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[发明专利]一种掩模版相位型缺陷识别方法、装置、设备及介质-CN202210356724.4在审
发明人：马赫;吴晓斌;韩晓泉;季艺雯;谭芳蕊;王魁波;沙鹏飞;李慧;罗艳;谢婉露;马翔宇;孙家政;户权 -专利权人：中国科学院微电子研究所
申请日： 2022-04-06 - 公布日： 2023-10-27 - 主分类号： G06T7/00 文献下载
摘要：本公开涉及一种掩模版相位型缺陷识别方法、装置、设备及介质，所述方法包括：采集掩模版相位型缺陷的光场反射幅值分布，将所述光场反射幅值分布转换为掩模缺陷的空间像样本数据；将所述空间像样本数据按照预设比例分为空间像样本数据训练集、空间像样本数据测试集；对所述空间像样本数据训练集进行缺陷类型标定；对所述缺陷类型标定的结果和所述空间像样本数据训练集的对应关系进行训练，以搭建缺陷识别模型；将所述空间像样本数据测试集输入所述缺陷识别模型得到缺陷识别结果。
一种模版相位缺陷识别方法装置设备介质

[发明专利]极紫外掩模的缺陷检测方法、装置、设备及介质-CN202210499810.0在审
发明人： 季艺雯;韩晓泉;吴晓斌;马赫;谢婉露;沙鹏飞;王魁波;罗艳;李慧;谭芳蕊 -专利权人：中国科学院微电子研究所
申请日： 2022-05-09 - 公布日： 2023-04-04 - 主分类号： G06T7/00 文献下载
摘要：本发明涉及极紫外光刻掩模技术领域，公开了一种极紫外掩模的缺陷检测方法、装置、设备及介质，包括：获取待检测极紫外掩模的目标空间像，其中目标空间像是离焦图像；确定目标空间像与模板图像的匹配度；模板图像是具有预设缺陷的极紫外掩模的空间像；根据匹配度，确定待检测极紫外掩模的缺陷检测结果。本发明可准确检测极紫外光刻掩模多层膜相位型缺陷形貌。
紫外缺陷检测方法装置设备介质

[发明专利]一种掩模缺陷检测方法及装置、计算机设备、存储介质-CN202111089147.9在审
发明人： 季艺雯;韩晓泉;吴晓斌;马赫;谢婉露;沙鹏飞;王魁波;罗艳;李慧 -专利权人：中国科学院微电子研究所
申请日： 2021-09-16 - 公布日： 2023-03-21 - 主分类号： G06T7/00 文献下载
摘要：本发明公开一种掩模缺陷检测方法及装置、计算机设备、存储介质，其中缺陷检测方法包括如下的步骤。获取待检测掩模的第一图像，对第一图像进行预处理，以得到第二图像，且第二图像的分辨率小于第一图像的分辨率；对第二图像进行感兴趣区域提取处理，以确定疑似缺陷区域；对疑似缺陷区域进行图像分割处理，以确定候选目标区域；然后根据候选目标区域的灰度值确定待检测掩模上存在的缺陷。本发明基于掩模空间像进行图像处理，无需训练大量数据，在所需数据量较小的前提下实现掩模缺陷检测和掩模缺陷位置确定。本发明具有检出率高、检测速度快、位置偏差小、检测精度高及鲁棒性好等突出优点。
一种缺陷检测方法装置计算机设备存储介质

[发明专利]一种波带片及其制备方法-CN202110956641.4在审
发明人：马翔宇;吴晓斌;沙鹏飞;谢婉露;韩晓泉;罗艳;王魁波;李慧;孙家政;季艺雯 -专利权人：中国科学院微电子研究所
申请日： 2021-08-19 - 公布日： 2021-12-28 - 主分类号： G21K1/06 文献下载
摘要：本公开提供一种波带片及其制备方法，所述波带片为相位型波带片，由一组同心圆环波带组成；其中，所述波带所用材料为Mo、MoSi2、MoO2、Ru、Ru2Si3、RuO2、ZrO2、ZrSi2、NbSi2中的任意一种或多种。本公开提供的波带片，将振幅型波带片中对极紫外波段完全不透过的材料替换为吸收较小的相位型材料，如Mo和Ru以及它们的硅化物，与现有的振幅型波带片相比，提高了衍射效率。
一种波带片及其制备方法

[发明专利]一种动态气体隔离装置以及极紫外光刻设备-CN202110663239.7在审
发明人：孙家政;王魁波;丁金滨;吴晓斌;马翔宇;季艺雯 -专利权人：中国科学院微电子研究所
申请日： 2021-06-15 - 公布日： 2021-09-21 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明提供一种动态气体隔离装置以及极紫外光刻设备，动态气体隔离装置包括隔离管道以及供气装置；隔离管道包括呈间隔设置的扩张管道段以及等截面管道段，扩张管道段的截面宽度沿远离等截面管道段的方向呈逐渐增大设置，等截面管道段的截面宽度沿远离扩张管道段的方向保持不变，扩张管道段与等截面管道段之间贯设有进气口；供气装置包括高纯气源和连接管道，连接管道的两端分别连通至进气口以及高纯气源；其中，所述扩张管道段连通至高清洁腔内，所述等截面管道段连通至次清洁腔内。等截面管道段内截面宽度不变，使得流入等截面管道段内的气流量增加，提高隔离管道的抑制效果，而无需加大气流量，且压强低，提高光束的透过率。
一种动态气体隔离装置以及紫外光刻设备