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[发明专利]用于三维存储器件的存储器开口和接触开口的同时形成-CN201880072574.6有效
发明人： J·凯;崔志欣;M·查德赫里;J·阿尔斯梅尔;T·张;武贺光辉;雄戸井寿和;山口健介 -专利权人：闪迪技术有限公司
申请日： 2018-11-26 - 公布日： 2023-10-24 - 主分类号： H10B41/27 文献下载
摘要：多个叠层结构被堆叠在衬底上方。每个叠层结构包括绝缘层与牺牲材料层的交替堆叠以及覆盖在该交替堆叠上的反台阶介电材料部分。在形成每个叠层结构期间同时形成多种类型的开口。穿过每个叠层结构同时形成的开口可以包括至少两种类型的开口，这些开口可以选自穿层存储器开口、穿层支撑开口和穿层阶梯区开口。每个穿层开口均填充有各自的穿层牺牲开口填充结构。可以分阶段去除穿层牺牲开口填充结构的堆叠以形成各种器件部件，这些器件部件包括存储器堆叠结构、支撑柱结构和阶梯区接触通孔结构。牺牲材料层被导电层代替，该导电层通过环形绝缘间隔物与阶梯区接触通孔结构横向电隔离。
用于三维存储器件存储器开口接触同时形成

[发明专利]使用替换漏极选择栅极电极的三维存储器装置及其制造方法-CN201980005971.6有效
发明人： M.虫贺;H.音井;K.杉浦;崔志欣;榊原清彦 -专利权人：桑迪士克科技有限责任公司
申请日： 2019-02-28 - 公布日： 2023-10-17 - 主分类号： H10B43/27 文献下载
摘要：一种形成三维存储器装置的方法包含：在衬底上方形成绝缘层和牺牲材料层的交替堆叠；在所述交替堆叠上方的漏极选择层级中围绕存储器开口形成图案化模板结构；在所述图案化模板结构中的沟槽中形成漏极选择层级隔离结构；在延伸穿过所述交替堆叠的所述存储器开口中形成存储器堆叠结构，其中所述存储器堆叠结构中的每一个包含存储器膜和竖直半导体通道；将所述牺牲材料层替换为字线；以及分开地，将所述图案化模板结构替换为漏极选择栅极电极。
使用替换选择栅极电极三维存储器装置及其制造方法

[发明专利]具有多层级漏极选择电极的三维存储器器件及其形成方法-CN202280015796.0在审
发明人：飞冈晃洋;清水悟;崔志欣 -专利权人：桑迪士克科技有限责任公司
申请日： 2022-03-15 - 公布日： 2023-09-29 - 主分类号： H10B43/35 文献下载
摘要：一种三维存储器器件包括：绝缘层和导电层的交替堆叠，其中该导电层包括字线层级导电层和位于该字线层级导电层上方的漏极选择层级导电层；竖直延伸穿过该交替堆叠的存储器开口填充结构；以及漏极选择层级接触通孔结构。该漏极选择层级接触结构中的第一漏极选择层级接触结构直接接触该漏极选择层级导电层中的彼此竖直间隔开的至少前两个漏极选择层级导电层。该漏极选择层级接触结构中的第二漏极选择层级接触结构直接接触该漏极选择层级导电层中的至少接下来两个漏极选择层级导电层，该接下来两个漏极选择层级导电层彼此竖直间隔开并且位于该漏极选择层级导电层中的至少该前两个漏极选择层级导电层下方。
具有多层级漏极选择电极三维存储器器件及其形成方法

