专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]用于清洁基板的设备和系统-CN201080018291.7无效
  • 林成渝(肖恩);马克·卡瓦古奇;马克·威尔考克森;拉塞尔·马丁;利昂·金兹伯格 - 朗姆研究公司
  • 2010-03-30 - 2012-04-18 - H01L21/302
  • 上部加工头包括上表面模块,其定义为将清洁材料施加在基板的上表面、然后将基板暴露于上部冲洗弯液面。所述上表面模块定义为使冲洗材料以基本上单向的方式向着所述清洁材料并逆着基板的移动方向流经所述上部冲洗弯液面。下部加工头包括下表面模块,其定义为将下部冲洗弯液面施加在所述基板上,以均衡由所述上部冲洗弯液面施加在所述基板上的力。所述下表面模块定义为提供用于收集和排放当所述基板不在所述上部加工头和所述下部加工头之间时从所述上部加工头发放的所述清洁材料的排放通道。所述上部加工头和所述下部加工头分别可以包括多个实例的上表面模块和下表面模块。
  • 用于清洁设备系统
  • [发明专利]除去向下流经风室的流体的气泡-CN200980130735.3有效
  • 恩里科·马尼;拉塞尔·马丁 - 朗姆研究公司
  • 2009-08-17 - 2011-06-29 - B01D19/00
  • 一个示例实施方案中,用于将流体沉积在半导体晶片上的顶部附近头部包括接收流体的输送孔。所述顶部附近头部包括风室,其通过许多输入通道与所述输送孔相连,流体从所述输送孔流入所述输入通道。各输入通道具有倒置的V-型开口,其促使所有气泡向上流。所述流体从所述风室流经顶部附近头部外的输出通道而形成弯月面。通过通向返回孔的返回通道将所述流体从所述弯月面吸回到所述顶部附近头部。一通路将所述输送孔与所述返回孔相连,允许气泡从所述输送孔逃逸到所述返回孔。所述通路允许可忽略量的流体在所述两孔之间直接流动而不经过所述风室。
  • 除去流经流体气泡

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