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[发明专利]一种片上间接电泵浦的掺铒光波导放大器的混合集成方法-CN202010717378.9有效
发明人：王冰;肖盼盼 -专利权人：中山大学
申请日： 2020-07-23 - 公布日： 2022-02-18 - 主分类号： H01S3/063 文献下载
摘要：本发明公开了一种片上间接电泵浦的掺铒光波导放大器的混合集成方法，包括以下步骤：S1.在Ⅲ‑Ⅴ族衬底上外延生长Ⅲ‑Ⅴ族多量子阱作为电泵浦源，与硅/二氧化硅进行晶圆键合集成；S2.刻蚀Ⅲ‑Ⅴ族层，开出掺铒波导空间；S3.沉积氮化硅，并用化学机械磨抛进行表面平坦化；S4.刻蚀氮化硅；S5.沉积掺铒增益材料，并用化学机械磨抛进行表面平坦化；S6.刻蚀Ⅲ‑Ⅴ族多量子阱电泵浦源到N‑type层，并制作金属电极；S7.刻蚀Ⅲ‑Ⅴ族多量子阱电泵浦源，制作DBR谐振腔，完成器件制造。本发明降低了工艺复杂度和器件厚度，提高了泵浦效率。
一种间接电泵浦掺铒光波导放大器混合集成方法

[发明专利]基于硅基外腔自注入的窄线宽连续波调频激光器-CN202010279703.8有效
发明人：陈明华;汤黎伟;李佳琛 -专利权人：清华大学
申请日： 2020-04-10 - 公布日： 2021-12-03 - 主分类号： H01S3/063 文献下载
摘要：本发明的提供一种连续可调谐的窄线宽激光器，包括硅基外腔(111)，所述硅基外腔(111)包括衬底层(101)，所述衬底层(101)上方为光波导层(104)；所述光波导层(104)构成自注入微环谐振腔获得可调频连续波激光，以及分布式反馈激光器(103)，所述分布式反馈激光器(103)与所述硅基外腔(111)端面耦合，将激光耦合到所述微环谐振器(110)中，通过所述硅基外腔(111)输出被调频的连续波激光。本发明的窄线宽激光器能够实现连续可调谐频率调制并且满足调频光源的应用，还能够达到设计尺寸和与激光器耦合的最优化。
基于硅基外腔注入窄线宽连续调频激光器

[发明专利]激光装置-CN201780094223.0有效
发明人：村尾觉志 -专利权人：三菱电机株式会社
申请日： 2017-09-01 - 公布日： 2021-10-26 - 主分类号： H01S3/063 文献下载
摘要：激光装置(1)具有：分支波导(23)，其使来自光放大器(10)的传播光分支成多条光，输出该多条光；多芯波导(27)，其具有分别传播从分支波导(23)输入的该多条光的多个波导芯(24～26)；以及光反射器(31)，其与多芯波导(27)的光输入输出端光学耦合。波导芯(24～26)沿着同一方向延伸，并且相互接近地配置成，该波导芯(24～26)中的相邻的波导芯彼此光学耦合。
激光装置

[发明专利]一种重频可调谐的集成完美孤子晶体频梳源及产生方法-CN202110485077.2在审
发明人：赵卫;肖云峰;王伟强;张文富;卢志舟;陈浩敬;姚璐;龚旗煌 -专利权人：中国科学院西安光学精密机械研究所;北京大学
申请日： 2021-04-30 - 公布日： 2021-10-22 - 主分类号： H01S3/063 文献下载
摘要：本发明涉及一种光学频率梳，具体涉及一种基于微腔的重频可调谐的集成完美孤子晶体频梳源及其产生方法。本发明频梳源包括孤子频梳光学模块、输出端口和控制系统，其中孤子频梳光学模块包括泵浦激光器、控制激光器和高品质因子片上光学微腔。本发明方法利用控制光与泵浦光的拍频产生周期性的光场，用于光时域孤子的捕获，从而实现腔内光孤子的均匀分布；并通过调节控制光的位置，改变微腔内背景场的周期数，实现孤子光频梳重频的调控。本发明所提供的技术方案具有体积小、成本低、光频梳重频可调、稳定性高和可操控性强的优势，解决了微腔光频梳的确定性调控问题。
一种重频可调谐集成完美孤子晶体频梳源产生方法

