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[实用新型]X射线高压高频脉冲发生器以及X射线设备-CN202222696479.X有效
发明人：余文彬;余兆巽 -专利权人：宁波纳睿诺德医疗科技有限公司
申请日： 2022-10-13 - 公布日： 2023-08-11 - 主分类号： H05G1/10 文献下载
摘要：本申请涉及X射线高压高频脉冲发生器以及X射线设备。X射线高压高频脉冲发生器用于将输入电源转换成高压提供给X射线源，包括：电源部，其布置于绝缘壳体内并与输入电源相连，并包括第一单元、第二单元和第三单元用于基于输入电源分别输出第一高压、第二高压和第三高压提供给X射线源的阳极部、阴极部和聚焦部，第一高压范围为40kV至120kV，第二高压范围为‑0.5kV至‑2.5kV，第三高压范围为0.1kVDC至5kVDC；控制部，其与电源部相连并设置成控制电源部以输出第一高压、第二高压和第三高压。本申请能显著减小现有设备体积、重量、功耗和复杂度，大幅降低设备故障率，促进实现设备小型化，增强移动性和便携性。
射线高压高频脉冲发生器以及设备

[发明专利]微焦点X射线源辅助控制电路-CN202310265674.3在审
发明人：韦云青;赵立山;黄芳亮 -专利权人：海宁精奕电子有限公司
申请日： 2023-03-20 - 公布日： 2023-08-08 - 主分类号： H05G1/30 文献下载
摘要：本发明公开了一种微焦点X射线源辅助控制电路，包括阴极驱动电路、栅极驱动电路和灯丝驱动电路；且阴极驱动电路、栅极驱动电路和灯丝驱动电路均包括依次连接的驱动控制模块、整流输出模块和环路调整模块；驱动控制模块，用于基于增益电压，通过半桥推挽升压方式获取驱动电压，并通过变压器将驱动电压传输至整流输出模块；整流输出模块，用于对驱动电压进行整流处理，以输出工作电压；环路调整模块，用于基于环路调整器对工作电压和基准电压进行对比，以获取增益电压，并将增益电压反馈至驱动控制模块。本发明微焦点X射线源辅助控制电路可以精确控制灯丝、栅极和阴极电压的输出，实现对微焦源产品的剂量输出的精确控制。
焦点射线辅助控制电路

[发明专利]极紫外光刻光源产生稳定液滴靶的调控系统和方法-CN202310462841.3在审
发明人：孙海轶;王关德;彭凯伦;邹家杰;彭宇杰;冷雨欣 -专利权人：中国科学院上海光学精密机械研究所
申请日： 2023-04-26 - 公布日： 2023-08-08 - 主分类号： H05G2/00 文献下载
摘要：一种极紫外(EUV)光刻光源产生稳定液滴靶的调控系统和方法，包括储液器、喷嘴、压电陶瓷、驱动器。本发明用于极紫外(EUV)光刻光源中周期性液滴靶的稳定产生，本发明具有调控方法易于操作，可调节范围大，适用于EUV光刻光源中稳定液滴的产生。
紫外光刻光源产生稳定液滴靶调控系统方法

[发明专利]具有剂量控制的EUV LPP源以及使用可变宽度激光脉冲的激光稳定化-CN201780067738.1有效
发明人： I·V·福门科夫;R·J·拉法克 -专利权人： ASML荷兰有限公司
申请日： 2017-10-23 - 公布日： 2023-08-08 - 主分类号： H05G2/00 文献下载
摘要：一种用于控制由激光产生的等离子体(LPP)极紫外(EUV)光源产生的EUV辐射的剂量的方法和装置。每个激光脉冲被调制为具有被确定足以允许在激光源增益介质中提取适当均匀量的能量的宽度；在一些实施例中要被提取的适当均匀量的能量可以被选择以避免自发激光。由每个脉冲产生的EUV能量被测量，并且有所激发的脉冲产生的总EUV能量被确定，并且基于总EUV能量是否大于或小于所期望的平均EUV能量乘以脉冲数目，对于下一个脉冲的所期望能量被确定。或者通过调制其幅度或者通过调制由一个或多个放大器对脉冲的放大下一脉冲的能量被调制，而不减小激光脉冲的所确定的宽度。
具有剂量控制 euv lpp 以及使用可变宽度激光脉冲稳定

