“巩铁建”申请（专利权）人搜索_中国专利权人_发明人_技术持有人_科研专家_钻瓜专利网

钻瓜专利网为您找到相关结果153个，建议您升级VIP下载更多相关专利

[实用新型]一种带有防尘双层玻璃的晶圆UV解胶机-CN202222007719.0有效
发明人：闫兴;陶为银;巩铁建;蔡正道;乔赛赛;张伟;鲍占林;王鹏;杜磊 -专利权人：河南通用智能装备有限公司
申请日： 2022-08-01 - 公布日： 2022-11-01 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本实用新型提供一种带有防尘双层玻璃的晶圆UV解胶机，属于UV解胶机技术领域，包括：机箱，所述机箱的侧壁上开设有滑孔和放置孔，所述放置孔位于滑孔的下方；光源机构，所述光源机构设置于机箱内，所述光源机构用于提供光源；防尘放置机构，所述防尘放置机构通过滑孔滑动设置于机箱内，所述防尘放置机构包括穿过滑孔且与机箱的内侧壁滑动连接的防尘组件、设置于所述防尘组件上且用于承载晶圆的防尘支撑组件，所述防尘组件和防尘支撑组件均透光。本实用新型结构简单，使用方便，防尘放置机构滑动设置于光源机构的上方，既便于对晶圆进行取放，又具备良好的防尘效果。
一种带有防尘双层玻璃 uv 解胶机

[实用新型]一种紫外灯调节便捷的晶圆UV解胶机-CN202222008065.3有效
发明人：闫兴;陶为银;巩铁建;蔡正道;乔赛赛;张伟;鲍占林;王鹏;杜磊 -专利权人：河南通用智能装备有限公司
申请日： 2022-08-01 - 公布日： 2022-11-01 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本实用新型提供一种紫外灯调节便捷的晶圆UV解胶机，属于UV解胶机技术领域，包括：机箱，所述机箱的侧壁上开设有滑孔和放置孔，所述放置孔位于滑孔的下方；晶圆放置机构，所述晶圆放置机构通过滑孔滑动设置于机箱内，所述晶圆放置机构用于承载晶圆；光源机构，所述光源机构设置于机箱内，所述光源机构位于晶圆放置机构的下方，所述光源机构包括设置于机箱内底部的支架、均匀设置于支架顶部且高度可调的若干调节支撑杆、设置于调节支撑杆顶部的紫外灯。本实用新型结构简单，使用方便，设置晶圆放置机构，便于对晶圆进行取放，设置光源机构，能够通过改变调节支撑杆的高度，进而达到调节紫外灯与晶圆之间的距离的目的，提高工作效率，实用性更强。
一种紫外调节便捷 uv 解胶机

[实用新型]一种新型硅晶圆激光切割加持用夹具结构-CN202221340165.X有效
发明人：闫兴;陶为银;巩铁建;蔡正道;乔赛赛;张伟;鲍占林;王鹏;杜磊 -专利权人：河南通用智能装备有限公司
申请日： 2022-05-31 - 公布日： 2022-11-01 - 主分类号： B23K26/70 文献下载
摘要：本实用新型提供一种新型硅晶圆激光切割加持用夹具结构，属于半导体制造技术领域，包括工作台以及工作台上设置的滑槽，所述滑槽内设置螺纹杆，所述螺纹杆上设置两个滑块，所述滑块通过设置螺纹孔与螺纹杆相连接，所述工作台侧边设置驱动电机，所述驱动电机的输出轴与螺纹杆端部相连接，两个所述滑块上分别设置第一固定块与第二固定块，所述第一固定块与第二固定块上分别通过轴承设置第一转杆与第二转杆，所述第一转杆与第二转杆上均设置支撑块，所述支撑块上均设置限位机构，所述限位块上设置夹持机构；本实用新型可以将晶圆放置在两个夹板之间，然后控制驱动电机工作就能够使得夹持机构对晶圆进行夹持，摇动摇柄就能够使得晶圆的角度发生改变。
一种新型硅晶圆激光切割加持用夹具结构

