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[发明专利]图案检查方法、光掩模检查装置、光掩模的制造方法-CN202011021526.X在审
发明人： 尾崎太一 -专利权人： HOYA株式会社
申请日： 2020-09-25 - 公布日： 2021-03-30 - 主分类号： G03F1/84 文献下载
摘要：提供图案检查方法、光掩模检查装置、光掩模的制造方法。即使在微细宽度图案中，也能稳定且高精度地进行线宽测量。向检查区域照射光，取得检查区域的透射光图像的工序；根据所取得的透射光图像，得到检查区域的光强度分布数据的工序；微分处理工序，通过对从光强度分布数据求出的光强度分布曲线进行微分处理，得到包含第1透射控制部和第2透射控制部的边界部分即第1边界、以及第2透射控制部和第3透射控制部的边界部分即第2边界的区域的光强度变化曲线；拟合工序，将得到的光强度变化曲线拟合到模型函数；以及根据拟合的结果求出第2透射控制部的尺寸的工序。
图案检查方法光掩模装置制造

[发明专利]固定装置、蒸汽涡轮机、旋转机械的制造方法及组装方法-CN201680018278.9有效
发明人：白田明彦;尾崎太一 -专利权人：三菱日立电力系统株式会社
申请日： 2016-03-22 - 公布日： 2019-05-17 - 主分类号： F01D25/26 文献下载
摘要：提供一种能够抑制径向销向旋转机械的径向外侧的移动且为简单的结构的固定装置、蒸汽涡轮机、旋转机械的制造方法及组装方法。固定装置的特征在于，具有：径向销，插入于沿外侧部件的旋转机械的径向贯穿的贯穿孔，旋转机械的径向内侧的一部分插入于形成在内侧部件的凹部，且具有外径大于内侧孔的直径的凸缘部，所述贯穿孔形成有开口于外侧部件的旋转机械的径向外侧的外侧孔及与外侧孔连通且比外侧孔的直径小并开口于旋转机械的径向内侧的内侧孔；及销支承单元，插入于比径向销更靠旋转机械的径向外侧的外侧孔，形成于旋转机械的径向外侧的面与形成于外侧孔且朝向旋转机械的径向内侧的面在贯穿孔的径向上重叠，并且与径向销在贯穿孔的径向上重叠。
固定装置蒸汽涡轮机旋转机械制造方法组装

[发明专利]支承装置、涡轮机、旋转机械的组装方法及拆卸方法-CN201680017344.0有效
发明人：白田明彦;中山武城;尾崎太一 -专利权人：三菱日立电力系统株式会社
申请日： 2016-03-18 - 公布日： 2019-05-10 - 主分类号： F01D25/28 文献下载
摘要：本发明的支承装置具备：支承构件，具有配置于设在外侧构件的下半部的上表面的凹部的主体部、以及从设于主体部并与内侧构件的下半部对置的前表面朝向内侧构件的下半部突出且拆装自如地配置于设在内侧构件的下半部的孔部的突出部；第一调整构件，配置于设在凹部的底面与设在主体部并与底面对置的下表面之间；以及上部衬垫，具有配置于主体部的上方并隔着第一间隙与设于主体部的上表面对置的水平部、以及配置于设在凹部并朝向旋转轴的径向内侧的内壁面与设在主体部并铅直与内壁面对置的后表面之间的部，固定于外侧构件的下半部。凹部的内壁面与作为和内壁面对置配置的面的内侧构件的下半部的外表面的距离大于支承构件的与旋转轴垂直且水平方向的外形尺寸。
支承装置涡轮机旋转机械组装方法以及拆卸

[发明专利]叶片环拆卸方法及叶片环拆卸部件-CN200780051648.X有效
发明人：重本胜久;尾崎太一;森本仁志 -专利权人：三菱重工业株式会社
申请日： 2007-10-23 - 公布日： 2009-12-23 - 主分类号： F01D25/24 文献下载
摘要：本发明的目的在于提供一种可顺利且可靠地拔出叶片环、防止其他部件损伤等的叶片环拆卸方法及叶片环拆卸部件。使用装配用叶片环(60)、连接板(61)及连接螺栓(70)进行叶片环下半部(35)的拔出、安装作业，从而在将叶片环下半部(35)和装配用叶片环(60)在两端部上连接着的状态下，进行旋转等作业。由此，在作业中，叶片环下半部(35)和装配用叶片环(60)不会错动，也不会与相对的动叶片的叶尖、外壳下半部(53)等发生干涉，防止了叶尖损伤、或叶片环下半部(35)、装配用叶片环(60)的歪斜等。其结果是，能够顺利且可靠地拔出静叶片环。
叶片拆卸方法部件

