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[发明专利]一种三自由度的运动工作台-CN201510587639.9有效
发明人：张鸣;朱煜;杨开明;成荣;陈安林;田丽;张利 -专利权人：清华大学;北京华卓精科科技有限公司
申请日： 2015-09-15 - 公布日： 2018-01-16 - 主分类号： H02K44/06 文献下载
摘要：一种三自由度的运动工作台，主要应用于半导体光刻设备中。本发明含有一个动子、一个定子和一套位置测量系统，定子包含有一个基台、一个盖板和一组线圈阵列；一组线圈阵列设置在基台凹槽内，盖板设置在线圈阵列上部；动子包含有一磁性流体；所述的磁性流体设置在盖板的上表面，在线圈阵列产生的变化的磁场中在盖板上表面沿X方向、Y方向和θz方向做平面三自由运动；盖板上表面做表面疏水处理；所述的一套位置测量系统设置在动子的正上方。磁性流体作为动子可任意聚合或分散，承载物体时还可变换形状增大抓取的摩擦力，具有动子轻巧、灵活多变，结构简单等优点。
一种自由度运动工作台

[发明专利]一种磁轮驱动的磁悬浮动量球-CN201510587651.X有效
发明人：张鸣;朱煜;陈安林;杨开明;成荣 -专利权人：清华大学;北京华卓精科科技有限公司
申请日： 2015-09-15 - 公布日： 2017-11-14 - 主分类号： H02K16/00 文献下载
摘要：一种磁轮驱动的磁悬浮动量球，用于卫星姿态调整，所述磁轮驱动的磁悬浮动量球包含定子和一个动子，所述动子为球壳形，动子材料为非铁磁性的导电金属材料；所述定子分为三组，三组定子的轴线相互正交，每组包括两个定子，每组中的两个定子以动子的球心对称布置，每个定子包含定子电机和磁轮，磁轮安装在定子电机上并由定子电机驱动旋转；磁轮的上表面是和动子外表面同心的球面，且磁轮上表面的球面半径大于动子外表面的球面半径，磁轮与动子的外表面留有气隙。本发明实现了磁悬浮动量球的悬浮旋转驱动一体化，结构简单紧凑，体积小质量轻，成本低,效率高，并且属于固有的稳定悬浮，悬浮控制简单。
一种驱动磁悬浮动量

[发明专利]一种硅片台曝光区域六自由度位移测量方法-CN201510197948.5有效
发明人：朱煜;张鸣;陈安林;成荣;杨开明;刘峰;宋玉晶;支凡;胡金春;徐登峰;穆海华;胡楚雄 -专利权人：清华大学;北京华卓精科科技有限公司
申请日： 2015-04-23 - 公布日： 2017-06-16 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：一种硅片台曝光区域六自由度位移测量方法，应用于硅片台曝光区域的六自由度位移测量。硅片台包含线圈阵列和运动台，运动台磁钢阵列的下方固定平面光栅，将读数头固定在线圈阵列的空隙中，读数头中心线和透镜的中心线重合；读数头的测量光束入射在平面光栅上形成测量区域，测量区域的中心和曝光区域的中心在同一竖直线上；将曝光区域覆盖的那部分运动台近似为刚体，当运动台运动或由于振动发生变形时，由读数头测量得到测量区域的六自由度位移解算得到曝光区域的六自由度位移。实现了硅片台运动过程中任意时刻曝光区域的六自由度位移测量，降低测量复杂性，提高测量精度，尤其在运动台柔性较大时仍能精确测量任意时刻曝光区域的六自由度位移。
一种硅片曝光区域自由度位移测量方法

[发明专利]一种三维大行程精密工作台测量系统自标定方法-CN201510056214.5有效
发明人：胡楚雄;朱煜;徐振源;杨进;张鸣;杨开明;徐登峰;穆海华;尹文生;胡金春;成荣 -专利权人：清华大学;北京华卓精科科技有限公司
申请日： 2015-02-03 - 公布日： 2017-06-13 - 主分类号： G01B11/00 文献下载
摘要：一种三维大行程精密工作台测量系统自标定方法，属于精密加工及测量领域。该方法利用三维自标定原理，通过使用带均匀栅格阵列的立方体光学玻璃块做辅助测量装置，将三维工作台按区域分别进行自标定，获取各区域的系统误差；对相应区域做系统误差补偿；对获得的各区域离散点坐标进行线性拟合；按照规划的顺序依次对相领区域的标定坐标系进行坐标系纠偏处理，获得整个区域内统一的标定坐标系，最终完成三维大行程精密工作台测量系统自标定。本发明实现了三维工作台的大行程、高精度自标定，同时实现了利用低精度栅格阵列的立方体玻璃块标定高精度三维工作台的功能，不需要高精度标定工具，标定精度高，适用于标定各种三维精密工作台。
一种三维行程精密工作台测量系统标定方法