[实用新型]一种带有拆装便捷的玻璃托盘的晶圆UV解胶机-CN202222007718.6有效
发明人：闫兴;陶为银;巩铁建;蔡正道;乔赛赛;张伟;鲍占林;王鹏;杜磊 -专利权人：河南通用智能装备有限公司
申请日： 2022-08-01 - 公布日： 2022-10-28 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本实用新型提供一种带有拆装便捷的玻璃托盘的晶圆UV解胶机，属于UV解胶机技术领域，包括：机箱，机箱的侧壁上开设有滑孔和放置孔，放置孔位于滑孔的下方；光源机构，光源机构设置于机箱内，光源机构用于提供光源；放置机构，放置机构穿过滑孔滑动设置于机箱内，放置机构包括穿过滑孔且与机箱内侧壁滑动连接的边框、与边框的内侧壁固定连接的滑板、开设于滑板顶部且用于放置晶圆的放置槽、开设于放置槽底部的通孔、与通孔的内环周侧壁可拆卸连接的玻璃板。放置机构包括边框、滑板、放置槽、通孔和玻璃板，玻璃板与通孔的内环周侧壁可拆卸连接，便于对玻璃板进行更换、清理，晶圆放置在放置槽内，边框的存在进一步防止晶圆滑落，更加安全、可靠。
一种带有拆装便捷玻璃托盘 uv 解胶机

[实用新型]一种晶圆裂片机-CN202221340164.5有效
发明人：闫兴;陶为银;巩铁建;蔡正道;乔赛赛;张伟;鲍占林;王鹏;杜磊 -专利权人：河南通用智能装备有限公司
申请日： 2022-05-31 - 公布日： 2022-10-28 - 主分类号： B28D5/04 文献下载
摘要：本实用新型提供一种晶圆裂片机，属于半导体制造技术领域，包括支撑板，所述支撑板上设置第一滑槽，所述第一滑槽内设置螺纹杆，所述第一滑槽内设置第一滑块，所述第一滑块通过螺纹孔与螺纹杆相连接，所述支撑板端部设置步进电机，所述步进电机的输出轴与螺纹杆端部相连接，所述第一滑块上对应晶圆设置夹持机构，所述支撑板侧边设置固定块，所述固定块上设置切割机构；本实用新型可以将切割后的晶圆沿着划痕进行切割，并且切割的过程中压辊能够和夹持机构能够对晶圆进行限位和固定，从而使得切割机构上的切割刀能够准确的接触到晶圆的划痕上。
一种裂片

[实用新型]一种晶圆激光low-k设备涂胶机构转动套筒-CN202221368568.5有效
发明人：闫兴;陶为银;巩铁建;蔡正道;乔赛赛;张伟;鲍占林 -专利权人：河南通用智能装备有限公司
申请日： 2022-06-02 - 公布日： 2022-10-18 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本实用新型提供一种晶圆激光low‑k设备涂胶机构转动套筒，属于晶圆加工技术领域，包括直线导轨，所述直线导轨安装在喷涂机构直线轴承套筒内；升降直线轴承安装座，升降直线轴承安装座通过螺栓封闭喷涂机构直线轴承套筒的一端；本实用新型外形流线，不易残留水；对轴升降过程中有足够的导向长度；多种组合密封方式：往复运动密封圈、旋转密封圈以及底座密封圈，按照从上向下往复运动密封、旋转密封的方式，升降过程中往复运动密封将外界粉尘隔离，旋转密封在高度洁净区域工作有效减小粉尘对旋转件的磨损，可增大设备的使用寿命，可有效的防止粉尘和水雾进入旋转套筒内部以及从清洗仓中泄露至设备其他位置。
一种激光 low 设备涂胶机构转动套筒

[发明专利]一种晶圆UV解胶机-CN202210864535.8在审
发明人：闫兴;陶为银;巩铁建;蔡正道;乔赛赛;张伟;鲍占林 -专利权人：河南通用智能装备有限公司
申请日： 2022-07-22 - 公布日： 2022-10-04 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明提供一种晶圆UV解胶机，包括：机箱，顶部开口；紫外灯，设置于机箱内；置物机构，活动贯穿机箱的侧壁，置物机构与机箱的内壁滑动连接且滑动进出机箱，置物机构位于紫外灯的上方且用于盛装晶圆；机盖，设置于机箱的顶部，机盖的一端与机箱铰接；格挡机构，沿置物机构的滑动方向设置于置物机构的顶部，格挡机构包括依次连接的若干格挡块；弹性限位机构，设置于机盖上，弹性限位机构与格挡机构相配合，弹性限位机构不阻碍格挡块朝向靠近机箱的一侧移动，弹性限位机构阻碍格挡块朝向远离机箱的一侧移动。本发明弹性限位机构不阻碍置物机构滑入机箱内，阻碍置物机构滑出机箱，有效防止正常工作过程中晶圆意外离开紫外灯照射的工作区域。
一种 uv 解胶机

