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[发明专利]基板浮起输送装置-CN201780013592.2有效
发明人：滨川健史;奥田大辅;森俊裕;冈本贯志;伊藤俊文 -专利权人：东丽工程株式会社
申请日： 2017-03-09 - 公布日： 2023-02-28 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：提供基板浮起输送装置，能够避免装置结构的复杂化，能够不提高成本而将浮起的基板容易地保持为恒定高度。具体而言，基板浮起输送装置具有：浮起载台，其使基板浮起；基板保持单元，其对借助浮起载台而浮起的基板进行保持；以及输送驱动部，其在利用基板保持单元对基板进行了保持的状态下使基板保持单元移动，从而使基板在输送方向上移动，基板保持单元具有：多个吸附部，它们对基板进行吸附；以及保持框架部，其对这些所有的吸附部按照在输送方向上并列的状态进行安装，保持框架部借助升降部而设置于输送驱动部，并形成为：通过使升降部进行动作，从而保持框架部进行升降动作而使所有的吸附部相对于基板进行接近离开动作。
浮起输送装置

[发明专利]基板浮起输送装置-CN201610579895.8有效
发明人：滨川健史;奥田大辅;森俊裕;冈本贯志 -专利权人：东丽工程株式会社
申请日： 2016-07-21 - 公布日： 2022-01-04 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：提供基板浮起输送装置，即使对于宽度方向上尺寸大的宽幅基板也能够一边高精度地维持平面度一边进行输送。该基板浮起输送装置具有：浮起载台部，其在输送方向上延伸，使基板浮起于基板浮起面上；以及基板保持部，其对浮起于基板浮起面上的基板进行保持，基板保持部在对浮起于基板浮起面上的状态的基板进行保持的状态下沿着输送方向进行移动，由此基板在浮起于基板浮起面上的状态下被输送，在浮起载台部与基板保持部之间具有辅助浮起支承部，在对宽度方向尺寸比基准大小的基板大的宽幅基板进行输送的情况下，辅助浮起支承部使从基板浮起面在宽度方向上伸出的宽幅基板的伸出区域浮起，宽度方向与输送方向垂直。
浮起输送装置

[发明专利]贮氢合金及其制造方法-CN201410409393.1有效
发明人： 奥田大辅;金本学;挂谷忠司;儿玉充浩;张鹏;林振;杨金洪;钱文连;姜龙 -专利权人：株式会社杰士汤浅国际;厦门钨业股份有限公司
申请日： 2014-08-19 - 公布日： 2019-09-06 - 主分类号： C22C19/03 文献下载
摘要：本发明以提供微粉化被抑制的贮氢合金及该贮氢合金的制造方法为课题。本发明提供一种贮氢合金、及该贮氢合金的制造方法，就所述贮氢合金而言，通过将Cu‑Kα射线设为X射线源的X射线衍射测定，在2θ＝31°～33°的范围内出现的最大峰强度相对于在2θ＝41°～44°的范围内出现的最大峰强度之比为0.1以下(包括0)。
合金及其制造方法

[发明专利]电池-CN201310311099.2有效
发明人：金本学;奥田大辅;儿玉充浩;挂谷忠司;渡边荣人 -专利权人：株式会社杰士汤浅国际
申请日： 2013-07-23 - 公布日： 2019-04-12 - 主分类号： H01M10/30 文献下载
摘要：本发明具备：筒状的电池壳体；电极组，其具有正极板、负极板、及配置在它们之间的含有电解液的隔板，且配置在所述电池壳体的内部，在所述电极组中的所述电池壳体的轴向的任一方或两方，设有积存电解液的电解液积存空间，且在所述电极体与电池壳体之间设有由致密体构成的间隔件，由此，能够抑制电池壳体内的电极组的晃动，进而，能够提供一种低成本、高能量密度且长寿命的电池。
电池壳体电极组电解液积存电池隔板长寿命低成本电池壳电极体负极板高能量间隔件正极板致密体筒状轴向晃动配置体内