[发明专利]包含横向起伏存储器材料层的三维存储器装置及其形成方法-CN202180089033.6在审
发明人：樋上达也;崔志欣 -专利权人：桑迪士克科技有限责任公司
申请日： 2021-06-03 - 公布日： 2023-09-01 - 主分类号： H10B43/27 文献下载
摘要：一种存储器装置包含：绝缘层和导电层的交替堆叠，其位于衬底上方；存储器开口，其竖直地延伸穿过所述交替堆叠；以及存储器开口填充结构，其位于所述存储器开口中且包含竖直半导体通道和存储器材料层。绝缘材料部分的竖直堆叠可设置在所述绝缘层的层级处以为所述存储器材料层提供横向起伏轮廓。替代地，内绝缘间隔物和外绝缘间隔物的组合可用以为所述存储器材料层提供横向起伏轮廓。
包含横向起伏存储器材料三维装置及其形成方法

[发明专利]包含瓶形存储器堆叠结构的三维存储器装置及其制造方法-CN201980006490.7有效
发明人： 崔志欣;榊原清彦;S.矢田 -专利权人：桑迪士克科技有限责任公司
申请日： 2019-05-22 - 公布日： 2023-09-01 - 主分类号： H10B43/27 文献下载
摘要：一种三维存储器装置包含：位于衬底上方的绝缘层与导电层的交替堆叠，位于所述交替堆叠上方的漏极选择层级栅极电极，延伸穿过所述交替堆叠和所述漏极选择层级栅极电极中的相应一个的存储器开口，以及位于所述存储器开口中的存储器开口填充结构。所述存储器开口填充结构可具有阶梯式轮廓，以在所述漏极选择层级栅极电极的层级处提供比所述交替堆叠内小的横向尺寸。所述漏极选择层级栅极电极中的每一个包含具有两组竖直侧壁分段的平坦部分，和从所述平坦部分竖直地向上突出且横向环绕所述存储器开口填充结构中的相应一个的一组圆柱形部分。所述存储器开口填充结构可成间距地形成为二维阵列。
包含存储器堆叠结构三维装置及其制造方法

[发明专利]包含反转存储器堆叠结构的三维存储器装置及其制造方法-CN201980005875.1有效
发明人： 崔志欣;K.泉;T.久保 -专利权人：桑迪士克科技有限责任公司
申请日： 2019-02-07 - 公布日： 2023-08-25 - 主分类号： H10B41/27 文献下载
摘要：一种三维存储器装置包含：场效应晶体管，其位于衬底上；下部金属互连结构，其内嵌于第一电介质层中且位于所述衬底上方；源极线，其位于所述第一电介质层上方；阶梯式电介质材料部分，其位于所述第一电介质层上方且包含阶梯式表面；绝缘层和导电层的交替堆叠，其位于所述源极线上方且接触所述阶梯式电介质材料部分的所述阶梯式表面；以及存储器堆叠结构，其延伸穿过所述交替堆叠且包含存储器膜和竖直半导体通道。所述阶梯式电介质材料部分的横向范围随着距所述衬底的竖直距离逐步减小，且所述导电层的橫向范围随着距所述源极线的竖直距离而增加。
包含反转存储器堆叠结构三维装置及其制造方法

[发明专利]包含贯穿存储器层级接触通孔结构的三维存储器器件及其制造方法-CN201880070866.6有效
发明人： 崔志欣;K·萨卡基巴拉;T·库伯;M·木西加;杉浦健治;H·奥托一;S·伊诺尔;Y·福库达 -专利权人：闪迪技术有限公司
申请日： 2018-11-19 - 公布日： 2023-08-22 - 主分类号： H10B41/27 文献下载
摘要：本申请公开一种接触通孔结构，其在具有阶梯表面的楼梯区中竖直地延伸穿过绝缘层和导电层的交替堆叠。除了直接处于阶梯表面的水平界面下面的导电层，该接触通孔结构与交替堆叠的每个导电层电隔离。该接触通孔结构的横向突出部分接触导电层的环形顶表面。电隔离可以通过包括在绝缘层的层级处横向突出环形肋区的肋状绝缘间隔物提供，或者可以通过定位在导电层的层级处的环形绝缘间隔物提供。该接触通孔结构可以接触处于衬底上面的下面的金属互连结构的顶表面，以提供导电路径。
包含贯穿存储器层级接触结构三维器件及其制造方法

