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[发明专利]喷墨印刷装置-CN202210046289.5在审
发明人：吉田太;高佑礼;成箕运;今田雄 -专利权人：三星显示有限公司
申请日： 2022-01-13 - 公布日： 2023-01-13 - 主分类号： B41J2/01 文献下载
摘要：根据一实施例的喷墨印刷装置包括：第一墨水存储部，提供包括多个颗粒的墨水；第二墨水存储部，所述墨水通过第一管道从所述第一墨水存储部供应到所述第二墨水存储部；印刷头单元，排出通过第二管道从所述第二墨水存储部接收的所述墨水；以及第一分支部件和第二分支部件，分别布置在所述第一墨水存储部与所述第二墨水存储部之间以及所述第二墨水存储部与所述印刷头单元之间，并且使所述墨水分支，其中，所述第一分支部件和所述第二分支部件分别包括：第一基础部，所述墨水在所述第一基础部中移动；以及第一隔壁部，布置在所述第一基础部中，并且包括使所述第一基础部的内部分支的第一隔壁和第二隔壁。
喷墨印刷装置

[实用新型]喷墨印刷装置-CN202220088393.6有效
发明人：吉田太;高佑礼;成箕运;今田雄 -专利权人：三星显示有限公司
申请日： 2022-01-13 - 公布日： 2022-08-26 - 主分类号： B41J2/01 文献下载
摘要：根据一实施例的喷墨印刷装置包括：第一墨水存储部，提供墨水；第二墨水存储部，所述墨水通过第一管道从所述第一墨水存储部供应到所述第二墨水存储部；印刷头单元，排出通过第二管道从所述第二墨水存储部接收的所述墨水；以及第一分支部件和第二分支部件，分别布置在所述第一墨水存储部与所述第二墨水存储部之间以及所述第二墨水存储部与所述印刷头单元之间，并且使所述墨水分支，其中，所述第一分支部件和所述第二分支部件分别包括：第一基础部，所述墨水在所述第一基础部中移动；以及第一隔壁部，布置在所述第一基础部中，并且包括使所述第一基础部的内部分支的第一隔壁和第二隔壁。
喷墨印刷装置

[发明专利]液滴排出装置和排出检查方法-CN201710573623.1有效
发明人： 今田雄;林辉幸;大岛澄美 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2017-07-14 - 公布日： 2021-05-28 - 主分类号： B41J2/07 文献下载
摘要：本发明提供一种向工件排出液滴的液滴排出装置，其无需每一种功能液都进行调节，能够基于滴注到检查用介质上的功能液滴的拍摄结果，适当地调节排出状态。液滴排出装置(1)包括：向工件排出功能液的液滴的喷头(24)；由检查膜(52)的具有憎液性的表面接受来自该喷头(24)的检查排出的排出检查单元(50)；对检查排出到检查膜(52)的表面上的液滴进行拍摄的排出检查照相机(31)；和对检查膜(52)的具有憎液性的表面进行除电的除电单元(80)，在进行液滴的检查排出之前，通过除电单元(80)对检查膜(52)的表面进行除电。
排出装置检查方法

[发明专利]减压干燥装置-CN202010263606.X在审
发明人：户原淳志;林辉幸;今田雄;岛村明典;大岛澄美 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2020-04-07 - 公布日： 2020-10-27 - 主分类号： H01L51/56 文献下载
摘要：本发明提供一种使涂敷于基板上的溶液在减压状态下干燥的减压干燥装置，其包括暂时收集从所述基板气化了的所述溶液中的溶剂的溶剂收集部，所述溶剂收集部以与所述基板相对的方式配置，且被划分为多个区域，在所述多个区域各自形成有开口，所述溶剂收集部形成为所述多个区域各自的每单位面积的热容根据与该区域相对的基板中的部分而不同。由此，能够使基板上的溶液的干燥时间在基板的面内更加均匀。
减压干燥装置

[发明专利]检查装置、检查方法和功能液排出装置-CN201710417403.X有效
发明人： 今田雄;林辉幸 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2017-06-06 - 公布日： 2020-01-14 - 主分类号： H01L51/00 文献下载
摘要：本发明提供一种检查装置，其能够基于利用功能液滴的拍摄结果的功能液的排出状态的检查结果适当校正功能液的排出条件。检查装置(1)检查来自喷嘴的功能液的排出状态。检查装置(1)包括拍摄由从喷嘴排出的功能液在检查片(20)上形成的多个液滴(21)的拍摄部(10)；基于拍摄部(10)的拍摄结果，测量液滴(21)的形成状态的测量部(11a)；和利用拍摄部(10)的拍摄结果，将多个液滴(21)中作为测量部(11a)的测量对象的液滴基于该液滴的形成状态进行选择的选择部(11b)。
检查装置方法功能排出

[发明专利]有机EL面板和有机EL面板的制造方法-CN201910514340.9在审
发明人：天田伸也;今田雄;林辉幸 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2019-06-14 - 公布日： 2019-12-27 - 主分类号： H01L51/52 文献下载
摘要：本发明提供一种经由电子输送层和电子注入层高效地将电子从辅助电极供给到阴极的技术。一种有机EL面板，其包括：以矩阵状形成有多个有机EL元件，有机EL元件按如下顺序具有阳极、发光层、电子输送层、电子注入层和阴极，电子输送层、电子注入层和阴极以遍及多个有机EL元件的方式连续地形成，有机EL面板包括：辅助电极，其在多个有机EL元件之间，经由电子输送层和电子注入层将电子供给到阴极；和具有第一开口部及第二开口部的绝缘层，其中第一开口部在内部形成有发光层，第二开口部形成有从辅助电极去往阴极的电子的供给路径，辅助电极的与电子输送层相对的表面的功函数比阳极的与发光层相对的表面的功函数小。
阴极电子输送层电子注入层有机EL元件辅助电极开口部发光层有机EL面板阳极功函数绝缘层电子供给供给路径矩阵状