[发明专利]双结光纤耦合激光二极管及相关方法-CN201780073945.8有效
发明人：德温·厄尔·克劳福德;普拉布·契亚格拉杰;马克·麦克尔希尼 -专利权人：莱昂纳多电子美国公司
申请日： 2017-10-18 - 公布日： 2021-10-22 - 主分类号： H01S3/063 文献下载
摘要：激光二极管装置具有第一波导层，该第一波导层包括与具有第二增益区域的第二波导层串联连接的增益区域。隧道结位于第一和第二引导层之间。单个准直器位于从第一和第二波导层发射的激光束的输出路径中。来自单个准直器的光束可以耦合到光纤中。
光纤耦合激光二极管相关方法

[发明专利]基于掺铒铌酸锂薄膜的分布布拉格反射激光器的制备方法-CN201911389509.9有效
发明人：吴侃;蔡明璐;陈建平 -专利权人：上海交通大学
申请日： 2019-12-30 - 公布日： 2021-10-08 - 主分类号： H01S3/063 文献下载
摘要：一种基于掺铒铌酸锂薄膜的分布布拉格反射激光器的制备方法，本发明采用铌酸锂薄膜作为掺铒的基质材料，可与锁模激光器等优异性能的光器件实现高集成度，有着广阔的应用前景。本发明制备工艺相对简单，损耗较小，性能稳定，具有良好的市场前景。
基于掺铒铌酸锂薄膜分布布拉格反射激光器制备方法

[发明专利]激光汽车灯装置-CN201880050908.X有效
发明人： S·贝尔彻;J·尼科尔森;S·沙代 -专利权人： SMR专利有限公司
申请日： 2018-06-25 - 公布日： 2021-08-06 - 主分类号： H01S3/063 文献下载
摘要：本发明涉及一种激光光源装置(1)，其包括：激光二极管(2)；第一光学组件(5)，包括一个或多个透镜(52，53，54，55)，用于从激光二极管(2)发射的光(23)生成准直的激光束；掺杂的微结构化玻璃块(4)，被配置为当由准直的激光束(23)泵浦时生成至少第一波长和第二波长的激光发射(404，405，406，407)；输入光束透镜(56)，用于将准直的激光束(23)聚焦到微结构化玻璃块(4)的输入表面(41)上；光学对准组件(6)，包括：激光二极管外壳(51)，用于安装和对准激光二极管(2)和第一光学组件(5)；以及微结构化玻璃块安装件(57，58)，被配置为安装和对准输入光束透镜(56)和微结构化玻璃块(4)；输出光导组件，包括至少一个透镜(61)，用于将来自微结构化玻璃块(4)的输出表面(42)的输出光准直成输出光束(25)；以及外壳(7)，用于容纳和支撑光学对准组件(6)和输出光导组件，其中激光二极管外壳(51)被配置为消散来自激光二极管(2)的热量并且由热稳定且具有高导热率的材料构成，以将激光二极管的输出维持在预定的可接受的输出范围内；以及微结构化玻璃块(4)包括至少一个微结构化波导(43)，微结构化波导(43)在由输入光束(23)泵浦时生成多个不同波长的窄带光发射(404，405，406，407)。
激光汽车灯装置

[发明专利]用于激光器的偏振和模式选择技术-CN201811300195.6有效
发明人：彼得·爱德华·迪尔;杰森·罗伯特·李;加文·艾伦·詹姆斯·马克利 -专利权人：英国罗悉激光有限公司
申请日： 2018-11-02 - 公布日： 2021-06-25 - 主分类号： H01S3/063 文献下载
摘要：描述了一种用于气体波导激光器的偏振和模式选择技术，其中波导的表面被形成为基本上介电表面，在所述基本上介电表面中具有局部金属区域。金属区域提供线偏振，而介电表面提供低阶模式选择。描述了具有各种共振腔结构的通道和平面波导的实施例。提供了波导表面上的金属区域的尺寸和位置的范围。
用于激光器偏振模式选择技术

[发明专利]一种半导体外延结构及其制备方法、半导体有源光电器件-CN201910625130.7有效
发明人：吴昊;张星;宁永强 -专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
申请日： 2019-07-11 - 公布日： 2021-05-04 - 主分类号： H01S3/063 文献下载
摘要：本发明公开了一种半导体外延结构及其制备方法、半导体有源光电器件，包括由下至上依次分布的衬底、缓冲层、下包层、下波导层、有源区、上波导层、上包层、盖层以及接触层，下包层的上表面为上凸台结构，下波导层的下表面为下凸台结构，上凸台结构和下凸台结构互补，使上凸台结构和下凸台结构的轮廓重合；上凸台结构的上表面至上波导层上表面构成第一有源波导结构，下凸台结构的下表面至上波导层上表面构成第二有源波导结构，第一有源波导结构的光学限制因子大于第二有源波导结构的光学限制因子，第一有源波导结构的光模式体积小于第二有源波导结构的光模式体积，能够同时提供具有高增益水平和高饱和输出功率水平的功能区域，并保证慢轴光束质量。
一种半导体外延结构及其制备方法有源光电器件

