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[发明专利]衬底搬送机器人及衬底处理系统-CN201680049634.3有效
发明人：后藤博彦;马克·谭;艾力克·张;小野茂树;北野真也;曾明 -专利权人：川崎重工业株式会社;川崎机器人(美国)公司
申请日： 2016-08-30 - 公布日： 2022-04-15 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：衬底搬送机器人(1)的控制器件(12)是使机器臂(4)及衬底保持装置(7)实施掌片部件进入动作、衬底接收动作以及衬底载置动作。衬底保持装置(7)构成为能够切换第1运转状态与第2运转状态，该第1运转状态是将一对掌片部件(25、26)配置在上下方向，该第2运转状态是将一对掌片部件(25、26)配置在从上下方向偏离的位置且将单个掌片部件设为可进入到衬底载置构造。无论衬底载置构造的种类为何，都能够缩短衬底搬送时的作业时间。
衬底机器人处理系统

[发明专利]基板移载装置-CN201680051117.X有效
发明人：后藤博彦;曾铭;艾薇许·巴瓦尼;小野茂树 -专利权人：川崎重工业株式会社;川崎机器人（美国）有限公司
申请日： 2016-06-24 - 公布日： 2021-09-21 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：基板移载装置具备壳体和基板搬送机器人。壳体，与第一方向X的尺寸相比，第二方向Y的尺寸较大，且具有搬送室、及形成配置于搬送室的第一方向X的至少一侧的至少一个开口的壁。基板搬送机器人，具有基台、机械臂、机械手、及控制器。当将从搬送室除去规定的排他区域的空间规定为有效搬送室时，连杆的连杆全长DL小于搬送室尺寸Dx，且机械手的手全长Dh为有效搬送室尺寸Dx'以上。
基板移载装置

[发明专利]机器人装置-CN202080006388.X在审
发明人： 小野茂树;谷内亮;胁光俊介 -专利权人：川崎重工业株式会社
申请日： 2020-04-03 - 公布日： 2021-07-23 - 主分类号： B25J9/06 文献下载
摘要：机器人装置(1)具备：第1连杆(11)，绕第1轴(L1)旋转；第2连杆(12)，能够绕第2轴(L2)旋转地支承于第1连杆(11)的前端部；以及手部(15)，支承于第2连杆(12)的前端部。将与第1轴(L1)正交的一个方向设为第1正交方向(Y)，并将与第1轴(L1)和第1正交方向(Y)均正交的方向设为第2正交方向(Z)时，第2轴(L2)平行于第1正交方向(Y)地延伸，相对于第1轴(L1)沿第2正交方向(Z)偏移。
机器人装置

[发明专利]末端作用器装置及具备该末端作用器装置的基板搬运用机械手-CN201280035993.5有效
发明人：桥本康彦;小野茂树;福岛崇行 -专利权人：川崎重工业株式会社
申请日： 2012-08-09 - 公布日： 2014-03-26 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本发明涉及安装于机械手臂的梢端部上的末端作用器装置（1），在托板（10）上具备多个支持单元（3、3）。支持单元（3）具备以使多个半导体晶圆（9）相互平行且上下隔着间隔的方式支持各半导体晶圆（9）的周缘部的多个爪片（30、30）、和变更爪片（30）的上下间隔的间距变更机构（4）。间距变更机构（4）具备上下隔着间隔支持多个爪片（30、30），且在上下方向上弹性变形的螺旋弹簧（40）、和使该螺旋弹簧（40）在上下弹性变形的工作机构（5）。工作机构（5）具备嵌入于螺旋弹簧（40）中并升降的活塞轴（50）。
末端作用装置具备基板搬运用机械手

