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- [发明专利]用于少子寿命测量的钝化方法-CN202310537313.X在审
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王烨华;康海洋
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杭州中欣晶圆半导体股份有限公司
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2023-05-10
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2023-10-03
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H01L21/66
- 本发明涉及一种用于少子寿命测量的钝化方法，所属半导体测量技术领域，包括如下操作步骤：第一步：对硅片进行热处理，将硅片放置到硅片盒后送入石英舟内，在炉内以950℃，保持30分钟持续通入氧气，使得硅片正反两面生长均匀的薄氧化膜，然后降温送出石英舟，降温过程中进行氮气通入。第二步：用49％HF∶H20＝1∶6.25的溶液浸泡硅片3分钟除去表面氧化层，接着用纯水中冲洗10分钟，然后用N2枪吹干表面。第三步：碘酒钝化，碘酒浓度为0.08mol/L～0.16mol/L之间，即2～3g碘酒加100ml无水乙醇。第四步：微波光电导衰退法测试少子寿命。降低样品的表面复合速率，消除表面寿命对测试值的影响，使测试值反映少子寿命值。能更有效消除表面寿命对测试值的影响，从而提高测试值。
- 用于少子寿命测量钝化方法
- [实用新型]一种边坡治理用植被恢复单元-CN202223428039.2有效
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金艳芳;苑美玉;高雪;于洪岩;康海洋
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沈阳风景园林股份有限公司
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2022-12-21
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2023-06-09
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A01G9/02
- 本实用新型涉及一种边坡治理用植被恢复单元，包括支撑载体、植被恢复客土、无纺布层，其技术要点是：支撑载体由矩形框架、网格状分隔板、Y向支撑梁组成，Y向支撑梁和矩形框架底面设有连通的蛇形凹槽，蛇形凹槽底面嵌装蛇形水管，网格状分隔板将矩形框架分隔成多个填充植被恢复客土的长方体状容腔，矩形框架的四角设有锚杆固定孔，锚杆固定孔中穿设锚杆固定无纺布层，Y向支撑梁和矩形框架的底面另设有多条X向卡槽，X向卡槽中设有X向伴热带，蛇形水管的表面均匀设有透水小孔。本实用新型解决了在气候干燥地区植被恢复体系中植被恢复客土与坡面的结合力不足的问题，大大降低植被恢复一次施工的失效率，减少重复施工，从而减小施工成本。
- 一种治理植被恢复单元
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