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[发明专利]角度调节装置及晶圆载台-CN202310159994.0在审
发明人：陈夏薇;王瀚;张德光;徐开涛;吴文龙;姚建强;郭剑飞 -专利权人：杭州长川科技股份有限公司
申请日： 2023-02-15 - 公布日： 2023-06-23 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：本发明提供了一种角度调节装置及晶圆载台，涉及探针台技术领域，本发明提供的角度调节装置包括承载盘、旋转盘和驱动机构，旋转盘活动连接于承载盘的上方，且旋转盘相对于承载盘具有轴向和周向自由度，承载盘与旋转盘之间形成用于通正压或负压的腔体，驱动机构与旋转盘传动连接，驱动机构用于带动旋转盘周向转动。本发明提供的角度调节装置具有受力面积以及承载能力大、可提高探针台大负载测试的Z向精度、转角不易发生变化等优点。
角度调节装置晶圆载台

[实用新型]换卡装置及晶圆测试设备-CN202221790212.0有效
发明人：陈夏薇;徐开涛;姚建强;郭剑飞 -专利权人：杭州长川科技股份有限公司
申请日： 2022-07-08 - 公布日： 2023-02-03 - 主分类号： G01R1/04 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种换卡装置及晶圆测试设备，涉及测试技术领域，本实用新型提供的换卡装置包括支座、升降机构和折叠承载座，支座用于与机架滑动配合，支座和折叠承载座之间连接有升降机构，升降机构用于带动折叠承载座相对于支座上下移动，折叠承载座具有展开状态和折叠状态。本实用新型提供的换卡装置结构简单、成本低、适用性强，同时具有折叠功能，在非使用状态下空间占用面积小。
装置测试设备

[外观设计]光学轮廓测量仪器-CN202230323330.X有效
发明人：周福莹;陈思乡;杜振东;郭宗周;徐焕;徐开涛 -专利权人：长川科技(苏州)有限公司
申请日： 2022-05-27 - 公布日： 2022-12-20 - 主分类号： 10-05 文献下载
摘要：1.本外观设计产品的名称：光学轮廓测量仪器。2.本外观设计产品的用途：用于对被检测产品的表面结构测量、形貌测量（例如表面粗糙度、三维轮廓、二维尺寸、台阶高度、关键部位形貌尺寸）。3.本外观设计产品的设计要点：在于形状。4.最能表明设计要点的图片或照片：设计1立体图。5.指定设计1为基本设计。
光学轮廓测量仪器

[实用新型]载片台清洁降温装置及晶圆检测设备-CN202221995795.0有效
发明人： 徐开涛;陈夏薇;姚建强;郭剑飞;吴文龙 -专利权人：杭州长川科技股份有限公司
申请日： 2022-07-26 - 公布日： 2022-11-18 - 主分类号： G01R1/04 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种载片台清洁降温装置及晶圆检测设备，涉及集成电路测试设备技术领域，本实用新型提供的载片台清洁降温装置包括安装架、吹气机构、吸尘机构和升降机构；吹气机构安装于安装架上并用于向吸盘吹气；吸尘机构通过升降机构与安装架连接，吸尘机构用于吸附吸盘上的附着物，升降机构用于调节吸尘机构与吸盘之间的距离。本实用新型提供的载片台清洁降温装置可防止吸盘上粉尘堆积，且吸尘强度可调，保证载片台的正常运行，高温测试后，还可对吸盘吹气降温，缩短降温时间。
载片台清洁降温装置检测设备

[实用新型]探针台及电子元件检测设备-CN202221779060.4有效
发明人：陈夏薇;徐开涛;姚建强;吴文龙 -专利权人：杭州长川科技股份有限公司
申请日： 2022-07-08 - 公布日： 2022-11-18 - 主分类号： G01R1/073 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种探针台及电子元件检测设备，涉及检测装置技术领域。该探针台包括承载部和支撑部，承载部具有用于承载XY工作台的承载面，支撑部位于承载部背离承载面的一侧，并与承载部为一体成型结构。本实用新型提供的探针台解决了技术中存在的探针台精度低的技术问题。
探针电子元件检测设备

[实用新型]晶圆测试用装置-CN202221949770.7有效
发明人： 徐开涛;陈夏薇;姚建强;郭剑飞;吴文龙 -专利权人：杭州长川科技股份有限公司
申请日： 2022-07-26 - 公布日： 2022-11-18 - 主分类号： G01R31/28 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种晶圆测试用装置，涉及集成电路测试设备的技术领域，该晶圆测试用装置包括载片台安装座、载片升降台、设于载片升降台的载片台以及设在载片台安装座上并与载片升降台传动连接的载片台举升机构；载片台举升机构用于驱动载片升降台靠近或远离载片台安装座；载片升降台安装有第一相机，用于检测探针位置。缓解了现有技术中存在的清针台与载片台相互运动间的误差，从而导致探针与晶圆焊盘偏离的技术问题，达到了可消除晶圆位置与第一相机位置标定时在升降方向上的误差，从而使晶圆焊盘与探针之间不会发生偏离，实现晶圆焊盘与探针的精确对针的技术效果。
测试装置

