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- [发明专利]机械平坦化设备-CN202210475565.X有效
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史霄;尹影;费玖海;舒福璋;吴尚东
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北京晶亦精微科技股份有限公司
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2022-04-29
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2023-05-26
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B24B29/02
- 本发明提供一种夹爪及机械平坦化设备，属于晶圆机械平坦化的技术领域，其包括：抛光单元、刷洗单元、干燥单元以及机械手，所述机械手包括机械臂和连接在机械臂上的夹爪；所述夹爪包括：安装板、夹持件和驱动件，所述夹持件设有两个，两个所述夹持件均连接在所述安装板上，所述驱动件与至少一个所述夹持件连接，用于驱动两个夹持件做相互靠近或远离的移动，两个所述夹持件相互靠近的侧部对称开设有夹持面，所述夹持面为半径与晶圆半径一致的弧面，且所述夹持面的圆弧对应的弦长大于晶圆的切边长度。通过夹持面的设置，所述夹爪能够对标准圆形的晶圆和带有切边的晶圆进行夹紧定位，结构简单可靠，提高了对晶圆搬运过程中的定位精度。
- 机械平坦设备
- [发明专利]一种便于调整空间大小的组合式柜体-CN202110073729.1有效
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龚明婵;尹影;涂希;肖琼芳;欧阳彦红;周亮;田野
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湖南工学院
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2021-01-20
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2023-05-05
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A47B45/00
- 一种便于调整空间大小的组合式柜体，包括底柜，底柜内部滑动连接有移动柜，移动柜的两侧连接有限位板，且限位板能够在移动柜的内侧与外侧之间转动，移动柜能够由底柜内部滑动至底柜上方，并通过转动至移动柜外侧且与底柜两侧对齐的限位板来支撑其处在底柜上方，移动柜能够向后移动，并与底柜后侧对齐，移动柜顶部设有顶盖，且顶盖能够向移动柜后侧翻转并贴住移动柜后侧，移动柜能够带着向后翻转的顶盖以及向内侧转动的限位板一同移至底柜内部，底柜连接有能够上下翻折的柜门，底柜两侧设有用于固定限位板的固定连接件。上述便于调整空间大小的组合式柜体，能够快速组装，并且，方便收起，便于运输，同时，还能够组装出两种空间大小的柜体。
- 一种便于调整空间大小组合式
- [发明专利]一种晶圆清洗设备-CN202010266787.1有效
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江伟;尹影;庞浩;徐俊成
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北京晶亦精微科技股份有限公司
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2020-04-07
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2023-04-28
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H01L21/02
- 本发明涉及晶圆清洗的技术领域，具体涉及一种晶圆清洗设备，包括清除晶圆表面残留物的等离子清洗组件，其包括放置晶圆的清洗腔室和位于清洗腔室内且产生等离子束清洗晶圆的等离子源，清洗腔室的顶端设置有安装腔室，等离子源位于安装腔室内，等离子源产生的等离子束的运动方向相对晶圆倾斜设置，清洗腔室一侧设置有将清洗腔室抽至真空的抽气件。利用等离子清洗晶圆，设备中无需安装大量管路和接头，减少了设备后期的维护时间和成本。利用等离子轰击并清洗晶圆表面，避免使用滚刷直接接触晶圆表面摩擦的方式去除，为绿色无损伤清洗。且由于等离子体积小于水分子，其可以深入到晶圆微细孔眼，可以进行晶圆表面一定厚度内的离子轰击清洗。
- 一种清洗设备
- [发明专利]一种晶圆清洗装置-CN202310088755.0在审
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石启鹏;舒福璋;李伟;尹影
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北京晶亦精微科技股份有限公司
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2023-01-17
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2023-04-11
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B08B1/00
- 本发明涉及半导体制造技术领域，具体涉及一种晶圆清洗装置，包括：第一支臂，靠近晶圆的表面设置；第一施压组件，设置于第一支臂上，且所述第一施压组件与第一刷头连接，所述第一施压组件适于带动所述第一刷头靠近所述晶圆的表面，以对晶圆的表面施加压力；驱动组件，与第一刷头连接，所述驱动组件适于带动所述第一刷头旋转，以清洗晶圆表面；本申请采用上述技术方案，在第一刷头旋转的同时，通过第一施压组件和第一刷头对晶圆表面施加压力，以对晶圆上污染物聚集位置进行有效清洗，提高晶圆的良品率。与传统滚刷方式相比，第一刷头的体积更小，成本更低。
- 一种清洗装置
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