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[发明专利]一种具有渐变形状系数的罗茨转子及其设计方法-CN202011445831.1有效
发明人：谢元华;高满堂;王光玉;王云;刘坤;钟瑞;王桂鹏;巴要帅;巴德纯;蔡旭 -专利权人：东北大学;中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
申请日： 2020-12-09 - 公布日： 2023-07-25 - 主分类号： F04C18/12 文献下载
摘要：本发明涉及真空罗茨泵领域，具体地说是一种具有渐变形状系数的罗茨转子及其设计方法，转子的形状系数沿着轴向方向逐渐变化，且变化趋势为一个连续函数，并且变化趋势至少包括逐渐递减和逐渐递增中的一种，转子的最大形状系数为理论最大值Cmax，转子腰部为凹部A，转子外侧为顶部B，且两个转子配合时，其中一个转子的顶部B嵌入另一个转子的凹部A中。本发明转子的形状系数在沿着轴向的方向上逐渐变化，并形成大形状系数段和小形状系数段，其中大形状系数段的转子可以达到形状系数的理论最大值，因此罗茨泵的容积利用系数和抽速显著提高，而小形状系数段的转子可以充当大形状系数段转子的肋板，对整个转子起到加强作用。
一种具有渐变形状系数转子及其设计方法

[发明专利]一种螺杆真空干泵转子的设计方法-CN202011445863.1有效
发明人：刘坤;彭阳;王光玉;王云;王桂鹏;秦柏林;巴要帅;迟小宇;巴德纯;黄成 -专利权人：东北大学;中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
申请日： 2020-12-09 - 公布日： 2023-07-11 - 主分类号： F04C18/16 文献下载
摘要：本发明涉及真空泵领域，具体地说是一种螺杆真空干泵转子及其设计方法，转子型线包括多个弧段且角端形成ef平直段，并且所述ef平直段与相邻转子之间形成平行间隙，转子设计方法包括如下步骤：步骤一、根据泵所需要的抽速建立螺杆转子端面型线；步骤二、将齿顶圆弧ad段与摆线ab段交点a处进行倒角处理，形成平直段ef；步骤三、将步骤二中获得的图形沿着螺旋线进行扫描拉伸获得阴阳转子配合结构；步骤四、对转子间隙剖面视图放大确认相邻螺杆转子齿面之间形成平行间隙结构；步骤五、调整平直段ef的长度，进而调整螺杆转子间隙。本发明将螺杆转子间的间隙改为平行状态，降低转子泄露，且间隙设计可调。
一种螺杆真空转子设计方法

[发明专利]一种固态电池的制备方法-CN202011566892.3有效
发明人：刘坤;陈艺;段永利;谢元华;郝明;姜曦灼;巴德纯 -专利权人：东北大学
申请日： 2020-12-25 - 公布日： 2023-06-23 - 主分类号： H01M10/0585 文献下载
摘要：本发明一种固态电池的制备方法，包括正极片、负极片和固态电解质层的制造，通过依次叠片、压制、封装而成固态电池。其中：固态电解质层由固态电解质材料进行干燥、压片、切片处理得到；所述固态电解质材料采用真空快淬方法制备：先对固态电解质材料的原料进行真空感应熔炼，然后通过高速旋转的快淬辊装置对熔融状态的熔液急速冷却实施快淬，即得。本发明提供的制备方法由于固态电解质材料通过真空快淬方法制得，获得的固态电解质材料粒度分布更集中，最终制得的固态电池具有更大能量密度，而且整个制备时间大大缩短，能极大提高固态电解质材料的生产效率从而提高固态电池的生产效率，实现固态电池的高效、大批量工业化生产。
一种固态电池制备方法

[发明专利]一种多级罗茨真空泵-CN202011447652.1有效
发明人：刘坤;倪久双;王光玉;孔祥玲;巴要帅;钟瑞;王桂鹏;迟小宇;巴德纯;刘云鹏 -专利权人：东北大学;中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
申请日： 2020-12-09 - 公布日： 2023-05-02 - 主分类号： F04C18/12 文献下载
摘要：本发明涉及真空技术领域，具体地说是一种多级罗茨真空泵，包括罗茨泵腔、隔板、罗茨转子、第一封盖、第二封盖和转子轴，其中罗茨泵腔和隔板交错设置，每个罗茨泵腔中均设有罗茨转子，罗茨泵腔包括可拆装的泵腔上部和泵腔下部，且罗茨泵腔上侧设有进气槽、下侧设有排气槽，隔板包括可拆装的隔板上部和隔板下部，且隔板内设有气体通道，并且所述气体通道一端设有隔板排气口与相邻罗茨泵腔上的进气槽连通，另一端设有隔板进气口与相邻罗茨泵腔上的排气槽连通，第一封盖设有进气腔与相邻罗茨泵腔上的进气槽连通，第二封盖设有排气腔与相邻罗茨泵腔上的排气槽连通，罗茨转子包括多个可拆装的半转子。本发明方便灵活拆装调节且增大了进排气口面积。
一种多级真空泵

