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- [实用新型]一种芯片用真空吸盘装置-CN202121646104.1有效
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冯立康;戴立新;方明;戴薇;戴劲
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黄山市七七七电子有限公司
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2021-07-19
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2022-01-11
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H01L21/683
- 本实用新型公开了一种芯片用真空吸盘装置,包括安装架和真空泵,安装架的上侧面四角处均固定连接有支撑弹簧柱,四个支撑弹簧柱的上端固定连接有支撑板,支撑板的上侧安装有翻转板,翻转板的上侧设置有若干卡槽,翻转板通过卡槽安装有真空吸盘机构,真空吸盘机构包括头部吸盘组件、中部吸盘组件和尾部吸盘组件,将头部吸盘组件、中部吸盘组件和尾部吸盘组件首尾相连且密封连接,从而使真空吸盘机构适应不同大小的盛放盘,从而根据工艺步骤的需求调整真空吸盘机构的尺寸,扩大了适配范围,利用振荡使芯片与连通槽的嵌套更为紧密,避免由于芯片和连通槽的不对位使得芯片无法被吸住,提高了生产效率。
- 一种芯片真空吸盘装置
- [实用新型]一种真空镀膜机用冷却结构-CN202121574994.X有效
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戴薇;戴立新;冯立康;方明;戴劲
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黄山市七七七电子有限公司
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2021-07-12
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2022-01-11
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C23C14/22
- 本实用新型公开了一种真空镀膜机用冷却结构,本实用新型涉及真空镀膜机技术领域。通过外冷却框包裹在真空镀膜机的外部,外冷却框与真空镀膜机的间隙处设为冷却间隙室,冷却间隙室的内部固定设置有固定连接块,真空镀膜机的外部表面上缠绕设置有螺纹冷却管,螺纹冷却管的输出端与第二连接管的一端相连,第二连接管的另一端与冷却器的输入端之间相连,冷却器的输出端与第一连接管的一端相连,第一连接管的另一端与水泵的输入端之间相连,水泵的输出端与螺纹冷却管的输入端之间相连,解决了现有的真空镀膜机散热较多采用自然冷却,效果较差,导致工作效率低,很容易导致真空镀膜机因为温度过高而损坏,影响真空镀膜机的使用寿命的问题。
- 一种真空镀膜冷却结构
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