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[发明专利]制造静电夹的方法、静电夹及静电夹系统-CN201580006538.6有效
发明人：岱尔·K·史东;理查尔·库肯;林奕宽;朱利安·G·布雷克;留德米拉·史东 -专利权人：瓦里安半导体设备公司;安堤格里斯公司
申请日： 2015-01-30 - 公布日： 2020-06-30 - 主分类号： H01L21/687 文献下载
摘要：本发明提供一种制造静电夹的方法、一种静电夹及一种静电夹系统。在一个实施例中，一种制造静电夹的方法包含：形成绝缘体主体；在所述绝缘体主体上形成电极；以及在所述电极上沉积层堆叠，所述层堆叠包括使用原子层沉积(ALD)而沉积的氧化铝层。抗扩散层堆叠设置在静电夹的电极与将由静电夹固持的衬底之间。可在操作期间抑制金属从静电夹滤出，避免污染衬底。
制造静电方法系统

[发明专利]施配流体的装置及方法-CN200880114604.1有效
发明人： J·A·雷斯;J·M·亨内恩;M·L·约翰逊 -专利权人： 安堤格里斯公司
申请日： 2008-08-28 - 公布日： 2011-02-09 - 主分类号： B65D83/00 文献下载
摘要：本发明提供一种瓶纳袋总成(bag-in-bag-in-bottle assembly)，其由具有施配附件的挠性施配容器形成。所述施配容器被邻设于一或多个挠性加压容器或夹置于所述一或多个挠性加压容器之间，所述一或多个挠性加压容器具有穿过第二附件的单独入口/出口路径。然后可将袋纳袋总成置于安装有所述附件的容置容器中，使得可于容器上接近所述袋纳袋总成。可通过以足够的压力将流体引入该一或多个加压容器内以迫使液体经所述施配附件流出，自所述施配容器中提取液体。经造型的施配头可利用凸轮致动配置耦合至所述瓶纳袋总成，以将加压、排放及流体提取耦合件同时锁定。可利用键码系统，其中对通用键码环加以修改而达成对容置容器的键编码，使其仅与某些施配头相容。
流体装置方法

[发明专利]一种清洗晶片容器的方法-CN200910148668.X有效
发明人：安东尼·玛索丝·堤班;约翰·里斯塔;大卫·L·贺伯麦耳 -专利权人： 安堤格里斯公司
申请日： 2005-04-18 - 公布日： 2010-03-31 - 主分类号： B08B9/093 文献下载
摘要：一种清洗晶片容器的方法，包含下列步骤：选择晶片容器，包含：护孔环具有孔腔，该孔腔具有内表面，该护孔环是由弹性材料所构成，该孔腔界定流路；操作子组件，至少部分地容纳于该孔腔，并与该孔腔的内表面的弹性材料密封接合；该护孔环具有弹性材料，外露于该晶片容器外，该弹性材料提供座面；以清洗管口接合该弹性材料的该座面；利用自该管口的力压缩该弹性材料，藉此密封接合该护孔环与清洗源；及注入清洗气体于该晶片容器。
一种清洗晶片容器方法

[发明专利]盘载体系统-CN200580009859.8无效
发明人：迈克尔·L·约翰逊;卡洛斯·卡达维德;小罗纳德·E·托马斯;安德鲁·哈里斯 -专利权人： 安堤格里斯公司
申请日： 2005-03-28 - 公布日： 2010-02-03 - 主分类号： A47G19/08 文献下载
摘要：一种用于加工待制造成用于计算机存储装置硬盘的盘片的盒系统，该盒系统包括：一对端部；以及一对侧壁部，所述侧壁部位于所述端部间，用于界定盘接收区。侧壁部共同界定用于放置盘片的多个轴向设置的插槽。至少一个端部包括测试盘接收装置，该接收装置可以是插槽或盒。
载体系统

[发明专利]带底板的前开式基板容器-CN200480039005.X无效
发明人：约翰·布恩斯;马修·A·福勒;杰佛瑞·J·肯;马丁·L·佛比斯;马克·V·斯密斯 -专利权人： 安堤格里斯公司
申请日： 2004-11-08 - 公布日： 2009-05-27 - 主分类号： B65D85/30 文献下载
摘要：基板容器和底板连接在一起并具有通过例如连接装置的两部件间的螺纹连接以调节容器和底板间距离的装置。也提供了使容器通气的鸭嘴阀以及使震动引起的损害最小化的减震器。
底板前开式基板容器

