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- [发明专利]一种超精扫描镀膜及定位光刻设备-CN201310697462.9有效
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伍鹏
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嘉兴华嶺机电设备有限公司
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2013-12-17
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2017-01-04
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G03F7/20
- 一种超精扫描镀膜及定位光刻设备,属于高精度自动化刻蚀设备技术领域,其包括减振平台、高精运动平台、化学涂胶或光刻处理盒、冷却设备及空压过滤设备集成体和CNC数控装置。减振平台消除了设备固有的振动频率并隔绝环境的影响;高精运动平台采用大推力直线电机驱动,直线电机的高精连续扫描运动和超精定位运动,为化学涂胶或光刻处理盒的均匀扫描镀膜和超精定位光刻提供支持;CNC数控装置具备数字电流伺服控制功能,实现高精运动平台与化学涂胶或光刻处理盒在同一时钟信号下工作。该设备兼具镀膜和光刻功能,提高了大面积光栅制造的生产效率,降低了光栅制造设备的成本。
- 一种扫描镀膜定位光刻设备
- [实用新型]一种大尺寸光栅制造设备-CN201320837321.8有效
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伍鹏
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嘉兴华嶺机电设备有限公司
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2013-12-17
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2014-06-04
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G02B5/18
- 一种大尺寸光栅制造设备,属于高精度自动化刻蚀设备技术领域。X轴直线电机驱动被加工工件以极低速连续运动或纳米级定位运行,Z轴直线电机驱动化学涂胶或光刻处理盒运动,调节化学涂胶或光刻处理盒与被加工工件之间的距离。整机振动频率在10Hz以下,消除了设备自身振动及环境的振动噪声影响。被加工工件以极低速平稳运行时,CNC数控装置控制化学涂胶或光刻处理盒进行高质量连续均匀地镀膜。直线电机驱动被加工工件以纳米级定位精度极低速运行时,CNC数控装置控制化学涂胶或光刻蚀处理盒进行激光直写式或小尺寸激光干涉式刻蚀工作,在被加工工件的加工面刻蚀出高质量高密度的周期性纳米沟槽。本实用新型结构简单,提高了大尺寸微纳米结构的制造效率。
- 一种尺寸光栅制造设备
- [实用新型]一种高精度高效液晶平板安装设备-CN201320160749.3有效
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伍鹏
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嘉兴华嶺机电设备有限公司
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2013-04-02
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2013-11-20
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B23P21/00
- 一种高精度高效液晶平板安装设备,属高精度自动化检测及对位安装技术领域。数个吸盘与Y轴平台连接,Y轴平台放置于X轴平台上,X轴平台和Y轴平台均由U型直线电机驱动,吸盘在U型直线电机的带动下具有X轴和Y轴上的两个自由度。吸盘在Z轴方向的位移由气动滑台带动,摆台旋转实现吸盘绕Y轴的角度调整。直线电机、摆台、气动滑台、工件、CCD摄像头及工控机构成闭环反馈系统。工件台随力矩转台旋转,实现工件台及下工件角度方位的调整。吸盘及其吸合的上工件的四自由度可定位和调整,工件台上的下工件角度方位可以准确调整。该设备可以将上工件与下工件进行高精度对位安装,有效提高了液晶平板类电子产品安装设备的对位安装精度和工作效率。
- 一种高精度高效液晶平板安装设备
- [发明专利]一种直驱节能在线检测及高效装配设备-CN201310112831.3有效
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伍鹏
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嘉兴华嶺机电设备有限公司
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2013-04-02
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2013-07-17
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B23P19/04
- 一种直驱节能在线检测及高效装配设备,属高精度自动化检测设备技术领域。盘经L形座与Y轴平台连接,Y轴平台放置于X轴平台上,X轴平台和Y轴平台均由U型直线电机驱动,实现吸盘在X轴和Y轴方向上的两个位移自由度,吸盘在Z轴方向的位移由气动滑台带动,摆台旋转实现吸盘绕Y轴的角度调整。直线电机、摆台、气动滑台、工件、CCD摄像头及工控机组成位置闭环反馈系统。工件台随着力矩转台的旋转,实现工件台角度方位的准确调整。本发明实现了与吸盘吸合的上工件四自由度的精确定位和调整,以及工件台上下工件角度方位根据需要准确调整,有效提高了能源利用率,适合于高精度、高响应、自动化检测装配的场合。
- 一种节能在线检测高效装配设备
- [发明专利]伺服电动机数字控制装置-CN200610137718.0无效
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伍鹏;鲁继超;毛昌明
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嘉兴华嶺机电设备有限公司
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2006-10-27
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2007-03-21
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G05B19/18
- 本发明为一种能实现高于电动机编码器或光栅尺分辨率的位置定位控制的伺服电动机数字控制装置,并且能保证运动速度更加匀整光滑,电动机的推力波动更小。电动机控制装置(1)由指令装置(2)、指令器(3)、位置补偿器(4)、速度补偿器(5)、电流补偿器(6)、伺服器(7)及前馈补偿器(8)构成。指令器(3)将目标变位数据Sd变换为脉冲数Sr,位置检测器(12)检测出实际位置,如果指令位置大于实际位置,则将此位置偏差Sr加上0.4倍的编码器或光栅尺的最小检测单位;如果指令位置小于实际位置,则将此位置偏差Sr减去伺服电动机编码器或光栅尺的分辨率单位的0.6倍,然后把该加减法运算后得到的位置偏差Sr′输出到位置补偿器(4),最终确定向输出到伺服电动机的控制电流大小的控制装置。
- 伺服电动机数字控制装置
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