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[发明专利]基板处理方法及基板处理装置-CN202180052111.5在审
发明人： 佐竹正行;中西正行;山下道义 -专利权人：株式会社荏原制作所
申请日： 2021-06-25 - 公布日： 2023-03-31 - 主分类号： H01L21/02 文献下载
摘要：本发明关于一种抑制接合多个基板而制造的层叠基板的裂纹和碎裂的基板处理方法。进而，本发明关于一种能够实施这样的基板处理方法的基板处理装置。本方法使将第一基板(W1)与第二基板(W2)接合而制造的层叠基板(Ws)旋转，将具有热固化性的填充剂(F)涂敷至第一基板(W1)的周缘部与第二基板(W2)的周缘部之间的间隙，使该填充剂(F)固化，涂敷填充剂(F)的工序与使填充剂(F)固化的工序在同一个处理室(21)内连续进行。
处理方法装置

[发明专利]基板支架以及基板处理装置-CN202080067282.0在审
发明人：关正也;铃木洁;佐竹正行 -专利权人：株式会社荏原制作所
申请日： 2020-08-20 - 公布日： 2022-05-03 - 主分类号： C25D17/06 文献下载
摘要：本发明提供即便在基板从支承面承受摩擦力等的情况下也能够进行基板的定位的基板支架以及基板处理装置。本发明的基板支架(200)具备：第一保持部件(300)；第二保持部件(500)，其用于与第一保持部件(300)一起夹持基板(W)；3个以上的定位部件(360)，其具有用于与基板(W)的侧端部接触的接触面(342)；第一移动部件(380)，其维持理想轴线(L)与各个定位部件(360)的接触面(376)之间的各距离相等的状态，并具有多个卡合部(384)，该多个卡合部(384)与各个定位部件(360)卡合，使定位部件(360)移动；以及第一施力部件(310)，其对第一移动部件(380)施力，第一移动部件(380)将第一施力部件(310)的作用力传递至各个定位部件(360)，通过传递的作用力以接触面(376)向理想轴线(L)接近的朝向对定位部件(360)施力。
支架以及处理装置

[发明专利]基板保持器及具备该基板保持器的基板镀覆装置、以及电接点-CN202080035595.8在审
发明人：关正也;铃木洁;佐竹正行 -专利权人：株式会社荏原制作所
申请日： 2020-07-07 - 公布日： 2021-12-21 - 主分类号： C25D17/08 文献下载
摘要：本发明涉及基板保持器及具备该基板保持器的基板镀覆装置、以及电接点。本发明提供一种用于对基板的表面进行镀覆的基板保持器，该基板具备能够容易地进行更换的电接点。基板保持器(1)的特征在于，具备：第一保持部件(2)；第二保持部件(3)，具有用于使基板(W)的表面露出的开口部(3a)，与第一保持部件(2)一起夹住并保持基板(W)；多个卡合轴部(36)，在末端部具有膨头状的头部(36b)，沿第二保持部件(2)的周向配置；以及电接点(32)，具有与基板(W)的边缘部抵接的接点部(32d)，且具有与相邻的卡合轴部(36)卡合并沿着第二保持部件(3)的开口部(3a)的周围排列的切口状的卡合承接部(32d)。
保持具备镀覆装置以及接点

[发明专利]用于将液体从基板保持件的密封件除去的方法-CN201911293312.5在审
发明人：关正也;高柳秀树;铃木洁;佐竹正行;藤方淳平 -专利权人：株式会社荏原制作所
申请日： 2019-12-16 - 公布日： 2020-06-30 - 主分类号： C25D17/06 文献下载
摘要：本发明提供一种通过将液体从基板保持件的密封件除去，从而能够防止液体与电触点的接触的方法。在本方法中，在使基板保持件(24)的密封件(48)以及电触点(50)与基板W接触的状态下，使基板W浸渍于镀覆液，在存在镀覆液的情况下，在基板W与阳极(26)之间施加电压对基板W进行镀覆，将被镀覆的基板W从镀覆液中拉起，使密封件(48)与被镀覆的基板W分离，在被镀覆的基板W与密封件(48)之间的间隙G1形成从基板保持件(24)的内部朝向外部的气流。
用于液体保持密封件除去方法

[发明专利]基板支架以及电镀装置-CN201910532201.9在审
发明人：关正也;高柳秀树;铃木洁;佐竹正行;藤方淳平 -专利权人：株式会社荏原制作所
申请日： 2019-06-19 - 公布日： 2019-12-31 - 主分类号： C25D17/08 文献下载
摘要：本发明减少附着于基板支架的电镀液的量。提供一种构成为保持基板的基板支架。该基板支架具有：第一保持部件；第二保持部件，构成为与上述第一保持部件一起夹住上述基板；密封部件，构成为在上述基板支架的内部形成被密封的空间；销，固定于上述第一保持部件和上述第二保持部件中的一方；环，设置于上述第一保持部件和上述第二保持部件中的另一方，与上述销卡合；以及移动机构，构成为使上述环沿周向移动。通过将上述销和上述环相互卡合上述第一保持部件与上述第二保持部件被相互固定。上述销以及上述环设置于上述被密封的空间的内部。
保持部件基板支架基板密封密封部件移动机构周向移动电镀液附着环沿夹住卡合销卡

[发明专利]监视装置-CN201380021620.7无效
发明人： 佐竹正行;植村顺 -专利权人：马斯普罗电工株式会社
申请日： 2013-04-19 - 公布日： 2014-12-24 - 主分类号： H04N5/232 文献下载
摘要：本发明的监视装置具备：摄像部，其对动态图像进行摄像；运动体检测部，其检测在摄像图像内移动的运动体；倍率设定部，其设定用于放大摄像图像的倍率；图像生成部，其生成用于在显示画面中放大显示运动体的放大图像；图像输出部，其将上述放大图像或摄像图像作为监视图像来输出；移动判定部，其判断运动体是否越过预定的显示维持框而进行了移动；放大停止部，如果判断为运动体越过预定的显示维持框而进行了移动，则所述放大停止部使放大图像的生成动作停止。
监视装置