[发明专利]具有密封门的晶片容器-CN200580019833.1有效
发明人：安东尼·玛索丝·堤班;约翰·里斯塔 -专利权人： 安堤格里斯公司
申请日： 2005-04-18 - 公布日： 2009-05-13 - 主分类号： B65D53/02 文献下载
摘要：一种晶片容器(20)，包括外罩部件(22)，其具有由门框形成的用于插入和移动晶片的开口，以及用于密封外罩部件并与门框相配的门(24)。连续弹性密封件(94)围绕边界内的门延伸。密封件位于接近门周边的密封表面上，可以部分地插入门上径向的凹槽(92)中。在横截面上，弹性密封件具有插入部分(96)以及通过桥部(98)联结的密封头(97)。密封头具有从桥部向门密封表面凸出的底部(108)，以及相对于桥部沿与底部总体上相对方向延伸的头部(106)。门框具有密封接合结构，这样，当门位于门框中时，弹性密封件的桥部与密封接合结构(112)接触，使桥部向密封表面轴向移动，导致密封头的头部沿径向转动并与密封接合结构(118)接触。该移动动作还能使密封头的底部与门(58)密封表面接触。
具有密封晶片容器

[发明专利]具有单体构造及导电性聚合物电极的磁性流量计-CN200680011065.X无效
发明人： D·L·韦尔斯;R·T·钦诺克 -专利权人： 安堤格里斯公司
申请日： 2006-02-02 - 公布日： 2008-05-28 - 主分类号： G01F1/58 文献下载
摘要：本发明揭示一种用于测量腐蚀性流动流的磁性流量计量装置及方法。所述装置利用单体构造，其中流动管道完全由绝缘的非导电材料构成，而无需使用金属外壳。电极中与所述流动流接触的部分是由能耐受腐蚀性介质的适宜的导电性聚合物材料制成。所述电极还具有模制于电极总成中的屏蔽件，以减小背景电噪声。本发明还利用能主动地驱动电极屏蔽电路(电极以及布线)的电性配置，以提供对电动势的更精确测量。
具有单体构造导电性聚合物电极磁性流量计

[发明专利]带隔离系统的光罩盒-CN200680013975.1有效
发明人： B·格雷格森;D·哈伯梅尔;S·森纳;B·怀斯曼;A·M·蒂本;J·斯特里克 -专利权人： 安堤格里斯公司
申请日： 2006-02-27 - 公布日： 2008-04-23 - 主分类号： B65D85/00 文献下载
摘要：本发明提供一种光罩容器，其配备有辅助容器，所述辅助容器容纳光罩并容纳于主容器中。所述辅助容器通过震动及振动隔离部件固持于主容器内，从而使所述辅助容器在主容器内具有多个运动自由度。所述光罩紧固于所述辅助容器内部，从而使从光罩容器传递至光罩的震动及振动得到实质衰减。
隔离系统光罩盒

[发明专利]带均压的衬底容器-CN200680014024.6无效
发明人： B·格雷格森;D·哈伯梅尔;S·森纳;B·怀斯曼;A·M·蒂本;J·斯特里克 -专利权人： 安堤格里斯公司
申请日： 2006-02-27 - 公布日： 2008-04-23 - 主分类号： B65G1/133 文献下载
摘要：本发明是一种用于容纳对微粒敏感的衬底的盒，用于在所述盒的外部与内部环境之间提供均压并用于使靠近所述对微粒敏感的衬底的内部气态流体流最小化。所述盒包含主盒、以及位于封盖中的隔膜，所述隔膜具有正常的未挠曲位置，所述隔膜可相对于所述正常的未挠曲位置发生挠曲。较佳地，所述盒包含设置于所述主盒中的辅助盒，以界定用于容纳所述对微粒敏感的衬底的第二外壳。所述盒可包含过滤器，所述过滤器附装至所述盒并在所述盒的外部与所述盒的内部之间提供气态流体连通。所述隔膜可响应于快速的压力变化，而所述过滤器可响应于较慢的压力变化并使所述隔膜能够返回至其正常的未挠曲位置。
带均压衬底容器