[发明专利]一种晶圆激光low-k设备旋转涂胶真空载台-CN202210783912.5在审
发明人：闫兴;陶为银;巩铁建;蔡正道;乔赛赛;张伟;鲍占林 -专利权人：河南通用智能装备有限公司
申请日： 2022-07-05 - 公布日： 2022-09-27 - 主分类号： B05C13/02 文献下载
摘要：本发明涉及晶圆加工设备技术领域，具体涉及一种晶圆激光low‑k设备旋转涂胶真空载台，包括固定架，固定架沿竖直方向设置，工作台安装在固定架上方，且工作台可水平方向做圆周运动，工作台底部固定安装有固定输气轴套，驱动机构设于固定架底部，驱动机构的输出端通过真空转接装置与固定输气轴套传动连接；本发明响应迅速，高扭矩、轴间的连接选用高扭矩涨紧套，密封优良，真空对接位置采用专用的密封方式；结构稳固、转台框架行程闭合的机构减小高扭矩作用下的变形；高吸附强度、真空载台均匀的真空吸孔使晶圆每个位置受力均匀，真空载台周围铅锤在高速旋转过程中产生大的下压力，卡爪可对晶圆钢环限位，防止甩飞。
一种激光 low 设备旋转涂胶空载

[实用新型]一种硅晶棒激光切割对准装置-CN202220997524.2有效
发明人：闫兴;陶为银;巩铁建;蔡正道;乔赛赛;张伟;鲍占林;王鹏;杜磊 -专利权人：河南通用智能装备有限公司
申请日： 2022-04-24 - 公布日： 2022-08-30 - 主分类号： B23K26/38 文献下载
摘要：本实用新型提供一种硅晶棒激光切割对准装置，包括工作台，所述工作台上设置有切割组件，所述工作台前后两侧均设置有第二直线滑台，每个第二直线滑台上均设置有第二滑块，每个第二滑块上均设置有第二电动伸缩杆，每个第二电动伸缩杆的输出杆端部均设置有第二推板，每个第二推板底部均设置有压力传感器，每个压力传感器底部均设置有第三校平板。本实用新型可以在对硅晶棒进行激光切割时的对其进行对准，及时发现硅晶棒的轴线相对于激光切割器中心线的垂直度偏差，造成生产材料的浪费，操作更加方便。
一种硅晶棒激光切割对准装置

[实用新型]一种用于晶圆激光加工的涂胶喷涂工装-CN202220666693.8有效
发明人：闫兴;陶为银;巩铁建;蔡正道;乔赛赛;张伟;鲍占林 -专利权人：河南通用智能装备有限公司
申请日： 2022-03-25 - 公布日： 2022-08-19 - 主分类号： B05B13/02 文献下载
摘要：本实用新型提供一种用于晶圆激光加工的涂胶喷涂工装，包括升降台支撑板、升降台座、旋转喷涂载台、导向组件、第一缓冲组件和第二缓冲组件，升降台支撑板中央设有安装腔体，升降台座置于安装腔体内；旋转喷涂载台底部中央设有驱动轴，升降台座上与驱动轴传动设有动力输入机构；导向组件设于升降台支撑板与升降台座之间；升降驱动机构对应设于升降台支撑板两侧，且与升降台座驱动连接；至少两组第一缓冲组件对应设于升降台座底部两侧；至少两组第二缓冲组件对应设于升降台支撑板上两侧，且与升降台座上部对应。本实用新型结构稳固、响应迅速、升降行程长；旋转喷涂载台升降过程平稳、无振动，保证晶圆的加工质量。
一种用于激光加工涂胶喷涂工装

[实用新型]一种晶圆激光low-k设备旋转涂胶真空转接装置-CN202220690975.1有效
发明人：闫兴;陶为银;巩铁建;蔡正道;乔赛赛;张伟;鲍占林 -专利权人：河南通用智能装备有限公司
申请日： 2022-03-28 - 公布日： 2022-08-19 - 主分类号： B05C13/02 文献下载
摘要：本实用新型涉及晶圆加工设备技术领域，具体涉及一种晶圆激光low‑k设备旋转涂胶真空转接装置，该装置包括真空转动轴，真空转动轴内具有排气通道；轴承，轴承转动装配在真空转动轴的外周；轴承安装体，轴承安装体用于安装轴承和供真空转动轴穿过，轴承安装体内设置有抽吸通道，抽吸通道连通排气通道；磁性密封件，磁性密封件布置在轴承安装体内，在真空转动轴的轴线方向上，抽吸通道的一侧或两侧布置有所述磁性密封件；无磁性密封件，无磁性密封件布置在轴承安装体内，在真空转动轴的轴线方向上，抽吸通道的一侧或两侧布置有无磁性密封件，本实用新型有效解决了现有技术中存在的真空转接装置密封效果差、外界粉尘进入后易损坏整个设备的技术问题。
一种激光 low 设备旋转涂胶真空转接装置

