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[发明专利]晶圆缺陷源在线定位方法及其定位系统-CN202010971587.6在审
发明人： 刘殳平 -专利权人：上海华力集成电路制造有限公司
申请日： 2020-09-16 - 公布日： 2021-01-08 - 主分类号： H01L21/66 文献下载
摘要：本发明公开了一种晶圆缺陷源在线定位方法，包括：编辑Klarity坐标信息获得合格die点坐标；通过聚焦离子束轰击缺陷晶圆表面，获得第一纵向剖面图，第一纵向剖面图是缺陷位置的纵向剖面图；通过聚焦离子束轰击缺陷晶圆表面获得第二纵向剖面图，第二纵向剖面图是合格die点坐标在缺陷晶圆对应位置的纵向剖面图；第二纵向剖面图和第一纵向剖面图比较找差异位置，定位缺陷源。本发明还公开了一种晶圆缺陷源在线定位系统。本发明通过聚焦离子束轰击缺陷晶圆表面得到合格die的坐标位置和缺陷die位置的纵向剖面图，通过比较纵向剖面图的差异，能快速准确的定位缺陷源头。本发明可以在不停机的情况下快速准确定位缺陷源，能大幅度提高处理难以处理的urgent case的效率。
缺陷在线定位方法及其系统

[发明专利]前层缺陷透射样品制取方法-CN202010233935.X在审
发明人： 刘殳平 -专利权人：上海华力集成电路制造有限公司
申请日： 2020-03-30 - 公布日： 2020-07-07 - 主分类号： G01N23/04 文献下载
摘要：本发明公开了一种前层缺陷透射样品制取方法，其用于FIB机台，包括选择保护层；在FIB机台的E‑Beam下以缺陷点为原点制作第一标记；在I‑Beam模式下找到第一标记，以原点中心对称制作两个第二标记；在每个第二标记一侧制作第一个第三标记，该第三标记顶点位于第二标记上，且第三标记顶点与缺陷点中心之间大于第一预设距离；在每个第二标记另一侧对称位置制作第二个第三标记，且该第二个第三标记与第一个第三标记共用顶点；若不是当层缺陷能选择性的不镀I‑Beam，若为当前层缺陷则按预设参数镀I‑Beam；样品打薄完成前层缺陷透射样品。采用本发明不需要对比JDV图形能快速准确制取前层缺陷透射样品，节约了对比JDV图形的时间，大大降低了工作量，提高了工作效率。
缺陷透射样品制取方法

[发明专利]扫描式电子显微镜晶圆照片拍摄方法及拍摄系统-CN201911106494.0在审
发明人： 刘殳平 -专利权人：上海华力集成电路制造有限公司
申请日： 2019-11-13 - 公布日： 2020-03-17 - 主分类号： H04N1/04 文献下载
摘要：本发明公开了一种用于半导体生产工艺的扫描式电子显微镜晶圆照片拍摄方法，包括扫描式电子显微镜对晶圆拍摄多张照片，所拍摄照片覆盖晶圆全部区域，拍摄顺序相邻的晶圆照片之间存在重复拍摄区域；判断各晶圆张照片之间是否存在相同区块，若两张晶圆张照片之间存在相同区块，则将相同区块重叠使两张晶圆张照片拼接形成一张晶圆照片；重复执行步骤S2，完成所有晶圆照片拼接，形成该晶圆扫描式电子显微镜照片。本发明还公开了一种用于半导体生产工艺的扫描式电子显微镜晶圆照片拍摄系统。本发明能准确获得晶圆尺寸超出扫描式电子显微镜晶可拍摄最大范围的晶圆照片。
扫描电子显微镜照片拍摄方法系统

[发明专利]与光刻机联动的缺陷检测方法-CN201910788040.X在审
发明人： 刘殳平 -专利权人：上海华力集成电路制造有限公司
申请日： 2019-08-26 - 公布日： 2019-11-15 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明公开了一种与光刻机联动的缺陷检测方法，晶圆在光刻机涂膜之后的曝光过程中，对硅片的表面高度进行扫描，生成表面高度三维立体图的文件，对实测数据进行大数据分析得到每一片硅片的风险等级，将高风险硅片ID(身份标识号)加入到良率提升部门的抽样中。本发明能够提前预判硅片的优劣情况，优化良率提升部门的抽样。
硅片光刻机良率抽样身份标识号曝光过程缺陷检测实测数据大数据晶圆联动涂膜预判三维扫描优化分析

[发明专利]一种喷射成形超高强铝合金的热处理方法-CN201410171722.3无效
发明人：曲迎东;苏睿明;李荣德;尤俊华;景方方;刘殳平 -专利权人：沈阳工业大学
申请日： 2014-04-25 - 公布日： 2014-07-09 - 主分类号： C22F1/053 文献下载
摘要：一种喷射成形超高强铝合金的热处理方法，包括以下步骤：喷射成形工艺制备Al-Zn-Mg-Cu合金坯锭，经固溶处理后进行120℃低温欠时效预处理16h，而后在200℃或以上的高温下进行回归处理，然后在120℃下进行24h的再时效处理，再时效处理参数为T6峰值时效处理工艺。本发明针对现有喷射态Al-Zn-Mg-Cu合金峰值时效、过时效以及传统回归再时效处理的缺陷和不足，基于合金回归再时效后，晶内出现尺寸较大析出相的现象，提出一种新型回归再时效处理方法，缩短预时效处理时间，降低能耗，节约时间，节省成本，在喷射态Al-Zn-Mg-Cu合金合金强度进一步提高的基础上，大幅提升抗腐蚀性能。
一种喷射成形高强铝合金热处理方法