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[发明专利]一种上电安全保护系统和半导体工艺设备-CN202310631859.1在审
发明人：徐瑶;张明;卢夕生;金泽文;刘晓环 -专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
申请日： 2023-05-30 - 公布日： 2023-09-01 - 主分类号： H02M1/10 文献下载
摘要：本发明实施例提供了一种上电安全保护系统和半导体工艺设备，所述上电安全保护系统用于接入供电电源进行配电输出；所述上电安全保护系统包括：供电模块接入所述供电电源；第一回路模块检测所述供电电源的状态参数，依据所述状态参数控制所述供电模块的通断；并对所述供电电源进行稳压；第二回路模块接收所述状态参数，依据所述状态参数控制所述第一回路模块，并将所述供电电源的电能输出至预设交流电设备或预设直流电设备；本发明实施例通过对于供电电源的状态参数进行判断和提供相应保护回路，在供电电源异常时，可以对其进行控制，提高设备整体安全等级和稳定性。
一种安全保护系统半导体工艺设备

[发明专利]半导体工艺设备及其清洗腔室-CN202310395973.9在审
发明人：宋爱军;王锐廷;卢夕生;赵宏宇;张敬博 -专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
申请日： 2023-04-13 - 公布日： 2023-08-11 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本申请公开一种半导体工艺设备的清洗腔室，其包括腔室外壳(100)、清洗液收集机构(001)、清洗液排放机构(002)和用于承载晶圆(600)的承载座(700)，清洗液收集机构(001)和承载座(700)均设于腔室外壳(100)内，且清洗液收集机构(001)环绕承载座(700)设置，清洗液排放机构(002)与清洗液收集机构(001)连通；清洗液收集机构(001)和清洗液排放机构(002)的材质与腔室外壳(100)的材质不同，且耐腐蚀性优于腔室外壳(100)的耐腐蚀性。上述方案能解决相关技术公开的清洗腔室由于整体采用较贵的耐腐蚀材料制造，而存在制造成本较高的问题。本申请还公开一种半导体工艺设备。
半导体工艺设备及其清洗

[发明专利]半导体清洗设备的卡盘结构、半导体清洗设备及方法-CN202211055538.3有效
发明人：杨慧毓;王海阔;宋爱军;刘本锋;张敬博;卢夕生;谢志勇 -专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
申请日： 2022-08-31 - 公布日： 2023-07-14 - 主分类号： H01L21/687 文献下载
摘要：本发明提供一种半导体清洗设备的卡盘结构及半导体清洗设备，该卡盘结构包括用于承载晶圆的卡盘基体，在卡盘基体与晶圆相对的第一表面的边缘处形成有多个避让凹部，多个避让凹部与机械手在取放晶圆时与晶圆的接触位置一一对应地设置，用以避免机械手在取放晶圆时接触卡盘基体；在卡盘基体中设置有第一气体通道，第一气体通道在第一表面上具有多个第一出气口，多个第一出气口沿第一表面的周向间隔分布；每个第一出气口的喷气方向均朝向晶圆的与卡盘基体相对的表面外侧倾斜。本发明实施例可以降低机械手的位置校准难度，避免在晶圆边缘处产生颗粒污染和腐蚀。
半导体清洗设备卡盘结构方法

[实用新型]一种药液传输系统及半导体清洗设备-CN202221799859.X有效
发明人：金泽文;赵宏宇;卢夕生;王锐廷;徐瑶 -专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
申请日： 2022-07-13 - 公布日： 2023-01-17 - 主分类号： B08B3/02 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种药液传输系统及半导体清洗设备，涉及半导体技术领域，包括：壳体；药液储存容器，设置在所述壳体内；药液输出管路，与所述药液储存容器连接，所述药液输出管路从所述壳体上部连接至所述半导体清洗设备的主清洗装置，并且通过设置在所述药液输出管路的第一液体泵向壳体上方的所述半导体清洗设备的主清洗装置泵送药液；解决清洗机设备对厂务操作层占用空间大的问题。
一种药液传输系统半导体清洗设备