[发明专利]球管灯丝电流的控制方法及控制装置-CN202310649266.8在审
发明人：王环宇;付明阳 -专利权人：西姆高新技术(江苏)有限公司
申请日： 2023-06-02 - 公布日： 2023-08-04 - 主分类号： H05G1/34 文献下载
摘要：本发明公开了一种球管灯丝电流的控制方法及控制装置。该方法包括获取预热表，预热表是管电压的值和管电流的值与灯丝电流的值的对应关系表；基于预热表预先设置球管曝光时所需的目标管电压的值和目标管电流的值；基于预热表获取目标管电压的值和目标管电流的值对应的目标灯丝电流的值；在当前灯丝电流的值变化至目标灯丝电流的值的过程中，基于目标管电流的值和当前管电流的值的偏差实时调节当前灯丝电流的值使当前管电流的值上升至目标管电流的值。
灯丝电流控制方法装置

[发明专利]一种真空用X射线精密狭缝运动装置-CN202310510651.4在审
发明人：曹超;胡荣朝;许治伟;解修军;潘成伟 -专利权人：定荣科技（上海）有限公司
申请日： 2023-05-08 - 公布日： 2023-08-01 - 主分类号： H05G1/30 文献下载
摘要：本申请涉及光学设备技术领域，特别涉及一种真空用X射线精密狭缝运动装置，包括外腔体，所述外腔体采用防X射线辐射板，所述外腔体内部设置有狭缝机构，所述狭缝机构包括安装板以及滑动安装于安装板内的狭缝；所述狭缝和安装板之间设置有线性压电平台，所述线性压电平台能够驱动狭缝在X向和Y向产生位移，实现X射线光束大小的调节；本申请采用的整个腔体外壳采用防X射线辐射材质，可以有效屏蔽X射线辐射，且本申请应用于X射线光束形状调节大小，通过纳米位移台来驱动钨挡块上下/左右位移，实现调节X射线光束大小，最大可实现10×10的方形孔；依靠纳米位移台本身精度，形成的通光孔精度可以达到1μm。
一种真空射线精密狭缝运动装置

[发明专利]均匀液滴产生装置及极紫外光源-CN202310385640.8在审
发明人：王新兵;孙秦;左都罗;马修泉;陆陪祥 -专利权人：广东省智能机器人研究院;华中科技大学
申请日： 2023-04-11 - 公布日： 2023-08-01 - 主分类号： H05G2/00 文献下载
摘要：本发明提供一种均匀液滴产生装置及极紫外光源，包括喷射件及扰动机构。其中，所述喷射件设有用于输送液体介质的喷射通道；所述扰动机构与所述喷射件的外侧壁传动配合，所述扰动机构用于向所述喷射件传递周期性扰动，以使得所述喷射通道内的液体介质断流形成液滴。本申请中的扰动机构设置在喷射件的外侧壁，避免扰动机构污染流体介质的同时，还避免了喷射件内的流体介质与扰动机构发生干涉而导致扰动机构失能的问题，保证均匀液滴产生装置能够稳定、可靠的产生均匀液滴，相对于传统的径向扰动方式，可不需要能够抵抗高温的压电陶瓷，保证扰动机构在扰动高温液体介质时不会失能，提高了均匀液滴生产装置及极紫外光源的可靠性。
均匀产生装置紫外光源

