专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]晶圆支架制作方法-CN201110332602.3有效
  • 山本雅之;宫本三郎 - 日东电工株式会社
  • 2011-10-25 - 2012-07-04 - H01L21/683
  • 本发明提供一种晶圆支架制作方法。向半导体晶圆的电路面上涂布液态的粘接剂,将支承板贴合在涂布面上,在保持该支承板的状态下磨削半导体晶圆的背面,借助支承用的粘合带将半导体晶圆支承在环框上,从半导体晶圆分离支承板,然后向在半导体晶圆上成为膜状的粘接剂上粘贴宽度大于等于半导体晶圆直径的剥离带,通过剥离该剥离带而从半导体晶圆一体地剥离该粘接剂与该剥离带。
  • 支架制作方法
  • [发明专利]粘合带粘贴方法和粘合带粘贴装置-CN201010278946.6无效
  • 宫本三郎;长谷幸敏;山本雅之 - 日东电工株式会社
  • 2010-09-08 - 2011-04-20 - B32B37/12
  • 本发明提供一种粘合带粘贴方法和粘合带粘贴装置。利用刀口构件翻折粘合带而自粘合带剥离分离片,然后利用由打开的一对把持块构成的把持部的把持面吸附保持该粘合带的前端部分,使前端侧的保持块转动而使两个把持块的把持面对接,从而向内侧翻折粘合带而使粘接剂层彼此粘接,由此形成拉头。对于粘合带的后端部分,利用把持块吸附保持切断后的粘合带的后端部分,使后端侧的把持块转动而向内侧翻折粘合带,从而形成拉头。
  • 粘合粘贴方法装置
  • [发明专利]粘接带粘贴装置-CN200910117809.1有效
  • 山本雅之;宫本三郎 - 日东电工株式会社
  • 2009-02-25 - 2009-09-02 - H01L21/683
  • 本发明提供一种粘接带粘贴装置,其中,俯视上述装置时,为由横向长的矩形部和在该矩形部的中央部连接的突出部构成的凸形配置,在该突出部配置有将粘接带粘贴在环形框和晶圆上的粘接带粘贴部,矩形部上配置有对晶圆(W)、环形框、对保持在环形框上的晶圆进行输送的输送机构,能将电子基板处理单元连结在与矩形部邻接的2个区域中的至少一区域,该2个领域隔着突出部。
  • 粘接带粘贴装置
  • [发明专利]保护带剥离方法及保护带剥离装置-CN200810212314.2有效
  • 山本雅之;宫本三郎 - 日东电工株式会社
  • 2008-09-08 - 2009-03-18 - H01L21/00
  • 本发明提供保护带剥离方法及保护带剥离装置。对粘贴于载置保持在剥离台上的晶圆的保护带的表面高度进行检测,基于该检测信息算出使粘贴构件接近保护带、直到使缠挂于粘贴构件的剥离带接触到保护带为止的动作量,以算出的动作量来控制粘贴构件接近保护带的动作,在保持粘贴构件的高度的状态下,使粘贴构件和剥离台沿着保护带面方向相对移动而将剥离带粘贴于保护带,并且,将剥离带与保护带一体地自晶圆表面剥离。
  • 保护剥离方法装置
  • [发明专利]保护胶带剥离方法及使用该方法的装置-CN200610072006.5有效
  • 宫本三郎;金岛安治;山本雅之 - 日东电工株式会社
  • 2006-03-31 - 2006-10-04 - H01L21/00
  • 本发明提供一种保护胶带剥离方法及使用该方法的装置,在使安装架与粘贴构件相对水平移动的途中,以非接触方式检测出保护胶带的端缘位置,其中该安装架是通过支承用粘着带将带有保护胶带的半导体晶片支承于环架而成的。根据其检测结果使粘贴构件停止在保护胶带的端缘位置,使粘贴构件接近半导体晶片,将剥离胶带推压接触到保护胶带的端部。在该状态下,使安装架与粘贴构件相对水平移动,将剥离胶带粘贴到保护胶带上,使安装架与粘贴构件相对水平移动,从而使剥离胶带与保护胶带一体地从半导体晶片的表面剥离。
  • 保护胶带剥离方法使用装置

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