;B·艾林伯;A·库西;A·菲谢尔 -专利权人： 拉姆研究有限公司
申请日： 2003-06-20 - 公布日： 2005-09-28 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：在加工工件的真空室内，等离子体以等离子体约束容积为界，包括同时响应于第一和第二RF频率功率的第一电极与DC接地第二电极之间的区域。DC接地延伸部分基本上直线对准第一电极。大部分第一频率功率耦合到包括第一与第二电极但不包括延伸部分的通路，大部分第二频率功率耦合到包括第一电极和延伸部分但不包括第二电极的通路。改变加到第一电极的第一与第二频率的相对功率，可控制第一电极的DC偏压。
电极同时响应等离子体处理器

[发明专利]真空等离子体处理器及其操作方法-CN02809654.1有效
发明人： G·恩尼斯 -专利权人： 拉姆研究有限公司
申请日： 2002-03-29 - 公布日： 2005-04-20 - 主分类号： H01L21/68 文献下载
摘要：真空等离子体处理器包括形成等离子体处理器的底部电极或顶部电极的具有多个相互绝缘的电极的电极阵列。当电极阵列是底部电极的一部分时，阵列中的电极是响应于局部温度传感器的、热电的、Peltier效应型装置的部分以及是静电夹具的部分。热电装置控制工件的局部温度和钳位电压，所述钳位电压表示工件相对于包括电极的工件夹具的位置。把阵列中的电极耦合到电路，用于确定和/或控制在工件和/或等离子体的不同位置处的至少一个局部等离子体电参数。电路同时把具有不同频率日功率电平的RF功率提供给阵列中的不同电极，并包括连接到阵列中的不同电极的独立的匹配网络。
真空等离子体处理器及其操作方法

[发明专利]等离子体处理器线圈-CN02822122.2有效
发明人： N·本加明;D·科普伯格 -专利权人： 拉姆研究有限公司
申请日： 2002-09-16 - 公布日： 2005-02-16 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：一种等离子体处理器线圈能包括一与多个多匝共面交织螺旋并联的绕组作电阻或只是电抗耦合的短路匝，一分离电容器可与各绕组关联以将电流从该绕组一部分分流到绕组另一部分，各绕组外围部分邻匝间的间距与各绕组里面部分邻匝间的间距不同，线圈长度相对于该线圈RF激发波长很短。
等离子体处理器线圈

[发明专利]带有独立的等离子体密度/化学性质和离子能量控制的双频等离子体蚀刻反应器-CN02815529.7有效
发明人： R·丁德萨;M·斯里尼瓦杉;E·兰茨;李鲁民 -专利权人： 拉姆研究有限公司
申请日： 2002-08-08 - 公布日： 2004-10-20 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：一种用于加工工件的真空等离子体腔室，它包括用于与腔室中的气体电气耦合并分别连接至第一和第二、相对较高和较低频率的RF电源的第一和第二电极。该腔室包括处于参考电位的一壁，和一与该壁间隔开的等离子体约束区域。一连接至诸电源和诸电极的滤波器结构使来自第一电源的电流能流至第一电极，并阻止从第一电源流出的电流大量地流至第二电极和第二电源，以及使来自第二电源的电流能流至第一和第二电极，并阻止来自第二电源的电流大量地流至第一电源。
带有独立等离子体密度化学性质离子能量控制双频蚀刻反应器

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