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- [发明专利]一种基于温度可监控的磁悬浮抛光装置-CN201310347476.8有效
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朱睿;吴沿鹏;郭隐彪;叶卉
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厦门大学
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2013-08-09
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2013-12-04
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B24B37/04
- 一种基于温度可监控的磁悬浮抛光装置，涉及一种化学机械抛光设备。设有底座、防水罩、抛光盘、电热丝、导电环、温控器、计算机、弹力电磁条圈、接收磁条圈、止浮轨、工件夹具、温度传感器、无线接收模块和抛光液添加装置；防水罩绕设于底座上端周边；抛光盘固于防水罩上端，底部设有涡状凹槽；电热丝嵌于涡状凹槽内，电热丝与温控器电连接，温控器与计算机连接，弹力电磁条圈固于底座上表面，接收磁条圈固于抛光盘底面，弹力电磁条圈与接收磁条圈的磁性相同，止浮轨固于底座上且压住弹力电磁条圈，传感器设于夹具周边，传感器上设有无线传输模块，无线传输模块与设于计算机上的无线接收模块无线信号连接，抛光液添加装置设于抛光盘侧边上方。
- 一种基于温度监控磁悬浮抛光装置
- [发明专利]一种抛光区域可调式抛光装置-CN201310314412.8有效
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杨炜;叶卉;吴沿鹏;郭隐彪
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厦门大学
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2013-07-24
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2013-10-02
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B24B39/06
- 一种抛光区域可调式抛光装置，涉及抛光装置。设有工作台、夹具、抛光盘自转机构、抛光盘倾斜机构；所述工作台设有底座、X轴承载板、X轴导轨、X轴滑块、X轴直线电机、Y轴承载板、Y轴导轨、Y轴滑块、Y轴直线电机、Z轴承载板、Z轴导轨、Z轴滑块、Z轴直线电机和竖直板；所述抛光盘自转机构设有抛光盘、端面抛光垫、圆面抛光垫、伺服电机及电机座；所述抛光盘倾斜机构设有一个旋转圆盘、弧形齿条、齿轮、伺服电机和电机座。可根据工件不同尺寸和形貌调整抛光位置和抛光方式，实现工件局部抛光、全局抛光和角度抛光，调整灵活，方便可行。
- 一种抛光区域调式装置
- [发明专利]一种光学元件定量刻蚀及清洗装置-CN201310237071.9有效
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郭隐彪;叶卉;杨炜;胡陈林;吴沿鹏
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厦门大学
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2013-06-15
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2013-08-28
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H01L21/02
- 一种光学元件定量刻蚀及清洗装置，涉及一种刻蚀及清洗装置。设有第一直线电机、第二直线电机、支架、底座、刻蚀容器、清洗容器、机械手、数据显示器、超声波传感器、微型水泵、过滤器、喷头、微控制器和超声波发射装置；第一直线电机、第二直线电机、机械手和数据显示器均安装在支架上，支架设于底座上，刻蚀容器和清洗容器置于支架正下方且呈左右设置，超声波传感器安装在刻蚀容器的液仓底部，超声波发射装置安装在清洗容器的液仓底部，清洗容器中安置微型水泵、过滤器和喷头，微型水泵、过滤器和喷头串联连通，超声波传感器信号输出端接微控制器信号输入端，微控制器输出端分别接第一直线电机和第二直线电机，数据显示器与微控制器电连接。
- 一种光学元件定量刻蚀清洗装置
- [发明专利]一种抛光液添加装置-CN201310025371.0无效
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郭隐彪;吴沿鹏;杨炜;梁恺;叶卉
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厦门大学
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2013-01-23
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2013-04-17
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B24B57/02
- 一种抛光液添加装置，涉及抛光设备。提供一种能够提高抛光液的利用效率，减少花费及提高抛光效果的抛光液添加装置。包括工件夹具连接座、工件夹具、上端盖、下端盖、箱体和电子节流阀；夹具连接座外接抛光机转轴，夹具连接座与工件夹具上端螺接，工件夹具内设有引流槽，引流槽进口露于工件夹具外表面，引流槽出口设有至少3个，各引流槽出口分布在工件夹具底表面；箱体套在工件夹具外部，上端盖和下端盖分别固于箱体的上端面和下端面，箱体壁上设有通液孔，电子节流阀设于箱体外壁上，电子节流阀出液口与箱体壁上的通液孔及引流槽连通，工件夹具通过轴承与箱体转动配合。
- 一种抛光添加装置
- [发明专利]一种精密气囊抛光工具系统-CN201210568640.3有效
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郭隐彪;王春锦;王振忠;潘日;吴沿鹏
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厦门大学
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2012-12-24
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2013-03-20
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B24B29/00
