专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]晶圆清洗方法及装置-CN200710044635.1有效
  • 周海锋;齐宝玉;黄仁东 - 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
  • 2007-08-05 - 2009-02-04 - H01L21/00
  • 本发明公开了一种晶圆清洗装置,包括,清洗槽;连通清洗槽的进液装置;连通清洗槽的排液装置;用于探测清洗槽中晶圆并在探测到晶圆时发出晶圆探测信号的探测装置;连通探测装置,用于控制清洗槽、进液装置以及排液装置进行晶圆清洗的清洗控制系统以及用于根据晶圆探测信号监控晶圆处于清洗槽中的时间,并在晶圆处于清洗槽中的时间超过警戒时间时指示排液装置排出清洗液的监控装置。本发明还公开了一种晶圆清洗方法。本发明晶圆清洗方法及装置由于晶圆长时间滞留于清洗液中的问题而避免损坏晶圆。
  • 清洗方法装置
  • [实用新型]研磨装置-CN200720073815.8有效
  • 周海锋;高喜峰;王大帮;蔡宗成 - 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
  • 2007-08-20 - 2008-09-17 - B24B37/04
  • 本实用新型公开了一种研磨装置,涉及半导体领域的制造设备。该研磨装置包括研磨头、控制器以及连接研磨头和控制器的孔轴,孔轴具有气体流通管道,控制器控制孔轴内的气体在气体流通管道内的流动状况,该研磨装置在孔轴上安装有过滤器,其可将研磨头产生的碎片过滤掉。而且该过滤器可拆卸地安装在孔轴上。与现有技术相比,本实用新型研磨装置通过在孔轴上设置过滤器将产生的碎片过滤掉,有效保护控制器不受损坏,过滤器比控制器成本低,更换过滤器比更换控制器,可有效降低了生产成本。
  • 研磨装置
  • [实用新型]一种面板固定机构-CN200720071948.1有效
  • 周海锋;齐宝玉;高喜峰;夏冬军 - 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
  • 2007-06-29 - 2008-07-09 - H01L21/00
  • 本实用新型提供了一种面板固定机构,用于将面板固定在具有对应凹槽的设备机壳上,该凹槽中部具有开口。现有的面板固定机构设置在面板上易造成面板的疲劳损坏。本实用新型的固定机构包括设置在设备机壳上且临近凹槽的卡连件、设置在设备机壳外且与卡连件相连接并可沿其转动以固定或松开该面板的挡固件和将挡固件锁固在卡连件上的锁固件;该卡连件具有紧贴设备机壳内壁的底座和垂设在该底座中部的第一连杆;该第一连杆穿设在设备机壳上对应其设置的第一通孔中,且其在恰露出设备机壳的位置上设置有第二通孔;该挡固件具有依次连接的挡固块、连接柄和第二连杆,第二连杆穿设在第二通孔中,连接柄紧贴第一连杆。本实用新型可大大提高面板的使用寿命。
  • 一种面板固定机构
  • [实用新型]一种多方位旋转定位阀-CN200620048876.4无效
  • 孔建军;吴根兴;张龙;周海锋 - 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
  • 2006-12-13 - 2008-02-06 - B24B29/00
  • 本实用新型提供一种多方位旋转定位阀。现有的化学机械研磨设备的喷头固定结构存在螺丝易松脱使喷头移位,以及日常维护不方便等问题。本实用新型的多方位旋转定位阀,包括底体和把手,所述座体上表面开设有数个凹槽,且座体上还设有一盖体,盖体通过一固定螺丝连接至座体,并可以固定螺丝为轴相对座体转动;所述把手的一端固定在盖体上,一定位螺丝穿设于把手和盖体中;所述定位销钉包括活动销棒和弹簧,弹簧的上端抵顶于把手的下表面,弹簧的下端固定在活动销棒上,且活动销棒的下端部的大小与凹槽的大小相匹配。本实用新型的旋转定位阀不仅能旋转定位于多个方位,而且具有封闭的外部结构,可防止定位阀内部机构与晶圆加工环境之间的相互污染。
  • 一种多方位旋转定位

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