[发明专利]便携式电子装置-CN200810085079.7无效
发明人： 尾崎太一 -专利权人：株式会社东芝
申请日： 2008-03-17 - 公布日： 2008-12-03 - 主分类号： H04Q7/32 文献下载
摘要：本申请涉及一种便携式电子装置。如果在按下操作很难会被认为是用户操作的状态下按键操作单元(60)的按键被持续按下不少于3分钟，则控制单元(100)将这个按下操作与长时间按键操作相区别并执行节电过程。即使继续按下，控制单元(100)也关断背光灯和按键照明灯，并停止读取按键控制器(70)所检测的按键操作单元(60)的按键状态的按键扫描过程。
便携式电子装置

[发明专利]耐热性保护薄膜,其制造方法及电气电子元件-CN200710108823.6无效
发明人：菅原章;成枝宏人;尾崎太一 -专利权人：同和矿业株式会社
申请日： 2001-12-21 - 公布日： 2007-12-05 - 主分类号： B32B15/01 文献下载
摘要：提供一种具有优良的耐热性，成形加工性，焊锡焊接性能的材料表面的保护膜和该保护膜的制造方法，以及带有这种保护膜的电气电子元件。在铜合金等材料的表面上形成从材料表面依次为Ni或Ni合金层、Cu层、Sn或Sn合金层构成的保护层。在形成保护层后进行300～900℃，1～300秒的重熔处理，从而形成以下构造的耐热性保护膜，其构造为最外层的层厚X为0.05～2μm的Sn层或Sn合金层，其内层的层厚Y为0.05～2μm的以Cu－Sn为主体的金属间化合物层，其表面光滑度的10点平均光滑度在0.2～0.7μm，并且其中心线平均光滑度在0.05～0.10μm。
耐热性保护薄膜制造方法电气电子元件

[发明专利]耐热性保护薄膜,其制造方法及电气电子元件-CN200610114926.9有效
发明人：菅原章;成枝宏人;尾崎太一 -专利权人：同和矿业株式会社
申请日： 2001-12-21 - 公布日： 2007-04-04 - 主分类号： C23C30/00 文献下载
摘要：提供一种具有优良的耐热性，成形加工性，焊锡焊接性能的材料表面的保护膜和该保护膜的制造方法，以及带有这种保护膜的电气电子元件。在铜合金等材料的表面上形成从材料表面依次为Ni或Ni合金层、Cu层、Sn或Sn合金层构成的保护层。在形成保护层后进行300～900℃，1～300秒的重熔处理，从而形成以下构造的耐热性保护膜，其构造为最外层的层厚X为0.05～2μm的Sn层或Sn合金层，其内层的层厚Y为0.05～2μm的以Cu－Sn为主体的金属间化合物层，最内层的层厚Z为0.01～1μm的Ni或Ni合金层(X，Y，Z满足以下条件：0.2X≤Y≤5X，并且0.05Y≤Z≤3Y)。
耐热性保护薄膜制造方法电气电子元件

[发明专利]涡轮机壳结构-CN200610006089.8有效
发明人：森本仁志;尾崎太一 -专利权人：三菱重工业株式会社
申请日： 2006-01-26 - 公布日： 2006-11-22 - 主分类号： F01D25/24 文献下载
摘要：本发明公开了一种涡轮机壳结构，其具有外壳以及设置在该外壳中的内壳，其包括：设置于形成在内壳中的凹入部中的衬套；偏心轴，其插入到形成在外壳中的连通孔中，并具有设置成与衬套相接触的前端；以及固定元件，其设置成与偏心轴相接合，并固定到外壳。
涡轮机壳结构

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