[发明专利]浮起搬送热处理装置-CN201310584960.2有效
发明人：宫岛勇也;奥田大辅 -专利权人：东丽工程株式会社
申请日： 2013-11-19 - 公布日： 2017-05-24 - 主分类号： B65G49/00 文献下载
摘要：提供能够在短时间内对加热后的基板进行冷却的浮起搬送热处理装置。浮起搬送热处理装置（1）排列有多个浮起搬送单元，各所述浮起搬送单元依次在对基板进行超声波振动浮起的同时进行热处理并进行搬送，该浮起搬送单元具有振动板部，其通过超声波振动使基板浮起；超声波产生部，其对振动板部赋予超声波振动；搬送部，其支撑基板的端部并在与基板的浮起方向垂直的方向上搬送基板，该浮起搬送热处理装置具有加热区域（2）和冷却区域（3），在该加热区域中，浮起搬送单元具有对该浮起搬送单元的振动板部进行加热的加热器部，在该冷却区域中，浮起搬送单元不具有加热器部。
浮起热处理装置

[发明专利]贮氢合金、电极、镍氢蓄电池及贮氢合金的制造方法-CN201310045698.4有效
发明人：金本学;奥田大辅;儿玉充浩 -专利权人：株式会社杰士汤浅国际
申请日： 2013-02-05 - 公布日： 2017-03-01 - 主分类号： H01M4/38 文献下载
摘要：本发明提供耐腐蚀性优异的贮氢合金、使用其而成的电极及镍氢蓄电池、以及该贮氢合金的制造方法。一种贮氢合金，其含有La、Ni、及、Y或重稀土元素且具有至少二个相，第一相具有通式R1aR2bR3cNidR4e(式中，R1是La作为必须成分的至少1种以上的元素，R2是选自Y及重稀土元素中的至少1种的元素，R3是Ca及/或Mg，R4是选自Co、Mn及Al中的至少1种的元素，a、b、c、d及e是满足a+b+c＝1、0≤b≤0.3、0≤c≤0.4、3.0＜d+e＜4.0、0≤e≤1的数值。)所示的组成，Y或重稀土元素的浓度第二相比所述第一相高，且分散于所述第一相中。
合金电极蓄电池制造方法

[发明专利]加热干燥装置-CN201610144602.3在审
发明人：滨川健史;奥田大辅;冈本贯志 -专利权人：东丽工程株式会社
申请日： 2016-03-14 - 公布日： 2016-11-02 - 主分类号： F26B9/06 文献下载
摘要：本发明提供一种加热干燥装置，该装置能够抑制附着在腔室部内壁的升华物等混入到涂布膜中，从而能够减少腔室部的清洗作业的频率。该装置包括：腔室部，用于容纳基板；加热器部，用于加热形成在基板上的涂布膜；排气部，用于排出腔室部内的气体，该加热干燥装置在排出腔室部内气体的同时，对放置在腔室部内的基板上的涂布膜进行加热并干燥，其中，在与所放置的基板相对的对置壁上、至少与整个基板表面相对的区域中，设置有用来在其表面形成空气层的多孔质部。
加热干燥装置

[发明专利]涂布装置及涂布方法-CN201610144177.8在审
发明人： 奥田大辅;池森一博 -专利权人：东丽工程株式会社
申请日： 2016-03-14 - 公布日： 2016-10-26 - 主分类号： B05C5/02 文献下载
摘要：本发明提供一种涂布装置及涂布方法，通过所述涂布装置及涂布方法进行混合时，能够使容易凝集的两种液不发生凝集地混合，并将其涂布于基板而形成薄膜。该涂布装置(1)包括：管道(7a)，供给涂布液(a)；管道(7b)，供给涂布液(b)；混合装置(4)，对来自管道(7a)和管道(7b)的涂布液(a)和涂布液(b)进行混合；过滤装置(5)，对在混合装置(4)生成的混合涂布液(c)进行过滤；接口管(3)，其中形成有用于排出被混合和过滤的混合涂布液(c)的狭缝，通过从狭缝排出混合涂布液(c)来将混合涂布液(c)涂布在基板(W)上，从而在基板(W)上形成薄膜。
装置方法