[发明专利]掩膜容器-CN200680014669.X无效
发明人： A·M·蒂本;C·安德森;B·威斯曼 -专利权人： 安堤格里斯公司
申请日： 2006-02-27 - 公布日： 2008-04-23 - 主分类号： B65D43/14 文献下载
摘要：本发明揭示一种具有弹簧闩锁的铰链式掩膜包装容器，其用于运输及存储衬底。该容器具有一基座与盖，其通过一可滑动的弹簧闩锁进行紧固，该可滑动的弹簧闩锁通过在盖被按下而碰到基座时沿轨道滑动而接纳该容器的盖，并随后通过滑回至其原始位置而对盖与基座进行紧固。该容器还采用通过重迭模塑工艺制成的活动铰链，从而在一第一模具中形成该铰链，并随后在一第二模具中形成该容器盖及基座，并将其接合至铰链上。
容器

[发明专利]晶片容器及其具有可抑制振动的锁扣装置的门-CN200480039748.7无效
发明人：约翰·布恩斯;马修·A·福勒;杰佛瑞·J·肯;马丁·L·佛比斯;马克·V·斯密斯 -专利权人： 安堤格里斯公司
申请日： 2004-11-08 - 公布日： 2008-03-12 - 主分类号： B65D85/30 文献下载
摘要：一容器内夹持有多个轴向排列、通常平行分隔排布的晶片，该容器包括具有顶部、底部、两个相对侧部、背部和开口前部的壳体部分。壳体内设有至少一个晶片支承件以及壳体底部上的运动连轴器。容器有一个门，用来封闭开口前部，该门包括门板及门板上的可操控锁扣装置。锁扣装置包括可选择旋转使该锁扣装置在第一适当位置与第二适当位置间移动的凸轮及至少一个振动抑制装置，用来抑制锁扣装置在第一和第二适当位置间移动时产生的振动。
晶片容器及其具有可抑制振动装置

[发明专利]具有辅助晶圆限制系统的晶圆容器-CN200580046699.4无效
发明人：约翰·布恩斯;马修·A·伏勒;杰弗瑞·J·金;马丁·L·福柏斯;马克·V·斯密斯 -专利权人： 安堤格里斯公司
申请日： 2005-11-23 - 公布日： 2008-02-06 - 主分类号： B65D85/48 文献下载
摘要：本发明揭示一种晶圆容器，其在实体震动事件期间对晶圆提供改良的限制。一具有多个切口的辅助晶圆限制结构夹置于容器门上的相对的晶圆限制部件之间。
具有辅助限制系统容器

[发明专利]光掩模容器-CN200580046201.4无效
发明人：迈克尔·L·约翰逊;巴里·L·劳沃斯 -专利权人： 安堤格里斯公司
申请日： 2005-11-25 - 公布日： 2008-01-30 - 主分类号： B65D85/48 文献下载
摘要：本发明提供一种适用于存储及运输光掩模的容器，其包括一容器本体、一封盖、第一及第二衬垫以及设置于在容器本体中所形成的狭槽中的左侧及右侧导槽。在一实施例中，通过旋转成型的单体式设计形成本发明的容器。然后将封盖从本体上分离而出，并对其进行机械加工，以提供一滑动的充分密封，并设置于其中。
光掩模容器

[发明专利]晶片承载器门-CN200480039772.0无效
发明人：约翰·布恩斯;马修·A·福勒;杰佛瑞·J·肯;马丁·L·佛比斯;马克·V·斯密斯 -专利权人： 安堤格里斯公司
申请日： 2004-11-08 - 公布日： 2008-01-23 - 主分类号： B65D85/90 文献下载
摘要：具有内门部分和外门部分的晶片承载器门。内门部分具有实质上连续的内表面。外门部分在至少一部分内门部分上方延伸。外门部分具有多个在其中形成的孔。外门部分与内门部分安装在一起。
晶片承载

[发明专利]具有微粒收集构造的晶片容器门板-CN200580019814.9无效
发明人：安东尼·玛索丝·堤班;约翰·里斯塔;大卫·L·贺伯麦耳 -专利权人： 安堤格里斯公司
申请日： 2005-04-18 - 公布日： 2007-08-08 - 主分类号： B65D45/16 文献下载
摘要：一种基材容器，其具有包围部，该包围部具有门板开口，以置入及移除基材于包围部的内部，并有门板底座其装配适足以选择性地关闭该开口，该门板底座包含第一面侧壁，其包含周边侧壁自内部延伸出去。该基材容器包含闩锁结构，其可操作地连接至该底座，该闩锁结构装配适足以可操作地固定该底座于该开口。该基材容器的该门板包含具有纹路的微粒捕捉区域，用以捕捉由该闩锁结构或其它地方所产生的微粒物质。
具有微粒收集构造晶片容器门板

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