[实用新型]一种化学试剂补给混合系统-CN201520017397.5有效
发明人： 卢夕生 -专利权人：中芯国际集成电路制造（北京）有限公司
申请日： 2015-01-09 - 公布日： 2015-05-06 - 主分类号： H01L21/02 文献下载
摘要：本实用新型提供一种化学试剂补给混合系统，包括：储液罐及制程装置，所述储液罐藉由输入管路向所述制程装置提供化学试剂，所述制程装置藉由回流管路将化学试剂送回所述储液罐；引流管，连接于所述回流管路，所述引流管伸入所述储液罐的底部，且所述引流管的底部封口、侧壁上设置有多个小孔，所述小孔的直径自上往下逐渐增大；以及针筒式补给液供给泵，连接于所述回流管路。本实用新型采用两套针筒式补给液供给泵轮流无缝不间断均匀地向储液罐提供补给液；还将补给液从回流管路输入到储液罐；同时引流管底部封口、侧壁上小孔直径逐渐增大；从多方面提高化学试剂的混合速度，同时提高均匀性，大大提高生产效率和生产质量。
一种化学试剂补给混合系统

[实用新型]硅片承载台-CN200920213284.7有效
发明人： 卢夕生 -专利权人：中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
申请日： 2009-12-17 - 公布日： 2010-10-20 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：一种硅片承载台，包括：承载底座、固定连接在承载底座上的承载基板；与承载底座转动连接的齿轮环、设置在齿轮环侧部用于卡紧硅片的齿轮销；承载底座上开设有环形槽，驱动部件上的活动卡销能够穿过所述的环形槽并与所述齿轮环上的横轴接触，所述齿轮环与承载底座之间还设置有弹簧；还包括固定在驱动部件上能够发射并接受激光的激光感应器，以及固定在所述横轴上的金属反射片。本实用新型由于采用了激光感应器和金属反射片的组合使用，使得硅片清洗装置在出现异常运行时，能够及时发现硅片放置异常和破裂，避免了现有技术中继续运行而无法发现运行异常的问题。
硅片承载

[实用新型]晶圆清洗设备-CN200920073158.6有效
发明人： 卢夕生;杜亮 -专利权人：中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
申请日： 2009-05-31 - 公布日： 2010-05-12 - 主分类号： B08B3/08 文献下载
摘要：本实用新型提供一种晶圆清洗设备，所述晶圆清洗设备包括：外罩，所述外罩表面设有若干个缺口；与所述缺口位置对应，用于封闭或者开放所述缺口的控制门。所述的晶圆清洗设备在缺口位置设置控制门，避免了采用化学试剂清洗时清洗液溅到去离子水喷嘴和氮气喷嘴表面，从而在用去离子水喷嘴和氮气喷嘴时，其表面残留的化学清洗液滴落导致的产品缺陷。
清洗设备

[实用新型]盘卡安装装置-CN200920107656.8有效
发明人：安勇;王伟;杜亮;卢夕生 -专利权人：中芯国际集成电路制造(北京)有限公司
申请日： 2009-05-06 - 公布日： 2010-01-20 - 主分类号： H01L21/687 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种盘卡安装装置，所述盘卡安装装置包括：以圆柱体的横截面为同心圆在圆柱体上表面开设的第一圆孔，第一圆孔的孔径大于底盘的直径，孔深等于底盘的高度；以圆柱体的横截面为同心圆在第一圆孔的底部开设的第二圆孔，第二圆孔的孔径大于大柱的直径，孔深等于大柱的高度；依据小柱下表面与大柱上表面的相对位置关系，在第二圆孔的底部开设的第三圆孔，第三圆孔的孔径大于小柱的直径，孔深等于小柱的高度；在第二圆孔的底部开设的第四通孔，第四通孔的孔深大于第三圆孔的孔深，用于通过第四通孔将盘卡取出；位于圆柱体上表面的标记，用于指示盘卡的啮合位置。采用该装置可提高盘卡的安装效率、提高盘卡安装的精度。
安装装置

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