[发明专利]无线功率传输装置以及包含其的X射线成像设备-CN202211338877.2在审
发明人：陈志;张铁山;马亚军;褚旭;刘自程;樊隆源;蒋栋 -专利权人：上海联影医疗科技股份有限公司;华中科技大学
申请日： 2022-10-28 - 公布日： 2023-08-01 - 主分类号： H05G1/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种无线功率传输装置以及包含其的X射线成像设备。其中，无线功率传输装置包括：第一环形结构，所述第一环形结构的圆周安装有第一磁芯组件，所述第一环形结构上固设有第一骨架，所述第一骨架上绕设有第一绕组，所述第一绕组穿过所述第一磁芯组件中所述磁芯的窗口；以及第二环形结构，第二骨架固定在所述第二环形结构上，所述第二骨架上绕设有第二绕组，第二绕组穿过所述第一磁芯组件中所述磁芯的窗口；所述第一绕组用于接收交流电压，并将所述交流电压传输至所述第二绕组。本发明提供的无线功率传输装置中，将第一磁芯组件固定在静止侧的第一环形结构上，不仅可以减轻旋转侧第二环形结构的重量，还可以提高磁芯的安全性。
无线功率传输装置以及包含射线成像设备

[发明专利]X射线管单个模块可转换的条型除静电装置-CN202180007107.7在审
发明人：李东勋;李炳俊;朴进哲;许时焕;薛东圭;全真又;曹泳焕;张珍赫 -专利权人：禅才高科技股份有限公司
申请日： 2021-12-02 - 公布日： 2023-08-01 - 主分类号： H05G1/32 文献下载
摘要：本发明的X射线管单个模块可转换的条型除静电装置包括：一个以上的电压发生模块，所述电压发生模块利用从外部供应的电力产生电压；一个以上的主X射线模块，所述主X射线模块分别对应于所述电压发生模块，接收电压供应并辐射X射线；一个以上的辅助X射线模块，所述辅助X射线模块并列位于分别与所述主X射线模块对应的位置，具有与所对应的所述主X射线模块的照射区域相同的照射区域，分别对应于所述电压发生模块，接收电压供应并辐射X射线；及转换部，所述转换部在特定主X射线模块运转不正常时，将运转转换到对应于所述特定主X射线模块的辅助X射线模块。
射线单个模块转换静电装置

[实用新型]一种高功率X光机-CN202223451654.5有效
发明人：杜万领;冯锐 -专利权人：珠海市睿影科技有限公司
申请日： 2022-12-21 - 公布日： 2023-08-01 - 主分类号： H05G1/12 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种高功率X光机，包括电压转换单元、PWM控制单元、MCU控制单元、灯丝控制单元、反馈单元、逆变转换倍压单元和X射线单元，逆变转换倍压单元包括推挽电路、变压电路和倍压电路，推挽电路与变压电路连接，变压电路与倍压电路连接，倍压电路与X射线单元连接，X射线单元与灯丝控制单元连接，灯丝控制单元与MCU控制单元连接，MCU控制单元分别与反馈单元和PWM控制单元连接，反馈单元与倍压电路连接，PWM控制单元与推挽电路连接。通过推挽电路发送不同脉冲驱动变压电路得到较高电压，在通过倍压电路得到高压交流电压，输入X射线单元后在灯丝控制单元的控制下高功率发射X射线，成像效果更好，可广泛应用于医疗设备技术领域。
一种功率

[发明专利]一种用于高压油箱的绝缘组件及高压油箱-CN202210594461.0有效
发明人：杨向民;孙敏;俞天涯;张政;龙治林 -专利权人：海玮电子科技（上海）有限公司
申请日： 2022-05-27 - 公布日： 2023-07-28 - 主分类号： H05G1/10 文献下载
摘要：本发明提供一种用于高压油箱的绝缘组件及高压油箱，包括横板，所述横板上开设有若干个固定孔；还包括两个竖板，所述竖板侧壁上开设有卡槽，所述竖板与横板之间通过卡槽连接；两个所述竖板间隔设置、且对称分布在横板中心的两侧。本发明涉及的用于高压油箱的绝缘组件，两个所述竖板间隔设置、且对称分布在横板中心的两侧，横板上设置有固定孔，高压变压器通过固定孔与横板固定连接。故高压油箱中采用该绝缘组件，高压油箱的阴极电路元件和阳极电路元件之间被变压器油—竖板—变压器油—竖板—变压器油的方式分割开，利用变压器油和竖板进行多层绝缘，有效保证高压油箱内部元器件之间的绝缘性。
一种用于高压油箱绝缘组件