[实用新型]物料周转箱自动仓储分拣线-CN202221256531.3有效
发明人： 崔志欣;李本斌;刘昰玮 -专利权人：苏州金嵩智能科技有限公司
申请日： 2022-05-24 - 公布日： 2023-05-09 - 主分类号： B65G1/04 文献下载
摘要：物料周转箱自动仓储分拣线，包括：待分拣区、分拣区、进出料区，待分拣区设置待分拣托盘，分拣区铺设有移动地轨，移动地轨的移动端安装机器人手臂，进出料区包括多个并排的进出料滚筒线，机器人手臂完成内部周转箱的扫描、识别、转向将周转箱在待分拣区、进出料区进行分拣转移，多个暂放托盘用于暂存周转不开的周转箱、NG周转箱；合理的布局及装置的选用，大大提高物料周转箱自动仓储分拣线的分拣精确性及内部流通的高效性。
物料周转自动仓储分拣

[实用新型]一种汽车零部件缩口上料单元-CN202221069842.9有效
发明人：刘昰玮;崔志欣;李本斌 -专利权人：苏州金嵩智能科技有限公司
申请日： 2022-05-06 - 公布日： 2022-12-20 - 主分类号： B65G47/90 文献下载
摘要：本实用新型公开一种汽车零部件缩口上料单元，所述上料单元包括机架，机架的底部内置有电控箱，机架顶部设有轨道组件，轨道组件包括第一直线轨道组和第二直线轨道组，第一直线轨道组包括第一轨道基板a、安装在第一轨道基板a顶部的第一直线轨道a、第一轨道基板b以及安装在第一轨道基板b顶部的第一直线轨道b，第一直线轨道组的顶部安装有可沿第一直线轨道组上移动的第一托盘；本实用新型的有益效果是：本技术方案只需要人工将物料放置在第一托盘或第二托盘上，其余的都是自动完成，工作效率高，人工劳动强度低，自动化程度高。
一种汽车零部件缩口上料单元

[实用新型]一种结构紧凑型智能仓储柜体-CN202221256467.9有效
发明人： 崔志欣;李本斌;刘昰玮 -专利权人：苏州金嵩智能科技有限公司
申请日： 2022-05-24 - 公布日： 2022-09-23 - 主分类号： B65G1/04 文献下载
摘要：一种结构紧凑型智能仓储柜体，包括：框架、抽屉、工形模组、三级货叉，工形模组、三级货叉安装在两侧的抽屉之间，工形模组包括电机、减速机、皮带轮、皮带、Z轴滑轨、Y轴滑轨，三级货叉在工形模组的作用下完成Y‑Z的二维移动，三级货叉包括驱动装置、一级运动组件、二级运动组件、第一传动组件，其中一级运动组件、二级运动组件完成X方向的二级运动，结构紧凑且运行行程长。优势如下：工形模组运行平稳、三级货叉功能集成度高且行程距离长，两结构结合大大提高结构紧凑性，需求的安装空间小，易满足小型智能仓储的需求。
一种结构紧凑型智能仓储

[实用新型]伸缩式移动机构-CN202221256524.3有效
发明人： 崔志欣;李本斌;刘昰玮 -专利权人：苏州金嵩智能科技有限公司
申请日： 2022-05-24 - 公布日： 2022-09-16 - 主分类号： F16H19/06 文献下载
摘要：伸缩式移动机构，包括：驱动装置、一级运动组件、二级运动组件、第一传动组件，所述驱动装置与所述一级运动组件联动，所述一级运动组件、二级运动组件通过所述传动组件联动，所述一级运动组件、二级运动组件之间形成伸缩式移动，滑轨组件保证伸缩式移动机构运动过程的稳定性；限位导向槽的进一步提高运行导向性并发挥运动限位作用；本实用新型涉及的伸缩式移动机构将驱动装置、一级运动组件、二级运动组件、导轨集成为一体，大大提高同一运动行程距离下的结构紧凑性，需求安装空间小，无需预留过多的安装空间。
伸缩移动机构