[外观设计]光学轮廓仪控制器-CN202230314768.1有效
发明人：周福莹;刘治震;郭宗周;杜振东;徐焕;徐开涛 -专利权人：长川科技(苏州)有限公司
申请日： 2022-05-26 - 公布日： 2022-09-09 - 主分类号： 10-05 文献下载
摘要：1.本外观设计产品的名称：光学轮廓仪控制器。2.本外观设计产品的用途：在主设备运行时，为主设备提供真空吸附环境和设备控制（如信号处理、图像分析，数据处理）。3.本外观设计产品的设计要点：在于形状。4.最能表明设计要点的图片或照片：设计1立体图。5.指定设计1为基本设计。
光学轮廓仪控制器

[实用新型]一种角度调节装置及其晶圆测试平台-CN202220402273.9有效
发明人： 徐开涛;陈夏薇;姚建强;郭剑飞;吴文龙 -专利权人：杭州长川科技股份有限公司
申请日： 2022-02-25 - 公布日： 2022-07-29 - 主分类号： G01R1/04 文献下载
摘要：本实用新型涉及机械传动技术领域，具体涉及一种角度调节装置及其晶圆测试平台。该角度调节装置，包括：驱动组件、第一联动件和第二联动件；所述第一联动件的两端分别与所述驱动组件和所述第二联动件铰接；所述驱动组件驱动所述第一联动件靠近所述驱动组件的一端进行往复运动；所述第二联动件远离所述第一联动件的一端与角度待调节零件固定连接。该晶圆盘测试平台至少包括上述角度调节装置。本申请采用铰接的方式完成动力传递，铰接处受力更均匀应力集中较小，磨损程度更低，可保障角度调节设备长期具有较高的调节精度。
一种角度调节装置及其测试平台

[实用新型]一种晶圆检测平台及其晶圆检测装置-CN202122902984.0有效
发明人： 徐开涛;陈夏薇;姚建强;郭剑飞;吴文龙 -专利权人：杭州长川科技股份有限公司
申请日： 2021-11-23 - 公布日： 2022-07-15 - 主分类号： G01R31/28 文献下载
摘要：本实用新型涉及集成电路测试设备技术领域，尤其是涉及一种晶圆检测平台，包括：底座、载片台、升降机构和驱动机构；所述载片台设置在所述底座上方；所述升降机构设有多个，多个所述升降机构相互平行设置；所述升降机构竖直设置，所述升降机构的上端与所述载片台相连，所述升降机构的下端与所述底座相连接；所述驱动机构与所述升降机构传动连接，用于带动所述升降机构沿竖直方向升降。一种晶圆检测装置至少包括上述晶圆检测平台。本实用新型利用多组升降机构分载承压负荷承载能力更强，同时多组升降机构的支撑力更为分散，平台的抗倾斜能力更佳。
一种检测平台及其装置

[实用新型]一种基于物联网的智能猫眼门禁系统及设备-CN202122092217.8有效
发明人：陈荣军;郑志君;徐开涛;黄宏兴;赵慧民;王磊军;曾宪贤;黎嘉文;崔怀林 -专利权人：广东技术师范大学
申请日： 2021-08-31 - 公布日： 2022-03-18 - 主分类号： G07C9/38 文献下载
摘要：本实用新型涉及智能家居领域，提出一种基于物联网的智能猫眼门禁系统及其应用，其中智能猫眼门禁系统包括：电子猫眼、人体检测模块、主控模块、通信模块和物联网云服务器，其中，电子猫眼包括摄像头和显示模块；人体检测模块的输出端与主控模块的第一输入端连接，主控模块的第一输出端与摄像头的控制端连接；摄像头的输出端与主控模块的第二输入端连接，主控模块的第二输出端与显示模块的输入端连接；主控模块通过通信模块与物联网云服务器数据交互。本实用新型通过采用人体检测模块对访客或行人进行感应，根据人体检测模块的感应信号，控制摄像头的工作，能够有效减少系统的功耗，且有效减少冗余的图像或视频存储，避免资源浪费。
一种基于联网智能猫眼门禁系统设备

[实用新型]一种单晶硅棒双工位开方设备-CN202020787956.1有效
发明人：朱亮;卢嘉彬;周锋;杨铁明;高红刚;罗叶枫;徐开涛;曹建伟;傅林坚 -专利权人：浙江晶盛机电股份有限公司
申请日： 2020-05-13 - 公布日： 2021-07-13 - 主分类号： B28D5/04 文献下载
摘要：本实用新型涉及硬脆材料切割领域，尤其涉及一种用于单晶硅棒双工位开方设备。包括底架，底架上左右对称设有两个工位，每个工位上均设有工作台组件、进刀单元组件和机械手组件；底架上每个工位设有一组平行的主副导轨，工作台组件分别安装在导轨上，并由设于底架上的气缸进行驱动，使其沿导轨移动；底架两端分别设两个延伸平台，每个延伸平台上设有一组主副导轨，收放线单元安装在各组主副导轨上，并由设于延伸平台上的驱动电机通过丝杆进行驱动，使其沿导轨移动；本实用新型进刀单元组件每台设备有两组，呈双工位切割，切割组件采用“井”字线网结构，一刀完成开方加工，加工效率成倍提高，且有效减少人工操作。
一种单晶硅双工开方设备