[发明专利]一种一体式内螺旋空心螺杆转子-CN202011411188.0有效
发明人：谢元华;王健;王光玉;徐静怡;刘坤;黄成;王桂鹏;巴要帅;巴德纯;刘在行 -专利权人：东北大学;中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
申请日： 2020-12-04 - 公布日： 2023-04-07 - 主分类号： F04C18/08 文献下载
摘要：本发明涉及真空无油螺杆泵技术领域，特别涉及一种一体式内螺旋空心螺杆转子。包括转轴及设置于转轴上的螺旋叶片；转轴上沿轴线方向设有中心孔；螺旋叶片为中空结构，并且通过转轴表面螺旋槽与中心孔连通；转轴的中心孔及螺旋叶片的中空结构整体满足任意截面的静平衡且质心均位于转轴的中心轴线上，通过封闭端面的非均匀设计使螺杆转子整体在静平衡的基础上满足动平衡要求。本发明因内螺旋空心结构，质量更轻、能耗更低、动平衡性能更高、抗振能力更强、噪声更小；因内螺旋空心结构可通入介质气体，具有良好的散热性能、减少了转子的热变形、增强了的抗疲劳强度及使用寿命。
一种体式螺旋空心螺杆转子

[发明专利]一种变型线罗茨转子及设计方法-CN202011412108.3有效
发明人：刘坤;薛子轩;王光玉;孔祥玲;巴要帅;蔡旭;王桂鹏;迟小宇;巴德纯;秦柏林 -专利权人：东北大学;中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
申请日： 2020-12-04 - 公布日： 2023-04-07 - 主分类号： F04C18/12 文献下载
摘要：本发明涉及真空干泵技术领域，具体地说是一种变型线罗茨转子及设计方法，转子型线包括圆弧包络线、过渡圆弧和切圆圆弧，其中圆弧包络线设于转子相邻叶之间且凹向转子圆心，切圆圆弧设于转子叶顶部，且所述切圆圆弧通过过渡圆弧与相邻的圆弧包络线相连。本发明通过对常规罗茨转子进行顶部切圆，以转子顶部面密封来代替原先的线密封，从而大大降低了压缩气体的反流率，提高了转子的极限压力与压缩比，同时降低了转子型线干涉的几率，避免了转子卡死。
一种变型线罗茨转子设计方法

[发明专利]一种用于真空干泵测试的智能控制系统-CN202010624616.1有效
发明人：刘坤;关天恩;雷震霖;王光玉;孔祥玲;郝明;陈树雷;巴德纯 -专利权人：东北大学;中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
申请日： 2020-07-01 - 公布日： 2023-03-28 - 主分类号： G05B11/42 文献下载
摘要：本发属于控制领域及真空干泵领域，具体涉及一种用于真空干泵测试的智能控制系统，包括PLC控制器、温度控制模块、流量控制模块、真空获得模块、压力测量模块、变频调速模块、微型处理器、循环冷却系统、继电器模块、数据显示模块，可以实现真空环境下压力、流量、温度的高精度联动控制，进而对该工况下的真空泵进行性能测试。控制系统中使用智能算法，将测试与分析相结合，对实验数据进行智能分析及整合，提高实验的精确性和智能化，同时节省时间成本。
一种用于真空测试智能控制系统

[发明专利]一种新型多级罗茨真空泵-CN202011447705.X有效
发明人：李小号;李中浩;王光玉;徐静怡;刘坤;刘在行;王桂鹏;巴要帅;巴德纯;毕德龙 -专利权人：东北大学;中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
申请日： 2020-12-09 - 公布日： 2023-03-21 - 主分类号： F04C18/12 文献下载
摘要：本发明涉及真空技术领域，具体地说是一种新型多级罗茨真空泵，包括壳体、驱动组件、主动轴和从动轴，其中主动轴和从动轴设于壳体中并通过驱动组件驱动转动，主动轴上依次设有主动螺杆转子、主动扭叶罗茨转子和主动罗茨转子，从动轴上依次设有从动螺杆转子、从动扭叶罗茨转子和从动罗茨转子，且主动螺杆转子与从动螺杆转子啮合，主动扭叶罗茨转子与从动扭叶罗茨转子啮合，主动罗茨转子与从动罗茨转子啮合，壳体内部通过隔板分成第一泵腔和第二泵腔，且各个螺杆转子设于第一泵腔中，各个罗茨转子和各个扭叶罗茨转子设于第二泵腔中，第一泵腔设有排气口，第二泵腔设有进气口，隔板上设有流通孔。本发明在较宽的压力范围内有较大的抽速，且运行平稳。
一种新型多级真空泵