[发明专利]一种晶圆激光low-k设备涂胶机构转动套筒-CN202210622398.7在审
发明人：闫兴;陶为银;巩铁建;蔡正道;乔赛赛;张伟;鲍占林 -专利权人：河南通用智能装备有限公司
申请日： 2022-06-02 - 公布日： 2022-08-05 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明提供一种晶圆激光low‑k设备涂胶机构转动套筒，属于晶圆加工技术领域，包括直线导轨，所述直线导轨通过配合公差安装在喷涂机构直线轴承套筒内；升降直线轴承安装座，升降直线轴承安装座通过螺栓封闭喷涂机构直线轴承套筒的一端；本发明外形流线，不易残留水；对轴升降过程中有足够的导向长度；多种组合密封方式：往复运动密封圈、旋转密封圈以及底座密封圈，按照从上向下往复运动密封、旋转密封的方式，升降过程中往复运动密封将外界粉尘隔离，旋转密封在高度洁净区域工作有效减小粉尘对旋转件的磨损，可增大设备的使用寿命，可有效的防止粉尘和水雾进入旋转套筒内部以及从清洗仓中泄露至设备其他位置。
一种激光 low 设备涂胶机构转动套筒

[发明专利]晶圆加工用涂胶装置-CN202210385992.9在审
发明人：闫兴;陶为银;巩铁建;蔡正道;乔赛赛;张伟;鲍占林 -专利权人：河南通用智能装备有限公司
申请日： 2022-04-13 - 公布日： 2022-06-10 - 主分类号： B05B13/02 文献下载
摘要：本发明提供一种晶圆加工用涂胶装置，属于晶圆加工设备技术领域，包括装置机架，所述装置机架上设有用于固定晶圆的旋转升降工装以及同于晶圆涂层的涂覆机构，所述旋转升降工装上固定设有清洗槽，装置机架的上表面四角处设有便于吊装、搬运的吊环，所述装置机架的底面四角处设有地脚板，地脚板上设有对外固定连接的螺丝孔；本发明工件放置稳定，取放方便，结构运行平稳，涂覆均匀平整，自动化程度高，提高涂覆效果和效率。
晶圆加工用涂胶装置

[发明专利]晶圆激光low-k设备旋转涂胶真空转接装置-CN202210313252.4在审
发明人：闫兴;陶为银;巩铁建;蔡正道;乔赛赛;张伟;鲍占林 -专利权人：河南通用智能装备有限公司
申请日： 2022-03-28 - 公布日： 2022-06-07 - 主分类号： B05C13/02 文献下载
摘要：本发明涉及晶圆加工设备技术领域，具体涉及一种晶圆激光low‑k设备旋转涂胶真空转接装置，该装置包括真空转动轴，真空转动轴内具有排气通道；轴承，轴承转动装配在真空转动轴的外周；轴承安装体，轴承安装体用于安装轴承和供真空转动轴穿过，轴承安装体内设置有抽吸通道，抽吸通道连通排气通道；磁性密封件，磁性密封件布置在轴承安装体内，在真空转动轴的轴线方向上，抽吸通道的一侧或两侧布置有所述磁性密封件；无磁性密封件，无磁性密封件布置在轴承安装体内，在真空转动轴的轴线方向上，抽吸通道的一侧或两侧布置有无磁性密封件，本发明有效解决了现有技术中存在的真空转接装置密封效果差、外界粉尘进入后易损坏整个设备的技术问题。
激光 low 设备旋转涂胶真空转接装置

[发明专利]一种用于晶圆激光加工的涂胶喷涂工装-CN202210300882.8在审
发明人：闫兴;陶为银;巩铁建;蔡正道;乔赛赛;张伟;鲍占林 -专利权人：河南通用智能装备有限公司
申请日： 2022-03-25 - 公布日： 2022-06-03 - 主分类号： B05B13/02 文献下载
摘要：本发明提供一种用于晶圆激光加工的涂胶喷涂工装，包括升降台支撑板、升降台座、旋转喷涂载台、导向组件、第一缓冲组件和第二缓冲组件，升降台支撑板中央设有安装腔体，升降台座置于安装腔体内；旋转喷涂载台底部中央设有驱动轴，升降台座上与驱动轴传动设有动力输入机构；导向组件设于升降台支撑板与升降台座之间；升降驱动机构对应设于升降台支撑板两侧，且与升降台座驱动连接；至少两组第一缓冲组件对应设于升降台座底部两侧；至少两组第二缓冲组件对应设于升降台支撑板上两侧，且与升降台座上部对应。本发明结构稳固、响应迅速、升降行程长；旋转喷涂载台升降过程平稳、无振动，保证晶圆的加工质量。
一种用于激光加工涂胶喷涂工装