[发明专利]搬送机械手-CN201180051810.4有效
发明人：加藤烈;小野茂树 -专利权人：川崎重工业株式会社
申请日： 2011-11-30 - 公布日： 2013-07-03 - 主分类号： B25J9/06 文献下载
摘要：本发明提供一种可降低升降驱动器件中所需的升降驱动力的搬送机械手。本发明的搬送机械手包含：第1连杆部件(2)，可绕着第1轴线(L1)旋转地构成；第2连杆部件(3)，可绕着位于与第1轴线相距指定距离的位置上的第2轴线(L2)旋转地构成；保持部件(7)，可绕着位于与第2轴线相距指定距离的位置上的第3轴线(L3)旋转且可保持物品地构成；及升降驱动器件(4)，用来至少升降驱动保持部件。第1连杆部件、第2连杆部件及保持部件按照该顺序连结而构成吊臂连杆机构，升降驱动器件配置在第1连杆部件与保持部件之间而构成吊臂连杆机构的一部分。
机械手

[发明专利]板状构件移载设备-CN201180040079.5在审
发明人：桥本康彦;小野茂树;坂东贤二 -专利权人：川崎重工业株式会社
申请日： 2011-08-25 - 公布日： 2013-04-17 - 主分类号： B65G1/04 文献下载
摘要：本发明具备作为板状构件的玻璃板（2）以竖立状态向前后方向排列并收纳的支架（32）、和通过使玻璃板（2）向左右方向移动而与支架（32）之间传送的载重机械手（10）。载重机械手（10）具有载重侧行驶基台（14）、翻动件（17）、载重侧搬运基台和滚子。翻动件（17）形成为通过翻动执行器相对于载重侧行驶基台（14）绕轴线（L1）转动，并且通过转动使装载在其上的玻璃板（2）竖立或者倾倒的结构。所述滚子可转动地设置在载重侧搬运基台（25）上，通过转动将玻璃板（2）运送至支架（32）内。借助于此，本发明可以将作为板状构件的玻璃板（2）以竖立状态插入到支架（32）内，或者可以保持竖立状态从支架（32）中取出。
构件设备

[发明专利]板状构件收纳用支架、板状构件移载设备及板状构件收纳方法-CN201180040080.8有效
发明人：桥本康彦;小野茂树;坂东贤二 -专利权人：川崎重工业株式会社
申请日： 2011-08-25 - 公布日： 2013-04-17 - 主分类号： B65G1/14 文献下载
摘要：支架（12）具备：具有收纳多个板状构件（2）的收纳空间（33）、以及用于将板状构件（2）向与所述阵列方向交叉的水平的搬入方向搬入的搬入口（34）的支架主体（32）；分别支持多个板状构件（2）的上缘部的多个上侧支持部（61）；设置在多个上侧支持部（61）的下方，并且支持竖立的多个板状构件（2）的下缘部的下侧支持部（63）；和在阵列方向上设置于多个上侧支持部（61）的端及下侧支持部（63）的端的外侧，容纳从搬入口（34）搬入至收纳空间（33）内的板状构件（2）的下缘部的下缘部容纳部（64）；至少一个上侧支持部（61）形成为能够将搬入的且其下缘部容纳在下缘部容纳部（64）中的板状构件（2）的上缘部以该板状构件（2）倾斜的状态支持的结构。
构件收纳支架设备方法

[发明专利]车辆用灯具-CN200510109676.5无效
发明人： 小野茂树;泷口优;村越护;山崎一广;石垣彰男 -专利权人：株式会社小糸制作所
申请日： 2005-09-19 - 公布日： 2006-03-22 - 主分类号： F21V7/00 文献下载
摘要：一种车辆用灯具，其具有设有可长期间维持不能由铝蒸镀反射面得到的高反射率的银蒸镀反射面的反射部件，在灯室S内设有反射部件(60)，该反射部件中，在合成树脂制基材(61)表面上形成的银蒸镀膜(62)上形成有作为保护膜的外涂敷层(64)，由玻化温度60℃以上的单体合成的透明丙稀类树脂构成外涂敷层。该外涂敷层粘接在银蒸镀膜上，抑制构成银蒸镀膜的Ag原子凝集。银蒸镀膜中的Ag原子不会凝集，而保持均等分散的形态，在银蒸镀膜上不产生微细的凹凸，因此，银蒸镀膜不会黄变，光线反射率为95％，使灯具的亮度提高。银蒸镀反射面(62a)是与铝蒸镀反射面不同的稳定的带泛淡黄的银色调，而外观好。
车辆灯具

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