[实用新型]一种改进的立式对边开方设备-CN202020445476.7有效
发明人：朱亮;卢嘉彬;周锋;王思宇;高红刚;罗叶枫;徐开涛;曹建伟;傅林坚 -专利权人：浙江晶盛机电股份有限公司
申请日： 2020-03-31 - 公布日： 2021-06-04 - 主分类号： B28D5/04 文献下载
摘要：本实用新型是关于晶棒切割技术领域，特别设计一种改进的立式对边开方设备。包括设于底架上的开方机构，开方机构包括开方机架，开方机架固设于前侧底架上，顶紧尾座设于底架上，用于支撑晶棒端面；顶紧头座与顶紧尾座相对设置设于开方机架上。切割机构包括水平固定板，固定板通过滑块与导轨相连，由气动气缸驱动能在开方机架上上下运动；固定板中间设有圆形开口用于穿出晶棒，下端面设有导轮机构。机械手通过横向移动装置设于底架后侧，机械手上设有晶向检测机构。本实用新型改进了切割机构，将单金刚线切割机构更改为环线切割，断线率低，结构简单稳定，加工效率高，断线后恢复快，降低作业人员的劳动强度。
一种改进立式开方设备

[实用新型]一种用于截断机双边驱动龙门式进刀机构-CN202020625190.7有效
发明人：朱亮;卢嘉彬;周锋;严浩;高红刚;张正良;徐开涛;曹建伟;傅林坚 -专利权人：浙江晶盛机电股份有限公司
申请日： 2020-04-23 - 公布日： 2021-02-12 - 主分类号： B28D5/04 文献下载
摘要：本实用新型是关于单晶硅棒及其他硬脆材料切割技术领域，具体涉及一种用于截断机双边驱动龙门式进刀机构。包括两个进刀竖直支撑架，分别立于左右两侧；刀横梁组件包括进刀支撑横梁；进刀支撑横梁两端分别与进刀竖直支撑架上的两组竖直丝杆组件、竖直导轨组件相连，导轨齿条平行安装在进刀支撑横梁顶部，每支导轨上有多个滑块，每个滑块上安装有一个刀头组件；收放线轮组件有两个，对称安装在进刀机构左右两侧。本实用新型可以同时对设备允许尺寸内的单根或多根同轴放置的单晶硅棒进行多段切割，切割效率更高，切割速度更快，可以在更短时间内完成对单晶硅棒的切割，极大的提高生产效率。
一种用于截断双边驱动龙门进刀机构

[实用新型]一种单晶硅棒自动上下料机械手装置-CN202020305038.0有效
发明人：朱亮;卢嘉彬;周锋;严浩;高红刚;罗叶枫;徐开涛;曹建伟;傅林坚 -专利权人：浙江晶盛机电股份有限公司
申请日： 2020-03-12 - 公布日： 2021-01-01 - 主分类号： B28D5/00 文献下载
摘要：本实用新型属于脆硬材料切割技术领域，特别涉及一种单晶硅棒自动上下料机械手装置。包括机械手平移机构和机械手翻转机构；机械手平移机构包括导轨座，导轨安装板下端面与设于导轨上的导轨滑块连接；机械手翻转机构，包括设于导轨安装板上端面的支撑座，减速机输出端与旋转板连接，旋转板与主轴连接，主轴与支撑座之间通过轴承相连，主轴通过紧固块与翻转连接板固定，翻转连接板板面上与主轴垂直设有导轨，翻转连接板上下两端设有与板面垂直的连接板，上端的连接板间与导轨平行设有丝杠，下端的连接板上设有与导轨平行的丝杠；机械手夹紧装置设于翻转连接板的导轨上。本实用新型减少了人工成本，适用于多规格硅棒加工，适应工厂自动化流水作业。
一种单晶硅自动上下机械手装置

[实用新型]打印设备-CN201920970607.0有效
发明人：胡应坤;丘远沛;徐开涛;李浩生;林杰鑫;胡应强 -专利权人：广东工贸职业技术学院
申请日： 2019-06-25 - 公布日： 2020-06-02 - 主分类号： B41J2/315 文献下载
摘要：本申请提供了一种打印设备，涉及单据打印领域，通过扫码器扫描用户提供的图像信息，并根据用户的支付情况可以控制热敏打印机打印相应的凭证，并可以将图像信息和/或所述凭证发送至云端，使得打印设备兼具打印和扫描两种功能。同时，将扫码器和热敏打印机设置集成在同一壳体内，可以减小打印设备的体积。而热敏打印机的原理是用加热的方式使涂在打印纸上的热敏介质变色，热敏打印机式是比较常见的微型打印机；从而热敏打印机的体积小于普通的打印机的体积，且具有较快的打印速度。因此，当使用热敏打印机打印单据时，在进一步减小了打印设备体积的同时，也能加快单据的打印速度。
打印设备

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