专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]一种超衍射纳米光学探针-CN201310048542.1无效
  • 罗先刚;赵泽宇;王长涛;王彦钦;陶兴;胡承刚;高平;黄成;姚纳;罗云飞 - 中国科学院光电技术研究所
  • 2013-02-07 - 2013-06-12 - G03F7/20
  • 本发明是一种超衍射纳米光学探针,在锥形介质芯的外表面镀一层金属外包层,并在锥形针尖的表面沉积多层膜,该多层膜由交替排列的介质膜和金属膜层组成,当光垂直入射到介质膜的表面时,在金属膜与介质膜的界面激发表面等离极化激元,表面等离子体激元沿界面传播到锥形针尖时起到局域增强的效果,并进一步通过锥形针尖表面多层膜的的光学各向异性,对局域增强的光斑进行修饰,压缩和透射增强。依据相同的原理,本发明还包含一种表面沉积该多层膜材料的蝴蝶结结构的设计,其特征在于在其下表面沉积上述多层膜材料。本发明中还可以通过调整多层膜中金属介质的厚度比来改变透射的光强,并且结构较简单,可以很方便的应用到光刻中,提高光刻分辨力。
  • 一种衍射纳米光学探针

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