[发明专利]基板处理系统、基板处理方法和空穴注入层形成装置-CN201710367124.7有效
发明人： 今田雄;林辉幸 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2017-05-23 - 公布日： 2019-05-07 - 主分类号： H01L51/50 文献下载
摘要：本发明涉及一种以使用喷墨方式的成膜法在基板上形成有机发光二极管的有机层的基板处理系统，在维持各颜色良好的发光特性的同时，延长蓝色光的点亮寿命。基板处理系统(100)包括：以第1烧制温度在基板上形成红色用和绿色用的空穴注入层的第1空穴注入层形成装置(110)；在红色用和绿色用的空穴注入层上以比第1烧制温度高的第2烧制温度形成红色用和绿色用的空穴输送层的空穴输送层形成装置(120)；和在形成有红色用和绿色用的空穴注入层和空穴输送层的基板上，以第1烧制温度以下的第3烧制温度形成蓝色用的空穴注入层的第2空穴注入层形成装置(130)。
处理系统方法空穴注入形成装置

[发明专利]液滴排出装置、液滴排出方法、程序和计算机存储介质-CN201811202183.X在审
发明人：大岛澄美;林辉幸;中込裕;松本诚;户原淳志;今田雄 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2018-10-16 - 公布日： 2019-04-23 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明提供液滴排出装置、液滴排出方法、程序和计算机存储介质。向工件排出功能液的液滴(D)以进行描绘的液滴排出装置包括：向工件排出液滴(D)的液滴排出头；载置介质(51)，其作为承接来自液滴排出头的检查排出物的检查用载置媒介；罩体(34)，其设有覆盖为检查而排出到载置介质(51)的液滴(D)的检查用盖也即盖(32)；和摄像机(31)，其为透过盖(32)来拍摄为检查而排出到载置介质(51)的液滴(D)的拍摄部。本发明能够抑制为检查而排出到检查用载置媒介的液滴干燥，恰当地进行液滴检查。
排出液滴载置检查液滴排出装置计算机存储介质液滴排出头媒介液滴干燥功能液排出物排出液拍摄罩体摄像机承接描绘覆盖

[发明专利]干燥装置及干燥处理方法-CN201410097639.6有效
发明人：岛村明典;林辉幸;今田雄;佐田彻也;西山淳;斋藤广美;大田司;田边诚一 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2014-03-14 - 公布日： 2018-08-07 - 主分类号： H01L51/56 文献下载
摘要：本发明提供一种更够高效地且在短时间除去被涂敷在基板上的有机材料膜中的溶剂、并且容易对用于收集溶剂的构件进行更新的干燥装置和干燥处理方法。干燥装置（100）包括能够抽成真空的处理容器（1）、用于在处理容器（1）内支承基板（S）的作为支承构件的载置台（3）、与支承在载置台（3）上的基板（S）相对地设置且用于收集自有机材料膜挥发的溶剂的溶剂收集部（5）、以及控制部（6）。溶剂收集部（5）还包括用于使收集的溶剂脱离的作为溶剂脱离装置的温度调节装置（7）。溶剂收集部（5）包括与载置在载置台（3）上的基板（S）相对且与该基板（S）的表面大致平行地配置的1张或者多张金属板的收集板（50）。在收集板（50）中形成有多个贯通开口（50a）。
干燥装置处理方法

[发明专利]干燥装置及干燥处理方法-CN201410096586.6有效
发明人：岛村明典;林辉幸;今田雄;佐田彻也;西山淳;斋藤广美;大田司;田边诚一 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2014-03-14 - 公布日： 2018-01-16 - 主分类号： B05D3/04 文献下载
摘要：本发明提供能够高效地且在短时间内除去被涂敷在基板上的有机材料膜中的溶剂、并且能够在基板的面内进行均匀的干燥处理的干燥装置及干燥处理方法。干燥装置（100）包括能够抽成真空的处理容器（1）、用于在处理容器（1）内支承基板（S）的作为支承构件的载置台（3）、用于朝向支承在载置台（3）的基板（S）上的有机材料膜喷射气体的气体喷射装置（5）、以及控制部（6）。干燥装置（100）还包括用于调节处理容器（1）内的压力的压力控制机构。多个喷嘴（51）构成为能够针对每个喷嘴（51）独立调节气体的喷射流量、气体的种类。
干燥装置处理方法

[发明专利]干燥装置和干燥处理方法-CN201410251369.X有效
发明人：及川纯史;今田雄;户原淳志;大岛澄美;岛村明典;林辉幸 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2014-06-06 - 公布日： 2017-06-30 - 主分类号： B41F23/00 文献下载
摘要：本发明的干燥装置和干燥处理方法在短时间内高效率地去除在对基板上的有机材料膜进行干燥的干燥装置的处理容器内残留的溶剂。干燥装置(100)具备能够进行抽真空的处理容器(1)、在处理容器(1)内支承基板(S)的作为支承构件的载置台(3)、向处理容器(1)的内部照射紫外线的紫外线照射装置(5)以及控制部(6)。紫外线照射装置(5)作为溶剂分解单元而发挥功能，其在从处理容器(1)搬出已完成干燥处理的基板(S)之后，将残留在处理容器(1)内的溶剂中包含的有机化合物分解为低分子量的化合物。
干燥装置处理方法

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