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专利名称

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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[发明专利]缺陷检查装置-CN201680081653.4有效
发明人：长谷川正树;小贯胜则;兼冈则幸;村越久弥;尾方智彦 -专利权人：株式会社日立高新技术
申请日： 2016-03-16 - 公布日： 2021-01-01 - 主分类号： G01N23/203 文献下载
摘要：本发明的目的在于提供能够实现潜伤等的高精度检测或者潜伤等的高速检测等的缺陷检查装置。为了实现该目的，提出了一种缺陷检查装置，其具备：试样支承部件，其对从电子源释放出的电子束所照射的试样进行支承；负电压施加电源，其用于形成针对上述电子束的减速电场，该电子束照射到由该试样支承部件支承的试样；摄像元件，其对由于上述减速电场而未到达上述试样就反射了的电子进行成像；紫外光源，其向上述试样照射紫外光；以及运算处理装置，其对基于由上述摄像元件得到的信号来生成的图像进行处理，该运算处理装置基于至少在两个照射条件下照射上述紫外光时得到的多个图像信号，判定上述试样的缺陷的种类。
缺陷检查装置

[发明专利]晶片检查装置和晶片检查方法-CN201880093447.4在审
发明人：土居昭;佐佐木实;长谷川正树;小川博纪;尾方智彦;冈田祐子 -专利权人：株式会社日立高新技术
申请日： 2018-05-30 - 公布日： 2020-12-22 - 主分类号： G01N23/203 文献下载
摘要：本发明提供在存在由晶片的翘曲等引起的高度变动的观测对象中也很少发生画质的劣化的晶片检查技术。晶片检查装置使观测光学系统的焦点聚焦于由测量晶片表面高度的高度传感器测量出的高度，而且，根据与高度对应的光学倍率数据和工作台位置数据修正CCD线传感器的切换信号，实施与晶片表面高度对应的修正，由此能够得到劣化减少的图像(参照图1)。
晶片检查装置方法

[发明专利]缺陷检查方法以及缺陷检查装置-CN201680081518.X有效
发明人：长谷川正树;小贯胜则;兼冈则幸;村越久弥;尾方智彦 -专利权人：株式会社日立高新技术
申请日： 2016-03-16 - 公布日： 2020-10-13 - 主分类号： G01N23/203 文献下载
摘要：本发明的目的在于提供一种能够高精度地评价潜伤等的长缺陷的缺陷检查装置。为了达到其目的，所提出的该缺陷检查装置具备：拍摄元件，其使由形成于试样上的减速电场而未到达试样而反射的电子进行成像；紫外光源，其向上述试样照射紫外光；移动台，其使上述试样支承部件进行移动；以及控制装置，其控制该移动台，其中，该控制装置以使上述图像内包含的线状部的一部分或者该线状部的延长线上的线上部位与上述电子束的照射区域的特定部位进行定位的方式，控制上述移动台，并且重复进行控制上述移动台直到上述线状部的端部在上述电子束的照射区域内进行定位。
缺陷检查方法以及装置

[发明专利]带电粒子束装置以及带电粒子束装置的调整方法-CN201680081651.5有效
发明人： 尾方智彦;长谷川正树;村越久弥;小贯胜则;兼冈则幸 -专利权人：株式会社日立高新技术
申请日： 2016-03-28 - 公布日： 2020-07-14 - 主分类号： H01J37/04 文献下载
摘要：本发明的目的在于提出一种能够高精度地调整成像光学系统与照射光学系统的带电粒子束装置。为了达到该目的，提出一种带电粒子束装置，其具备成为照射光学系统的第1带电粒子镜筒、使在该第1带电粒子镜筒内经过的带电粒子向对象物偏转的偏转器、以及成为成像光学系统的第2带电粒子镜筒，该带电粒子束装置具备：向对象物照射光的光源；以及控制装置，该控制装置根据基于从该光源放出的光的照射而产生的带电粒子的检测，求出维持某个偏转状态的多个偏转信号，并从该多个偏转信号中选择满足预定条件的偏转信号，或者根据由该多个偏转信号而作出的关系信息来计算满足预定条件的偏转信号。
带电粒子束装置以及调整方法

[发明专利]蒸镀装置和该蒸镀装置所用的蒸发源-CN201410018357.2无效
发明人：楠敏明;山本健一;玉腰武司;三宅龙也;松浦宏育;矢崎秋夫;尾方智彦;松崎永二 -专利权人：株式会社日立高新技术
申请日： 2014-01-16 - 公布日： 2014-07-23 - 主分类号： C23C14/26 文献下载
摘要：本发明提供蒸镀装置和该蒸镀装置所用的蒸发源，该蒸镀装置能够长时间进行稳定的蒸镀，该蒸发源能够稳定且大量地收入作为蒸镀材料的Al。本发明的蒸镀装置具备蒸镀基板的蒸发源（30）和收纳蒸发源（30）且基板被搬送的工艺腔室。蒸发源（30）具备坩埚（10），坩埚（10）具有固体的Al材料（2）被供给的材料收入部（11）、与材料收入部（11）相邻，加热从材料收入部（11）供给的Al材料（2）使其熔融并形成为熔液（1）的熔融部（12）、和与熔融部（12）相邻，加热从熔融部（12）供给的熔液（1）而产生蒸气的蒸发部（13）。
装置所用蒸发