[发明专利]一种具有双出口可调节结构蜗壳的离心式风机-CN202111562747.2有效
发明人： 巴德纯;黄豫兴;曲绍芬;杨建川;刘坤;王桂鹏;谢元华;高光伟;于德军;刘舒;步怀立 -专利权人：东北大学;沈阳恒进真空科技有限公司
申请日： 2021-12-20 - 公布日： 2022-10-18 - 主分类号： F04D17/16 文献下载
摘要：本发明公开了一种具有双出口可调节结构蜗壳的离心式风机，包括顶部弧形板、底部弧形板，顶部弧形板位于底部弧形板的上方，顶部弧形板的两侧均向下设置有连接侧板，连接侧板将顶部弧形板与底部弧形板相连接，顶部弧形板、底部弧形板以及两个连接侧板组成的结构为蜗壳，蜗壳的中部开设有贯通的圆孔，圆孔的顶部连接有第一法兰，圆孔的底部连接有第二法兰，第一法兰与第二法兰均用于连接叶轮，蜗壳的两端向下弯曲分别形成第一出风口和第二出风口，第一出风口和第二出风口内均设置有可调节多孔栅板机构，第一出风口内和第二出风口内形成两个风道。本发明能够解决现有离心式风机蜗壳存在出风口风道贴外壁风速过大、出口风速不均匀的问题。
一种具有出口调节结构离心风机

[发明专利]一种含有泵前冷凝器的干式真空系统-CN201910109694.5有效
发明人：刘坤;马世玉;王朋阳;谢天意;杜广煜;谢元华;巴德纯 -专利权人：东北大学
申请日： 2019-02-11 - 公布日： 2022-10-18 - 主分类号： F04B39/16 文献下载
摘要：本发明属于干式真空泵系统领域，尤其涉及一种含有泵前冷凝器的干式真空系统。该系统包括真空泵单元和泵前冷凝单元，所述泵前冷凝单元包括泵前冷凝器，所述泵前冷凝器包括五个端口；泵前冷凝器的第一端口通过物料进管与真空物料入口连接，第二端口通过第一物料管与真空泵单元连接，第三端口与冷凝液排出管连接，第四端口和第五端口分别通过第三冷冻盐水出管和第三冷冻盐水进管与第三冷冻盐水出口和第三冷冻盐水入口连接。本发明提供一种含有泵前冷凝器的干式真空系统，该系统中在真空泵之前设置泵前冷凝器，作为可凝性气体的捕集单元，改善真空泵及管路容易产生积水现象。
一种含有冷凝器真空系统

[发明专利]一种真空镀膜机的蒸发装置-CN201911042223.3有效
发明人：刘坤;关天恩;阮智伟;胡强;巴德纯 -专利权人：东北大学
申请日： 2019-10-30 - 公布日： 2021-11-02 - 主分类号： C23C14/26 文献下载
摘要：本发明涉及一种真空镀膜机的蒸发装置，其包括：蒸发舟、加热系统、布气系统，蒸发舟包括有蒸发舟内层、蒸发舟外层和活动盖板，蒸发舟内层位于蒸发舟外层与活动盖板之间，活动盖板开设有多个蒸发孔，蒸发舟内层上开设有与蒸发孔对应的蒸发凹槽；加热系统包括多个相对独立的蒸发源，蒸发源设置有内坩埚，内坩埚嵌套于蒸发凹槽内，蒸发源能够对放置在内坩埚内的物体进行加热；设置多级二元型结构的布气管路，实现进气量的均匀性的控制，使蒸发气体与外部通入气体可以充分混合，形成均匀的复合薄膜。本发明采用蜂窝状结构的蒸发源加热效率高，能够保证材料的大面积加热蒸发时的均匀性，减少溅射现象，适用于大面积高速卷绕镀膜工艺。
一种真空镀膜蒸发装置