[发明专利]极紫外光源-CN201911033324.4有效
发明人：陶业争;J·T·斯特瓦特四世;J·朱尔;D·布朗;J·M·亚查恩德;A·A·沙夫甘斯;M·A·普尔维斯;A·拉弗格 -专利权人： ASML荷兰有限公司
申请日： 2015-06-25 - 公布日： 2023-07-28 - 主分类号： H05G2/00 文献下载
摘要：本公开的实施例涉及极紫外光源。生成初始辐射脉冲；提取初始辐射脉冲的一段以形成修改辐射脉冲，修改辐射脉冲包括第一部分和第二部分，第一部分在时间上连接到第二部分，并且第一部分的最大能量小于第二部分的最大能量；修改辐射脉冲的第一部分与靶材相互作用以形成修改靶；并且修改辐射脉冲的第二部分与修改靶相互作用以生成发射极紫外(EUV)光的等离子体。
紫外光源

[发明专利]用于高压连接的装置-CN201980060372.4有效
发明人： J·D·特德罗;D·贝塞姆斯;陈蔚勋 -专利权人： ASML荷兰有限公司
申请日： 2019-08-12 - 公布日： 2023-07-28 - 主分类号： H05G2/00 文献下载
摘要：一种适于用在高温高压环境的导管，该导管具有由第一难熔金属制成的伸长部分和由第二难熔金属制成的装配部分，装配部分附接到伸长部分的轴向端部。附接可以通过焊接来实现，并且第二难熔金属的屈服强度可以大于第一难熔金属。
用于高压连接装置

[发明专利]一种冷却系统漏水保护装置及漏水保护方法-CN202310340195.3在审
发明人：黄建新;何杰;卢卫彬 -专利权人：苏州博思得电气有限公司
申请日： 2023-03-31 - 公布日： 2023-07-18 - 主分类号： H05G1/02 文献下载
摘要：本申请揭示了一种冷却系统漏水保护装置及漏水保护方法，具体涉及漏水保护技术领域。所述装置包括水箱，该水箱内包括冷却水；该水箱与水泵连接；该水泵通过输水软管与油箱中的油水换热器连接；该水泵用于驱动该冷却水通过该输水软管，在该水箱以及该油水换热器之间循环；该输水软管的连接处的外表面包覆有吸水海绵；该油箱内设置有X射线管、浸没该X射线管的绝缘油以及该油水换热器；每个该吸水海绵内设置有用于检测电阻的电极针。上述装置在实现漏水保护时，结构简单且安全准确。
一种冷却系统漏水保护装置保护方法

[实用新型]X射线管放电保护的电阻、高压变压器组件和电路结构-CN202223075333.X有效
发明人：周万生;朱山 -专利权人：北京万东鼎立医疗设备有限公司
申请日： 2022-11-18 - 公布日： 2023-07-18 - 主分类号： H05G1/54 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种X射线管放电保护的电阻、高压变压器组件和电路结构，所述电阻由电阻骨架、电阻的引脚、电阻体和电缆纸构成，电阻体缠绕在电阻骨架上，电阻体外包裹有绝缘的电缆纸，电阻的引脚固定在电阻骨架上，并位于电阻体的两端；该电阻的引脚为黄铜柱。所述的高压变压组件使用了该电阻。该电路结构包高压控制单元、采样单元和高压变压组件，采用这种电路结构，消除了X射线管放电对X射线发生装置造成的损害，提高了产品的工作稳定性，同时用于降低了对X射线管的使用要求。
射线放电保护电阻高压变压器组件电路结构