[发明专利]一种磁悬浮动量球-CN201510197943.2有效
发明人：张鸣;朱煜;陈安林;杨开明;成荣;刘峰;胡金春;胡楚雄;徐登峰;穆海华 -专利权人：清华大学;北京华卓精科科技有限公司
申请日： 2015-04-23 - 公布日： 2017-06-13 - 主分类号： H02K16/00 文献下载
摘要：一种磁悬浮动量球，用于航天器姿态调整，磁悬浮动量球包含一个球壳形动子和多个定子，所述定子有三组，每组包含两个以动子的球心为对称中心的定子，三组定子的轴线相互正交，每个定子包含定子铁芯和线圈阵列，定子铁芯与动子相配合的内表面为球面，并和动子的外表面留有气隙，定子铁芯沿径向开有通槽，通槽在定子铁芯的圆周上均匀分布；线圈阵列采用盘式电机定子绕组，线圈阵列中每个线圈的两个有效边分别放置于定子铁芯的两个通槽内。本发明成本低，悬浮、旋转驱动一体化，结构简单紧凑，体积小质量轻，并且属于固有的稳定悬浮，悬浮控制简单。
一种磁悬浮动量

[发明专利]一种二维大行程精密工作台测量系统自标定方法-CN201410256318.6有效
发明人：胡楚雄;朱煜;徐振源;杨进;张鸣;穆海华;胡金春;徐登峰;尹文生;杨开明;刘召;成荣 -专利权人：清华大学;北京华卓精科科技有限公司
申请日： 2014-06-10 - 公布日： 2017-06-13 - 主分类号： G01B21/00 文献下载
摘要：一种二维大行程精密工作台测量系统自标定方法，属于精密加工及测量领域。该方法利用自标定原理，通过使用带均匀栅格的玻璃板做辅助测量装置，将二维工作台按区域分别进行自标定，获取各区域的系统误差；对相应区域做系统误差补偿，获得标定坐标系的离散点坐标；对各区域离散点坐标进行线性拟合，得到标定坐标系网格；利用坐标系变换原理，分别对相领区域的标定坐标系进行坐标系转换，获得整个区域内统一的标定坐标系，最终完成二维大行程精密工作台测量系统自标定。本发明实现了二维工作台的大行程、高精度自标定，同时实现了利用低精度栅格玻璃板标定高精度二维工作台的功能，不需要高精度标定工具，标定精度高，适用于标定各种二维精密工作台。
一种二维行程精密工作台测量系统标定方法

[实用新型]一种磁流体动量球-CN201520714560.3有效
发明人：朱煜;陈安林;张鸣;杨开明;成荣 -专利权人：清华大学;北京华卓精科科技有限公司
申请日： 2015-09-15 - 公布日： 2016-01-13 - 主分类号： H02K16/00 文献下载
摘要：一种磁流体动量球，用于卫星姿态调整，所述磁流体动量球包含定子和一个球壳；所述定子分为三组，三组定子的轴线相互正交，每组包括两个定子，每组中的两个定子以球壳的球心对称布置，定子内表面为球面；所述球壳采用两个半球壳组合而成，球壳材料为非铁磁性材料，定子内表面紧贴球壳外表面，球壳和定子内表面无相对运动，球壳内填充磁流体。本实用新型中采用磁流体的转动进行卫星姿态调整，体积和质量小，成本低，各轴之间耦合小；本实用新型中磁流体动量球的球壳不转动，制造简单，结构紧凑；磁流体与球壳之间的摩擦小、损耗低，可靠性和效率高。
一种流体动量

[发明专利]一种磁流体动量球-CN201510587640.1在审
发明人：朱煜;陈安林;张鸣;杨开明;成荣 -专利权人：清华大学;北京华卓精科科技有限公司
申请日： 2015-09-15 - 公布日： 2015-12-09 - 主分类号： H02K16/00 文献下载
摘要：一种磁流体动量球，用于卫星姿态调整，所述磁流体动量球包含定子和一个球壳；所述定子分为三组，三组定子的轴线相互正交，每组包括两个定子，每组中的两个定子以球壳的球心对称布置，定子内表面为球面；所述球壳采用两个半球壳组合而成，球壳材料为非铁磁性材料，定子内表面紧贴球壳外表面，球壳和定子内表面无相对运动，球壳内填充磁流体。本发明中采用磁流体的转动进行卫星姿态调整，体积和质量小，成本低，各轴之间耦合小；本发明中磁流体动量球的球壳不转动，制造简单，结构紧凑；磁流体与球壳之间的摩擦小、损耗低，可靠性和效率高。
一种流体动量