[发明专利]加热干燥装置-CN201610171873.8在审
发明人：滨川健史;奥田大辅;冈本贯志 -专利权人：东丽工程株式会社
申请日： 2016-03-24 - 公布日： 2016-10-12 - 主分类号： B05D3/02 文献下载
摘要：提供加热干燥装置，对于搬送路径上的基板，也能够以抑制形成在基板上的涂布膜产生干燥不匀的方式进行干燥。该加热干燥装置在一边将基板超声波振动上浮一边进行搬送的搬送装置的搬送路径上对基板进行加热干燥，其具有：加热器部，其对基板上的涂布膜进行加热；腔室盖部，其通过与振动板抵接而形成腔室部，并在腔室部内将基板保持为密封状态；以及排气部，其对腔室部内进行排气，在腔室盖部中设置有顶板，在腔室盖部与振动板抵接了的状态下，该顶板与振动板上的基板接近而与基板整个面相对，排气部构成为一边通过从排气口对腔室部内进行排气而将腔室部内形成为减压状态，一边通过使加热器部进行加热而使基板上的涂布膜干燥。
加热干燥装置

[发明专利]透明导电膜的形成方法和薄膜加热干燥装置-CN201510079502.2在审
发明人：内潟外茂夫;山下元气;奥田大辅 -专利权人：东丽工程株式会社
申请日： 2015-02-13 - 公布日： 2015-08-19 - 主分类号： H01B5/14 文献下载
摘要：本发明提供透明导电膜的形成方法和薄膜加热干燥装置，提供一种在利用PEDOT/PSS形成透明导电膜时能够提高导电性的透明导电膜的形成方法和透明导电膜(薄膜)干燥装置。所述透明导电膜的形成方法为：通过将使作为溶剂的水中含有包含聚乙撑二氧噻吩(PEDOT)和聚苯乙烯磺酸(PSS)的导电性高分子材料所得到的涂布材料涂布至被处理基材上而形成涂布膜，在腔室内对该涂布膜进行加热干燥处理，从而使上述涂布膜干燥并在被处理基材上形成透明导电膜，该形成方法中，上述加热干燥处理的构成如下：在以上述溶剂的沸点以上的干燥温度进行保持的同时，在腔室内进行了抑制上述涂布膜的溶剂的蒸发的干燥延迟处理之后再进行促进溶剂的蒸发的干燥促进处理。
透明导电形成方法薄膜加热干燥装置

[发明专利]镍氢蓄电池-CN201310447163.X在审
发明人： 奥田大辅;金本学;挂谷忠司;儿玉充浩 -专利权人：株式会社杰士汤浅国际
申请日： 2013-09-25 - 公布日： 2014-04-02 - 主分类号： H01M10/30 文献下载
摘要：本发明提供在含有大量NaOH的电解液中寿命长的镍氢蓄电池。本发明的镍氢蓄电池具备含有氢吸藏合金的负极和含有2.0M以上的NaOH的电解液，所述氢吸藏合金具有CaCu5型的晶体结构且至少含有稀土类元素和Ni元素，所述稀土类元素的一部分被Y元素置换。
蓄电池

