专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]光刻胶瓶固持装置-CN201410235896.1有效
  • 杨宏超;金一诺;张怀东;王坚;王晖 - 盛美半导体设备(上海)有限公司
  • 2014-05-30 - 2019-02-01 - H01L21/312
  • 本发明提供了一种光刻胶瓶固持装置,包括:底座;大瓶保持架,与所述底座固定连接,该大瓶保持架具有用于支撑大瓶的第一支撑面,该第一支撑面的形状与该大瓶的侧壁形状适应;小瓶保持架,与所述大瓶保持架的第一支撑面可拆卸地连接,该小瓶保持架具有用于支撑小瓶的第二支撑面以及用于与该第一支撑面接触的第三支撑面,该第二支撑面的形状与该小瓶的侧壁形状适应,该第三支撑面的形状与该第一支撑面的形状适应,该小瓶的尺寸小于大瓶的尺寸。本发明能够适用于不同尺寸的光刻胶瓶。
  • 光刻胶瓶固持装置
  • [发明专利]一种液体均匀喷洒处理系统及其处理方法-CN201510386757.3有效
  • 郭聪;张怀东;胡延兵 - 沈阳芯源微电子设备有限公司
  • 2015-06-30 - 2018-11-27 - B05B13/04
  • 本发明涉及液体处理设备,具体地说是一种液体均匀喷洒处理系统及其处理方法,移动载台沿水平方向往复移动地安装在工作台上,输出端连接有升降台,手臂的一端与升降台的输出端相连,另一端安装有喷嘴部件,喷嘴部件随手臂由升降台驱动升降,并由移动载台带动沿水平方向往复移动;喷嘴本体及喷嘴下部相连接,喷嘴本体上开有与供液机构连通的进液口;整流罩容置于喷嘴本体与喷嘴下部之间,并与喷嘴本体密封。本发明的液体均匀喷洒处理系统可将液体的流量进行均匀性调整,满足液体喷洒过程中的均匀性与一致性的要求;液体在承载体表面能够实现饱满的承液状态,实现液体的更高活性化,提高液体喷洒的效率,满足均匀性的工艺需求及有效作业精度。
  • 一种液体均匀喷洒处理系统及其方法

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