[发明专利]蒸发源、真空蒸镀装置以及有机EL显示装置制造方法-CN201310339461.7无效
发明人：三宅龙也;松浦宏育;峰川英明;矢崎秋夫;尾方智彦;山本健一;楠敏明;玉腰武司 -专利权人：株式会社日立高新技术
申请日： 2013-08-06 - 公布日： 2014-04-09 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本发明是提供一种蒸发源、真空蒸镀装置以及有机EL显示装置制造方法，使用能够降低热辐射、能够节电化的蒸发源，能够与大型基板对应，高速形成以铝材料为主的金属薄膜，连续成膜。作为解决本发明课题的方法涉及在使用陶瓷制的坩锅的蒸发源中，通过使夹着凸缘部那样设置热反射构件，有效地阻断沿凸缘部流出的热。其结果是能够用少的电力有效地加热坩锅，另外能够防止凸缘部的温度上升，防止攀缘。
蒸发真空装置以及有机 el 显示装置制造方法

[发明专利]真空蒸镀装置-CN201310124641.3无效
发明人：玉腰武司;三宅龙也;松浦宏育;峰川英明;楠敏明;山本健一;矢崎秋夫;尾方智彦 -专利权人：株式会社日立高新技术
申请日： 2013-04-11 - 公布日： 2013-10-30 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本发明提供一种真空蒸镀装置。将多个线状蒸发源相对于成膜方向配置成多级，能够在去路和回路中不改变成膜顺序地进行共蒸镀。在基板上成膜蒸镀材料的真空蒸镀装置中，具有以相对于成膜方向为对称的方式配置有多个线状蒸发源的蒸发源组，上述蒸发源组相对于上述基板向第一方向移动并对上述基板成膜后，相对于上述基板向与上述第一方向相反的方向即第二方向移动并对上述基板成膜。
真空装置

[发明专利]蒸发源以及使用了它的真空蒸镀装置-CN201310053508.3无效
发明人：松浦宏育;松崎永二;尾方智彦;三宅龙也;峰川英明;矢崎秋夫 -专利权人：株式会社日立高新技术
申请日： 2013-02-19 - 公布日： 2013-10-23 - 主分类号： C23C14/26 文献下载
摘要：本发明提供一种即使蒸镀材料进入蒸发源内部，也防止膜质的劣化，不会对连续运转、维护产生障碍的蒸发源以及真空蒸镀装置。蒸发源以及真空蒸镀装置由具有用于将加热被封入的蒸镀材料而蒸发出的蒸镀材料排放的喷嘴的坩埚、用于加热该坩埚的加热构件、配置在上述坩埚和上述加热构件的周边的隔热构件构成，在上述隔热构件和坩埚或者加热构件之间设置由该加热构件保持为低温的浮游蒸镀物回收构件，且在该浮游蒸镀物回收构件和上述坩埚以及上述加热构件之间设置隔热构件。
蒸发以及使用真空装置

[发明专利]蒸发源装置及真空蒸镀装置、以及有机EL显示装置的制造方法-CN201310054787.5无效
发明人：三宅龙也;松浦宏育;峰川英明;矢崎秋夫;尾方智彦;山本健一;楠敏明;玉腰武司 -专利权人：株式会社日立高新技术
申请日： 2013-02-20 - 公布日： 2013-09-18 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本发明提供能在大型基板上快速地形成膜厚均匀且有机EL上部电极用的铝金属薄膜，并能长时间连续运转的真空蒸镀装置及成膜装置。通过使用陶瓷制的坩埚防止铝的攀爬，并使用在横向上操作沿纵向排列有在相同方向上以规定的角度倾斜的蒸发源（3-1）的蒸发源列（3-2）并进行蒸镀的机构，能够相对于大型的纵置基板（1-1）快速形成有机EL上部电极用金属薄膜，并使用材料供给机进行长时间的连续成膜。
蒸发装置真空以及有机 el 显示装置制造方法

[发明专利]真空蒸镀装置及有机EL显示装置的制造方法-CN201110442780.1无效
发明人：三宅龙也;玉腰武司;山本健一;松浦宏育;峰川英明;矢崎秋夫;楠敏明;尾方智彦 -专利权人：株式会社日立高新技术
申请日： 2011-12-27 - 公布日： 2012-10-17 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本发明提供一种真空蒸镀装置及成膜装置，该真空蒸镀装置及成膜装置在大型基板上高速地形成膜厚均匀的有机EL上部电极用的铝金属薄膜，能够长时间连续运行。使用陶瓷制的坩埚，防止铝的向上蠕动，使用在横向上操作蒸发源列(3-2)进行蒸镀的机构，该蒸发源列(3-2)在纵向上排列了至少2个以上在相同方向上按规定角度倾斜了的蒸发源(3-1)，据此，能够相对于大型化的纵向设置的基板(1-1)高速地形成有机EL上部电极用金属薄膜，能够进行长时间的连续成膜。
真空装置有机 el 显示装置制造方法

[发明专利]蒸镀装置-CN201210023615.7无效
发明人：山本健一;三宅龙也;玉腰武司;松浦宏育;峰川英明;矢崎秋夫;楠敏明;尾方智彦 -专利权人：株式会社日立高新技术
申请日： 2012-02-03 - 公布日： 2012-10-17 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本发明以低成本提供一种具有防止Al的向上蠕动或Al蒸气浸入而难以引起破损的蒸发源的蒸镀装置。该蒸镀装置在真空腔室内具有蒸镀源单元(26)，其中，上述蒸镀源单元(26)具有：收容蒸发材料(5)的坩埚(1)、安装于上述坩埚(1)的开口部的喷嘴(2)、包围上述坩埚(1)并收容加热器(3)的加热室(10)、和固定件(7)，在上述坩埚(1)的内壁和上述加热室(10)之间具有切口(12)，该切口(12)阻止在上述坩埚(1)中熔融了的上述蒸发材料(5)或上述蒸发材料(5)的蒸气侵入到上述加热室(10)。
装置

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