- 一种精密气囊抛光工具系统，涉及抛光工具。设有抛光头、液压胀套、动平衡固定盘、动平衡滑环、下端盖、通气孔软管接头、主轴箱体、摆臂、上端盖、电机、螺旋水套、主轴、套筒、电机编码器、电机罩和轴承；抛光头固定于主轴末端，主轴经轴承和上下端盖定位于主轴箱体中，主轴箱体套于摆臂上，通气孔软管接头穿过摆臂与主轴箱体连通；动平衡固定盘固定于摆臂底部，动平衡滑环固定在主轴端部的轴肩上，电机动子固定于主轴上，螺旋水套固定于电机定子上并置于电机动子外部；电机编码器固定于主轴顶端，套筒套于螺旋水套上部，电机罩压紧套筒并固定于电机外壳上；抛光头的气囊套于轴端连接头上，弹性套套于气囊上，传感器贴于气囊内壁。
- 一种精密气囊抛光工具系统
- [发明专利]一种在线可控抛光装置-CN201210568634.8有效
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郭隐彪;吴沿鹏;杨炜;叶卉
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厦门大学
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2012-12-24
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2013-03-20
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B24B37/04
- 一种在线可控抛光装置，涉及一种化学机械抛光设备。设有浮动盘、伸缩架、引导滑块、调节滑块、可拆卸夹持工具、压电传感器、底座和电磁铁；所述浮动盘上设有6条滑槽，伸缩架顶端与引导滑块相连，引导滑块嵌入滑槽内，伸缩架底端与调节滑块相连，调节滑块嵌入滑槽内，引导滑块上装有可拆卸夹持工具，压电传感器固定于浮动盘表面，浮动盘嵌入底座内且底部4个角落装有电磁铁，底座内与其相对应的位置也分别装有电磁铁。克服了现有的抛光装置对工件的尺寸和表面要求严格等问题，通过尺寸调整结构和压电传感器控制系统的互相配合，可以根据工件的尺寸大小和表面形貌进行尺寸和压力调整，从而达到固定工件和保证工件表面受力实时均匀的目的。
- 一种在线可控抛光装置
- [发明专利]一种原子束填充加工装置-CN201210362731.1有效
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杨炜;王春锦;吴沿鹏;郭隐彪
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厦门大学
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2012-09-24
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2013-01-16
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B23K28/00
- 一种原子束填充加工装置，涉及一种工件表面加工方法。设有底座、直线电机、X轴承载板、Y轴承载板、支柱、横梁、Z轴承载板、旋转圆盘、固定座、伺服电机、原子束发生装置、原子束能量控制装置和准直装置；直线电机固定在底座上并与X轴承载板固连，X轴承载板接底座；Y轴承载板与X轴承载板之间，Z轴承载板与横梁之间相连，支柱固定在底座两端，横梁与支柱之间连接，旋转圆盘固于Z轴承载板上，伺服电机固于Z承载板上，伺服电机的转轴末端装有齿轮，原子束发射装置设在原子束能量控制装置上部，准直装置装在原子束能量控制装置的底部并对准工件表面缺陷，原子束能量控制装置通过固定座固定于旋转圆盘上，原子束填充装置安装在Z轴承载板上。
- 一种原子填充加工装置
- [发明专利]一种用于抛光机床的在线可调式夹具-CN201210263041.0有效
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郭隐彪;陈梅云;吴沿鹏;叶卉;王焰
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厦门大学
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2012-07-27
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2012-10-31
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B24B41/06
- 一种用于抛光机床的在线可调式夹具，涉及一种工装夹具。设有底盘和至少3套相同结构的夹紧调整机构；每套夹紧调整机构以底盘中轴线为基准，向心均布安装于底盘表面；夹紧调整机构设有水平滑块、水平气缸、垂直滑块、垂直气缸、垂直压力传感器和响应速度可调的水平压力传感器；水平滑块与底盘向心滑动配合，水平气缸活塞杆与水平滑块连接，垂直滑块设于水平滑块上并且与水平滑块垂向滑动配合，垂直气缸设于水平滑块上，垂直气缸活塞杆与垂直滑块连接，垂直压力传感器设于垂直滑块夹持部的水平表面上，水平压力传感器设于垂直滑块夹持部的垂直表面。可在线（实时）对工件加工表面进行水平位置调整，保证工件加工表面受力均匀的与抛光机床配用。
- 一种用于抛光机床在线调式夹具
- [发明专利]咸鸭蛋蛋清脱盐装置-CN201210178236.5有效
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李爱贞;刘毅君;吴沿鹏
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集美大学
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2012-05-31
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2012-10-03
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A23L1/32
- 咸鸭蛋蛋清脱盐装置，涉及一种咸蛋处理装置。提供一种脱盐率较高、蛋白质损失较少的连续咸鸭蛋蛋清脱盐装置。设有配料罐、双联过滤器、高剪切均质罐、超滤组件、储料罐、第1离心泵、第2离心泵和螺杆泵；所述配料罐、双联过滤器、高剪切均质罐、超滤组件、储料罐、第1离心泵、第2离心泵和螺杆泵依次用管道或者法兰连接；所述配料罐的咸蛋蛋清料液出口经第1离心泵接双联过滤器的进口，去除蛋壳及杂质后的料液由双联过滤器的出口经第2离心泵接高剪切均质罐的进口，料液经高剪切均质罐的均质匀浆处理后，料液出口经螺杆泵接超滤组件的进口，料液经超滤组件的脱盐后，蛋清出口接储料罐的进口，并由储料罐储存待进一步处理。
- 咸鸭蛋蛋清脱盐装置
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