[发明专利]减压干燥装置和减压干燥方法-CN201310046137.6有效
发明人：冈本俊一;内泻外茂夫;奥田大辅 -专利权人：东丽工程株式会社
申请日： 2013-02-05 - 公布日： 2013-08-14 - 主分类号： B05D3/00 文献下载
摘要：本发明提供一种减压干燥装置和减压干燥方法，能够对基板上的涂布液进行减压干燥的同时减少水分的混入而进行溶剂的回收，该减压干燥装置（1）包括：腔室部（2），收纳基板；排气装置（3），排出所述腔室部内的气体；回收装置（4），冷却气体，并回收冷却后产生的液化物；第一配管（5），连接腔室部和排气装置，途中经由回收装置；其中，对腔室部内部的气体通过第一配管由排气装置排出而进行减压，由此将涂布在基板（W）上的涂布液进行减压干燥，通过减压干燥从涂布液（R）挥发的溶剂在所述回收装置中通过冷却被液化后回收；该装置还设置有第二配管（6），连接腔室部和排气装置，途中不经由回收装置。
减压干燥装置方法

[发明专利]悬浮传送加热装置-CN201210113664.X有效
发明人：宫岛勇也;奥田大辅;冈本俊一;内泻外茂夫 -专利权人：东丽工程株式会社
申请日： 2012-04-18 - 公布日： 2012-12-05 - 主分类号： B05C13/02 文献下载
摘要：本发明提供一种悬浮传送加热装置，能够避免在涂布膜上产生干燥斑地对基板进行加热的同时进行传送，该悬浮传送加热装置包括：振动板部(2)，用于使基板超声波振动悬浮；加热器部(3)，用于加热所述振动板部；超声波产生部(4)，用于向所述振动板部提供超声波振动；传送部(5)，支撑基板的端部，沿与悬浮方向垂直的方向传送基板，其中，加热器部(3)在振动板部(2)的使基板悬浮的面的背面侧上与振动板部(2)形成预定间隔而设置，与基板的传送方向垂直相交的方向的振动板部(2)的尺寸大于同方向的基板(W)的尺寸，通过由加热器(3)部对振动板部(2)进行加热，悬浮传送的基板(W)的整个面被振动板部(2)加热。
悬浮传送加热装置

[发明专利]基板输送装置-CN201110277138.2有效
发明人：内泻外茂夫;奥田大辅;冈本俊一;宫岛勇也;姬野贵正 -专利权人：东丽工程株式会社
申请日： 2011-09-19 - 公布日： 2012-05-02 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本发明涉及一种基板输送装置，该基板输送装置能够抑制基板上的涂布膜上发生干燥不匀而输送基板，另外，即使装置的制造和组装误差大时也能够抑制颗粒的发生。该基板输送装置将从载物台的表面浮起的基板用基板导向件边引导边输送，基板导向件包括：基板导向件主体，通过与基板侧面抵接来约束基板，并且能够朝向与载物台表面呈垂直的方向位移；浮起单元，用于将基板导向件主体从载物台表面浮起；偏向装置，用于使基板导向件主体偏向于载物台表面侧，其中，所述基板导向件主体包括与基板侧面抵接的基板抵接部，该基板抵接部的高度位置通过浮起单元和偏向装置保持在从载物台表面浮起的基板的高度位置上。
输送装置

[发明专利]减压干燥装置-CN201010119055.6有效
发明人： 奥田大辅 -专利权人：东丽工程株式会社
申请日： 2010-03-08 - 公布日： 2010-09-15 - 主分类号： B05D3/00 文献下载
摘要：本发明提供一种减压干燥装置，该装置能够抑制形成于基板涂布膜上的干燥不匀。该减压干燥装置包括：容纳部，用于容纳基板；基板保持部，用于将基板保持在所述容纳部的规定位置上；排气口，设置在与由所述基板保持部保持的基板中心位置相对而置的位置上，用来排出所述容纳部的大气；环状吸引口，其具有沿着由所述基板保持部保持的基板的外周边开口的开口部，且沿着所述基板的外周边以环状连通而形成；其中，通过所述排气口与环状吸引口的连通连接，在所述排气口产生吸引力时，容纳部的大气通过所述开口部而从排气口排出。
减压干燥装置

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