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- [发明专利]等离子体装置-CN201980102799.6在审
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池户俊之
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株式会社富士
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2019-12-13
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2022-07-15
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H05H1/26
- 本发明提供能够保护气体供给管不受卡合爪的影响的等离子体装置。等离子体装置具备:等离子体头,使用处理气体而喷出等离子体气体;气体供给单元,向等离子体头供给处理气体;气体供给管,该气体供给管的前端部与等离子体头连接,该气体供给管的基端部与气体供给单元连接,该气体供给管从气体供给单元向等离子体头供给处理气体;安装部件,具有与气体供给管卡合的卡合爪,通过使卡合爪与气体供给管卡合而将气体供给管安装于等离子体头;及旋转限制部件,在比与卡合爪卡合的位置靠气体供给管的基端侧处限制气体供给管的旋转。
- 等离子体装置
- [发明专利]等离子体装置-CN201180054048.5无效
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安东靖典
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日新电机株式会社
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2011-01-12
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2013-07-10
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C23C14/34
- 由此,在靶部件(4、5)的表面附近基于电感耦合产生等离子体。低频电源(16)对电极(2、3)施加交变电压。由此,等离子体中的电子流入与被施加正偏压的电极(电极(2、3)中的一个)接触配置的靶部件(靶部件(4、5)中的一个),等离子体中的正离子流入与被施加负偏压的电极(电极(2、3)中的另一个)接触配置的靶部件从而,等离子体中的电子及正离子滞留在电极(2、3)间及靶部件(4、5)的表面附近。
- 等离子体装置
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