[实用新型]二位三通阀及具有该二位三通阀的隔振系统-CN201520144971.3有效
发明人：朱煜;徐登峰;穆海华;黎远成;张昆鹏;雷忠兴;闫永固 -专利权人： 北京华卓精科科技有限公司
申请日： 2015-03-13 - 公布日： 2015-08-05 - 主分类号： F16K11/07 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种二位三通阀及具有该二位三通阀的隔振系统，属于阀门技术领域。所述二位三通阀包括阀体下盖、固定设置在所述阀体下盖内部的阀套、以及滑动设置在所述阀套内部的阀芯，其中所述阀体下盖的侧面设置有位置相错的进气口和出气口；所述阀套的侧面与所述进气口和出气口相对应的位置分别设置有第一通气孔和第二通气孔；所述阀芯的上表面设置有排气口，所述阀芯的侧面周向开设有第一通气凹槽，所述第一通气凹槽的高度大于所述第一通气孔和第二通气孔的间距，所述阀芯的下轴肩的高度与所述第二通气孔的高度相同；本实用新型通过使阀芯上下移动微小行程就能实现不同状态之间的切换，使本实用新型保持较高的调节精度。
三通阀具有系统

[发明专利]旋转式布粮器及具有该布粮器的粮仓-CN201410836626.6有效
发明人：徐登峰;朱煜;许岩;申飞;朱鼎;张旭光;高正谦;张中;胡智佑;张成 -专利权人： 北京华卓精科科技有限公司
申请日： 2014-12-29 - 公布日： 2015-06-17 - 主分类号： B65G69/04 文献下载
摘要：本发明公开了一种旋转式布粮器及具有该布粮器的粮仓，属于粮仓技术领域。所述旋转式布粮器包括集粮筒，所述集粮筒包括筒壁和筒底，所述集粮筒的筒壁外侧设置有至少两个向下倾斜的溜粮管，其中，所述溜粮管的底面和一个侧面为一体结构的曲面。使用时，将本装置安装在粮仓的入粮口处，粮食进入集粮筒后流入溜粮管中，当旋转式布粮器进行转动时，溜粮管也会随之转动，由于溜粮管的底面和一个侧面为一体结构的曲面，在旋转式布粮器转动时，粮食在离心力和该曲面产生的切向力的作用下从溜粮管中分散流出并落在粮仓的圆形截面上。本发明减轻了粮食集中下落形成自动分级造成杂质积聚，确保粮食的安全储存。
旋转式布粮器具有布粮器粮仓

[实用新型]粮仓注粮防偏仓装置及具有该装置的粮仓-CN201420740917.0有效
发明人：朱煜;徐登峰;许岩;朱鼎;张旭光;高正谦;张中;胡智佑;张成 -专利权人： 北京华卓精科科技有限公司
申请日： 2014-11-28 - 公布日： 2015-06-10 - 主分类号： A01F25/14 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种粮仓注粮防偏仓装置及具有该装置的粮仓，属于粮仓技术领域。所述粮仓注粮防偏仓装置包括承力架和多个挡板，所述多个挡板的上端铰接在所述承力架上，所述多个挡板围成下端具有开口的漏斗形，所述粮仓注粮防偏仓装置还包括用于调节所述多个挡板开度的连动机构。当粮食注入本装置后，连动机构对多个挡板的开度根据粮流的大小进行调节，这样无论粮流大小，都可以保证本装置内的粮食注入量与输出量达到平衡，垂直下落的粮流经过布粮器的均匀布洒就可形成比较平整的粮面。本实用新型的连动机构本实用新型在粮食装入粮仓时起到缓冲及稳定粮流的作用，提高入仓作业后粮面的平整度，可有效降低粮食偏仓的程度。
粮仓注粮防偏仓装置具有