[实用新型]一种旋转推顶出料装置-CN202221017713.5有效
发明人：李本斌;刘昰玮;崔志欣 -专利权人：苏州金嵩智能科技有限公司
申请日： 2022-04-29 - 公布日： 2022-09-16 - 主分类号： B65G65/40 文献下载
摘要：一种旋转推顶出料装置,包括：括旋转电机、第一安装板、上料支撑板、储料管、推料结构，推料结构包括升降装置、推杆，工件放置于储料管的上料孔内，推杆伸入储料管中将工件推顶出上方出料孔，并由工件拨料组件中的拨料杆推送至走道的出料孔，通过增加储料管长度或增加上料支撑板的数量成倍提高工件储存量，降低加料频次，提高工件上料效率，同时可通过。加料时的方向确保工件上料的上下端面不倒置，避免设置复杂的检测、翻面装置，降低成本，简化结构。
一种旋转推顶出料装置

[实用新型]一种半自动上下料设备-CN202221069843.3有效
发明人：刘昰玮;崔志欣;李本斌 -专利权人：苏州金嵩智能科技有限公司
申请日： 2022-05-06 - 公布日： 2022-09-06 - 主分类号： B65G47/90 文献下载
摘要：本实用新型公开一种半自动上下料设备，半自动上下料设备与缩进设备配套安装，半自动上下料设备包括上料单元和下料单元，上料单元和下料单元分别安装在缩进设备的两侧；本实用新型的有益效果是：本技术方案只需要人工将物料放置在第一托盘或第二托盘上，其余的都是自动完成，工作效率高，人工劳动强度低，自动化程度高。
一种半自动上下设备

[实用新型]一种零件取料下压装置-CN202220957117.9有效
发明人：李本斌;刘昰玮;崔志欣 -专利权人：苏州金嵩智能科技有限公司
申请日： 2022-04-25 - 公布日： 2022-09-06 - 主分类号： B23P19/12 文献下载
摘要：一种零件取料下压装置,包括：移动模组、吸附板、零件压杆、零件压杆过孔、升降推力结构、浮动压板、滑杆、伺服压杆、伺服压杆固定板、气门孔，所述吸附板直接或间接安装在所述移动模组的输出端，零件出料到位后，移动模组带动吸附板至零件上方，吸附孔内设置有负压将零件吸附转移至待安装位置，伺服压杆下压浮动压板、弹簧收缩，零件压杆在零件压杆过孔内升降，下压针下推零件至零件安装孔内，并进一步下压零件，胶液与固化剂接触反应后将零件固定在产品的零件安装孔内；优势如下：将取料、压料部件集成在一个结构中，结构大大简化的同时降低设备成本和体积，同时提高工作效率。
一种零件下压装置

[发明专利]包括双面管芯间接合连接的堆叠式管芯组件及其形成方法-CN202080081821.6在审
发明人： H·奇布文戈泽;崔志欣;R·高塔姆;周非;R·S·马卡拉;R·沙朗帕尼;A·拉贾谢哈尔 -专利权人：桑迪士克科技有限责任公司
申请日： 2020-12-30 - 公布日： 2022-07-29 - 主分类号： H01L23/00 文献下载
摘要：提供了多个接合单元，该多个接合单元中的每个接合单元包括相应的正面管芯和背面管芯。每个接合单元中的两个管芯可为存储器管芯和被配置为控制该存储器管芯中的存储器元件的操作的逻辑管芯。替代地，该两个管芯可为存储器管芯。可附接该多个接合单元，使得正面外部接合衬垫具有面朝上的物理暴露表面且每个接合单元的背面外部接合衬垫具有面朝下的物理暴露表面。第一接合引线集合可连接一对相应的正面外部接合衬垫且第二接合引线集合可连接一对相应的背面外部接合衬垫。
包括双面管芯间接连接堆叠组件及其形成方法

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