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- [发明专利]一种用于微纳加工的二维超声振动平台-CN201910094757.4有效
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卢康康;田延岭;王福军;周重凯;张大卫
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天津大学
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2019-01-31
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2020-08-14
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B06B1/06
- 一种用于微纳加工的二维超声振动平台，包括矩形环状基体，矩形框基体中空部分的中心位置设置有运动平台，矩形框基体的四个边框的内侧边对应运动平台分别设置有一个压电陶瓷驱动器，每一个压电陶瓷驱动器与运动平台之间都设置有一个由横观各向同性材料构成的解耦垫片，矩形框基体的四个边框上对应压电陶瓷驱动器分别设置有螺纹连接且贯穿边框的预紧螺栓，预紧螺栓用于对运动平台、解耦垫片和压电陶瓷驱动器之间的接触连接进行调节性的预紧。本发明整个系统具有足够的刚度和稳定性；X/Y方向上的超声振动分别由各自方向上的两个压电陶瓷共同控制，保证振动的精度和重复性；使用特殊材料对X/Y方向的振动进行解耦，减小超声振动在非工作方向上的耦合误差。
- 一种用于加工二维超声振动平台
- [发明专利]一种平面超声振动辅助加工平台-CN201910094727.3有效
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卢康康;田延岭;王福军;周重凯;张大卫
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天津大学
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2019-01-31
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2020-08-14
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B06B1/06
- 一种平面超声振动辅助加工平台，包括矩形基体，所述矩形框基体的中部形成有矩形凹槽，所述矩形凹槽中心通过一个由横观各向同性材料构成的解耦支柱设置有运动平台，所述矩形基体的四个内侧边与所述运动平台之间分别设置有一个压电陶瓷驱动器，每个所述压电陶瓷驱动器的平面端与所对应的矩形基体的内侧边为面接触连接，每个所述压电陶瓷驱动器的弧面端与所述运动平台形成点连接，所述矩形基体的四个边上对应所述压电陶瓷驱动器分别设置有螺纹连接且贯穿所述边的预紧螺栓，所述的预紧螺栓用于对运动平台和压电陶瓷驱动器之间的接触连接进行调节性的预紧。本发明使整个系统具有足够的刚度和稳定性，振幅可控、频率可控的高精度、高可靠性的超声振动辅助功能。
- 一种平面超声振动辅助加工平台
- [发明专利]一种三维解耦超声纳米振动台-CN201910094734.3有效
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田延岭;卢康康;王福军;周重凯;马越;张大卫
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天津大学
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2019-01-31
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2020-07-24
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B06B1/06
- 一种三维解耦超声纳米振动台，包括基座，所述的基座上设置有超声振动台，所述超声振动台的底部与所述的基座为镶嵌式连接，所述超声振动台内沿超声振动台的X、Y方向分别设置有用于对超声振动台的主振动台进行X、Y方向超声振动驱动的第一超声振动驱动机构和第二超声振动驱动机构，所述超声振动台的底端沿超声振动台的Z方向设置有用于对超声振动台的主振动台进行Z方向超声振动驱动的第三超声振动驱动机构，所述第一超声振动驱动机构、第二超声振动驱动机构和第三超声振动驱动机构之间为相互垂直设置。本发明超声振动台采用整体设计，结构简单、紧凑，能够有效提高超声振动台的一阶固有频率，从而保证超声纳米振动平台辅助加工的可调频率范围。
- 一种三维超声纳米振动
- [发明专利]单驱动式纯转动微定位平台-CN201710271015.5有效
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郭志永;田延岭;周重凯;张大卫
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天津大学
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2017-04-24
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2019-09-20
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G12B5/00
- 本发明公开了一种单驱动式纯转动微定位平台，包括主动驱动机构和被动顺从机构；主动驱动机构包括基座Ⅰ和导向机构，导向机构由压电陶瓷驱动，导向机构的两端各与一垂直换向放大机构连接，垂直换向放大机构通过柔性连接块与杠杆放大机构Ⅰ连接，在杠杆放大机构Ⅰ的输出端设有运动连接块Ⅰ；被动顺从机构包括连接在基座Ⅰ上方的基座Ⅱ，在基座Ⅱ中有运动平台，运动平台通过上下两个加强板簧与基座Ⅱ连接，运动平台的上下两端各设有一输入端，输入端与运动传递柔性杆的输出端连接，运动传递柔性杆的输入端与一个杠杆放大机构Ⅱ的输出端连接，在杠杆放大机构Ⅱ的输入端设有与运动连接块Ⅰ连接的运动连接块Ⅱ。本发明控制简便，且具有较高的转动精度。
- 驱动转动定位平台
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