[实用新型]粮仓注粮防偏仓装置及具有该装置的粮仓-CN201420740920.2有效
发明人：朱煜;徐登峰;许岩;朱鼎;张旭光;高正谦;张中;胡智佑;张成 -专利权人： 北京华卓精科科技有限公司
申请日： 2014-11-28 - 公布日： 2015-06-10 - 主分类号： A01F25/14 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种粮仓注粮防偏仓装置及具有该装置的粮仓，属于粮仓技术领域。所述粮仓注粮防偏仓装置包括承力架和多个挡板，所述多个挡板的上端铰接在所述承力架上，所述多个挡板围成漏斗形，所述多个挡板的下端形成有大小可自动调节的开口。本实用新型中在多个挡板的下端形成的开口随着下落粮流的大小自适应调节开度，无论粮流大小，都可以保证本装置内的粮食注入量与输出量达到平衡，垂直下落的粮流经过布粮器的均匀布洒就可形成比较平整的粮面。本实用新型在粮食装入粮仓时起到缓冲及稳定粮流的作用，提高入仓作业后粮面的平整度，可有效降低粮食偏仓的程度。
粮仓注粮防偏仓装置具有

[发明专利]粮仓注粮防偏仓装置及具有该装置的粮仓-CN201410713606.X有效
发明人：朱煜;徐登峰;许岩;朱鼎;张旭光;高正谦;张中;胡智佑;张成 -专利权人： 北京华卓精科科技有限公司
申请日： 2014-11-28 - 公布日： 2015-03-25 - 主分类号： A01F25/14 文献下载
摘要：本发明公开了一种粮仓注粮防偏仓装置及具有该装置的粮仓，属于粮仓技术领域。所述粮仓注粮防偏仓装置包括承力架和多个挡板，所述多个挡板的上端铰接在所述承力架上，所述多个挡板围成下端具有开口的漏斗形，所述粮仓注粮防偏仓装置还包括用于调节所述多个挡板开度的连动机构。当粮食注入本装置后，连动机构对多个挡板的开度根据粮流的大小进行调节，这样无论粮流大小，都可以保证本装置内的粮食注入量与输出量达到平衡，垂直下落的粮流经过布粮器的均匀布洒就可形成比较平整的粮面。本发明的连动机构本发明在粮食装入粮仓时起到缓冲及稳定粮流的作用，提高入仓作业后粮面的平整度，可有效降低粮食偏仓的程度。
粮仓注粮防偏仓装置具有

[发明专利]粮仓注粮防偏仓装置及具有该装置的粮仓-CN201410714514.3有效
发明人：朱煜;徐登峰;许岩;朱鼎;张旭光;高正谦;张中;胡智佑;张成 -专利权人： 北京华卓精科科技有限公司
申请日： 2014-11-28 - 公布日： 2015-03-11 - 主分类号： A01F25/14 文献下载
摘要：本发明公开了一种粮仓注粮防偏仓装置及具有该装置的粮仓，属于粮仓技术领域。所述粮仓注粮防偏仓装置包括承力架和多个挡板，所述多个挡板的上端铰接在所述承力架上，所述多个挡板围成漏斗形，所述多个挡板的下端形成有大小可自动调节的开口。本发明中在多个挡板的下端形成的开口随着下落粮流的大小自适应调节开度，无论粮流大小，都可以保证本装置内的粮食注入量与输出量达到平衡，垂直下落的粮流经过布粮器的均匀布洒就可形成比较平整的粮面。本发明在粮食装入粮仓时起到缓冲及稳定粮流的作用，提高入仓作业后粮面的平整度，可有效降低粮食偏仓的程度。
粮仓注粮防偏仓装置具有

[发明专利]一种利用光栅测量的位移测量系统-CN201410720157.1在审
发明人：朱煜;张鸣;崔健彰;王磊杰;叶伟楠;杨开明;胡金春;徐登峰;成荣;张利;赵彦坡;胡清平;尹文生;穆海华 -专利权人：清华大学;北京华卓精科科技有限公司
申请日： 2014-12-01 - 公布日： 2015-02-18 - 主分类号： G01B11/02 文献下载
摘要：一种利用光栅测量的位移测量系统，该系统包括激光器、凸透镜、折光元件、光栅、光电转换器和电子信号处理部件；该测量系统基于光栅衍射、光学多普勒效应和光学拍频原理实现位移测量，位移测量功能不受读取距离的限制，可灵活安装和应用到多种需要测量位移的场合之中。当光栅相对激光器做三自由度平动时，测量系统能够始终输出所需测量方向的位移信息，不受另两个方向运动的影响。该测量系统安装灵活，调整方便，对环境敏感性低、测量信号易于处理，分辨率与精度可达亚纳米甚至更高。本发明可以为光刻机超精密工件台进行位置位移测量，提升工件台综合性能，也可应用于精密机床、三坐标测量机、半导体检测设备等的工件台多自由度位移的精密测量。
一种利用光栅测量位移系统

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