[发明专利]一种用于制备固态电解质材料的多模块真空设备-CN202011564895.3有效
发明人：刘坤;陈艺;迟小宇;姜玥;陈树雷;姜曦灼;巴德纯 -专利权人：东北大学
申请日： 2020-12-25 - 公布日： 2021-09-14 - 主分类号： F27B14/06 文献下载
摘要：一种用于制备固态电解质材料的多模块真空设备，主要包括熔炼模块、快淬模块、铸锭模块、喷雾模块，熔炼模块包括熔炼室和设于熔炼室内的感应熔炼装置，感应熔炼装置具有浇口，并设有驱动机构和翻转机构，翻转机构能在驱动机构的驱动下翻转并带动感应熔炼装置从浇口倾倒出熔液；感应熔炼装置还设有转动机构，用于调整浇口的位置，当感应熔炼装置的浇口对应快淬模块，设备处于快淬模式；当感应熔炼装置的浇口对应喷雾模块，设备处于喷雾模式；当感应熔炼装置的浇口对应铸锭模块，设备处于铸锭模式。该设备具有三种工作模式，快淬工作模式和喷雾工作模式可以获得小粒径、粒度集中的固态电解质材料；铸锭工作模式可以铸成一定尺寸的铸坯金属材料。
一种用于制备固态电解质材料模块真空设备

[发明专利]一种内部气流自调节型洁净室及气流调节方法-CN202010521671.8有效
发明人：刘坤;关天恩;黄豫兴;郝明;陈树雷;巴德纯 -专利权人：东北大学
申请日： 2020-06-10 - 公布日： 2021-08-06 - 主分类号： F24F3/167 文献下载
摘要：一种内部气流自调节型洁净室及气流调节方法，洁净室包括作业腔室、晶圆储备腔室、风机、送风缓冲腔室、循环送风通道、循环回风通道、送风流量调节机构及回风多级多孔板机构。方法为：启动风机向作业腔室内送风；机械手抓取晶圆后移动；通过传感器获取机械手移动速度和位置信息、作业腔室压力并反馈至计算机；计算机调用内部数据库与反馈数据对比并拟合出乱流度；根据乱流度拟合结果，计算机控制送风流量调节机构增加送风速度，同时调高回风多级多孔板机构的孔隙率，加快涡流耗散；机械手停止移动时，计算机根据机械手停止位置及作业腔室压力大小确定流场恢复所需时间，当流场恢复时间达到后，送风流量调节机构及回风多级多孔板机构恢复初始状态。
一种内部气流调节洁净室方法

[发明专利]一种真空泵内转子间隙可调的安装结构及间隙调整方法-CN201811600736.7有效
发明人：刘坤;阮智伟;雷震霖;王光玉;于明鹤;张晓玉;段启惠;巴要帅;巴德纯 -专利权人：东北大学;中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
申请日： 2018-12-26 - 公布日： 2021-06-01 - 主分类号： F04C29/00 文献下载
摘要：本发明涉及真空泵领域，具体说是一种真空泵内转子间隙可调的安装结构及间隙调整方法，转子设于转子座体内且套设于主轴上，固定端座体和活动端座体分设于转子座体两侧，主轴一端通过固定端轴承支撑安装于固定端座体上，另一端通过活动端轴承支撑安装于活动端座体上，固定端座体上设有限定所述固定端轴承的固定端轴套和轴承压盖，且所述轴承压盖与固定端座体螺纹连接，活动端座体上设有限定所述活动端轴承位置的内定位组件、轴端压盖和锁紧螺母，内定位组件包括螺纹连接的限位块和活动端定位轴套，活动端定位轴套上设有定位牙与转子固连。本发明通过螺纹连接实现转子两侧间隙调节，并可定量确定间隙调整距离，提高真空泵装配和工作性能的可靠性。
一种真空泵转子间隙可调安装结构调整方法

[发明专利]集成干泵测试台控制方法-CN201811601913.3有效
发明人：刘坤;张漫漫;李昌龙;王光玉;张军;郭丽娟;迟小宇;巴要帅;姜玥;巴德纯 -专利权人：东北大学;中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
申请日： 2018-12-26 - 公布日： 2021-06-01 - 主分类号： F04B51/00 文献下载
摘要：本发明涉及集成干泵测试台控制方法，该控制系统由流量控制单元、温度控制单元、压力控制单元及待测泵检测单元组成。该系统的主要特点是可实现一种控制量单独控制或多种控制量同时控制，通过对温度、流量、真空度、转速的控制，可以模拟干泵在带负载情况下的性能。所测数据均集成到PLC中分析处理，所有阀门均为电控阀门，系统可以全面实现自动化。
集成测试控制方法

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