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- [发明专利]智能传送腔取放片调度系统与方法-CN202310940081.2在审
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孙昊强;史常龙;徐家庆;唐丽娜
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大连皓宇电子科技有限公司
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2023-07-28
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2023-10-24
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H01L21/677
- 本发明公开了一种智能传送腔取放片调度系统与方法,其系统包括多个Loadlock、第一真空机械臂、第二真空机械臂、Transfer存储平台、大气机械臂,所述大气机械臂一侧为多个晶圆盒,另一侧两端设有交互位置,每个交互位置上罗列有多个独立设置的Loadlock,在交互位置之间设有第一真空机械臂,所述第一真空机械臂与第二真空机械臂之间为Transfer存储平台,在第二真空机械臂外周设有多个工艺腔。每个Loadlock设有对应顺序编号,所述Loadlock为上下双层结构。多个独立的LoadLock不区分出入腔,每个LoadLock都有出入的可能性,大气机械臂、第一真空机械臂、第二真空机械臂每次可以做一套取片、放片动作;并且三个机械臂独立同时运行,互不影响,有一个良好的循环减少等待的情况发生,避免资源浪费。
- 智能传送腔取放片调度系统方法
- [发明专利]一种对高度数据进行处理的方法-CN201711418045.0有效
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田雨农;苍柏;唐丽娜
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大连楼兰科技股份有限公司
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2017-12-25
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2023-10-20
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G01S7/41
- 一种对高度数据进行处理的方法,包括:a、已知初始时刻的状态值和此状态对应的协方差值;b、根据状态转移矩阵,得到下一时刻k的状态预测值;c、根据测量矩阵、下一时刻的状态预测值和下一时刻k的测量值,计算得出当前时刻的测量余量;d、根据状态转移模型的噪声协方差,计算下一时刻的预测值对应的协方差;e、根据测量模型中的噪声方差以及上一步得到的预测值对应的协方差,计算得出测量余量协方差,进而得出增益矩阵;f、根据上一步的增益矩阵,得出下一时刻k的估计值和对应的协方差;g、根据上一步得出的数据,重复步骤a‑f进行迭代计算。本申请使无人机飞控系统在高度解算时进行数据融合算法时提供一个稳定性强、精度高一个数据源。
- 一种高度数据进行处理方法
- [发明专利]一种对晶圆位置进行校准的装置及方法-CN202310886387.4在审
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杜永超;史常龙;徐家庆;唐丽娜
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大连皓宇电子科技有限公司
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2023-07-19
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2023-10-10
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H01L21/67
- 本发明公开了一种对晶圆位置进行校准的装置及方法,涉及半导体制造技术领域;其装置包括设置在PM工艺腔体入口处的第一对对射传感器,所述第一对对射传感器包括位于PM工艺腔体顶部的上对射传感器和位于PM工艺腔体底部的下对射传感器,所述上对射传感器与下对射传感器对称设置,通过VTM机械手传进PM工艺腔体的晶圆从上对射传感器与下对射传感器之间穿过。所述对射传感器用于获取基准数据和实际数据,通过对比基准数据与实际数据得到横向误差和纵向误差,进而通过VTM机械手进行补偿。本发明只需利用对射传感器和设备本身的VTM机械手进行定位矫正,引入的外部误差对精度影响极小,计算误差由于耗费算力极低且兼容性好可以布置在PLC等现成硬件中。
- 一种位置进行校准装置方法
- [发明专利]一种腔道供药装置-CN202311087662.2在审
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唐丽娜;毛孝容;兰星
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四川省医学科学院·四川省人民医院
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2023-08-28
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2023-09-29
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A61M31/00
- 本发明涉及医疗用品技术领域,设计一种腔道供药装置,包括管筒和顶杆,管筒包括相互连接的管身和筒头,管身的内侧为可以容纳顶杆的第一空腔,顶杆的一端通过第一空腔与筒头抵接,另一端施加力将筒头以及管身推入腔道内,药敷层环绕管身的外侧设置且可吸收药液,管筒上设置有多个第一通孔,药液通过第一通孔浸入药敷层后与患者腔道贴合,药敷层可以与患者腔道进行长时间的接触,药液也就长时间的作用于患处,药敷层环绕管身,面积较大,将药液均匀涂覆在腔道侧壁,解决腔道受到刺激导致腔道的过度收缩,从而导致药物无法准确到达目标部位,或者药物会被收缩的腔道挤出的问题,同时解决了药物难以在腔道内维持,导致药物浪费,疗效不理想的问题。
- 一种腔道装置
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