[发明专利]脊波导型激光装置-CN201680088081.2有效
发明人：渡边洋次郎;柳泽隆行 -专利权人：三菱电机株式会社
申请日： 2016-08-17 - 公布日： 2021-03-26 - 主分类号： H01S3/063 文献下载
摘要：在以往的波导型激光装置中，存在当芯使用各向同性的激光介质时不能得到线偏振的问题。本发明的脊波导型激光装置的特征在于，该脊波导型激光装置具有：基板；芯，其被接合于基板，具有激光介质，折射率比基板高；以及包层，其被接合于芯，与芯一起构成脊波导，由寻常光折射率和异常光折射率比芯的折射率低的双折射材料构成，寻常光折射率和异常光折射率不同。
波导激光装置

[发明专利]平面波导型激光装置-CN201680087881.2有效
发明人：正田史生;渡边洋次郎;柳泽隆行 -专利权人：三菱电机株式会社
申请日： 2016-07-28 - 公布日： 2021-03-05 - 主分类号： H01S3/063 文献下载
摘要：在平面波导型激光装置(1)中，在波导(2)的上表面接合有基板(6)。在基板(6)的与激光的振荡方向垂直的端面的靠波导(2)侧的角部形成有倒角而成的形状的凹部(6a)。波导(2)的与激光的振荡方向垂直的端面被涂层(7)包覆。与该涂层(7)连续的绕入部(7a)包覆波导(2)的朝向基板(6)的凹部(6a)的上表面。
平面波导激光装置

[发明专利]一种可实现高效率、大能量、小体积的掺铒楔形波导放大器-CN202010532847.X在审
发明人：李强;邢晓文;惠勇凌;姜枫;雷訇;朱占达 -专利权人：北京工业大学
申请日： 2020-06-12 - 公布日： 2020-10-13 - 主分类号： H01S3/063 文献下载
摘要：本发明公开了一种可实现高效率、大能量、小体积的掺铒楔形波导放大器，采用楔形双包层铒玻璃波导结构，泵浦光多次经过增益介质被充分吸收，增加了增益介质的吸收长度和吸收均匀性，从而改善了热效应，有效提高泵浦吸收效率。采用对1.5um有吸收、对泵浦光不吸收的材料四面包裹增益介质，从而切断自激振荡的回路，改善ASE的影响，提高能量存储效率，提高输出激光能量。本发明的新波导结构体积小、结构紧凑。内外包层对铒玻璃起到热沉的作用，利于增益介质更好地散热，有效地改善了增益介质中心和侧面的温度梯度，减小热效应，大能量输出。采用键合技术制备放大器增益介质，使放大器整体结构更加简单紧凑，易于实现一体化与结构小型化。
一种实现高效率能量体积楔形波导放大器

[发明专利]发射半导体激光器型装置-CN201580080695.1有效
发明人： I·B·彼得雷斯库-普拉霍瓦 -专利权人： I·B·彼得雷斯库-普拉霍瓦
申请日： 2015-06-05 - 公布日： 2020-09-11 - 主分类号： H01S3/063 文献下载
摘要：具有镜面保护的半导体激光器装置包括横向上的具有双波导的结构以及纵向上的主分段和端部分段，所述双波导由有源波导和分离的或相邻的陷波波导组成，所述端部分段的上包层的厚度朝向反射镜逐渐减小。在主分段中，场分布是非对称的，主要位于下包层。在端部分段中，场分布逐渐进一步向下薄层传输。沿着端部分段，基模限制因子Γ逐渐且显著减小。限制因子Γ的减小防止有源区在出口反射镜上的投影的退化，激光元件对退换最敏感。
发射半导体激光器装置

[发明专利]具有锥形芯层厚度的端面泵浦PWG-CN201580043592.8有效
发明人： D·M·费尔格斯;R·D·斯特尔茨 -专利权人：雷神公司
申请日： 2015-08-13 - 公布日： 2020-09-04 - 主分类号： H01S3/063 文献下载
摘要：本发明公开了一种平面型波导器(PWG)，所述平面型波导器具有用于连接到光泵的第一端和与第一端相对的第二端，并且包括：第一覆层；第二覆层；和均匀掺杂的芯层，所述芯层在第一覆层和第二覆层之间，其中芯层为在第一端处具有较小厚度而在第二端处具有较大厚度的锥形，并且其中芯层厚度与覆层厚度的比率在第一端处较小而在第二端处较大。
具有锥形厚度端面 pwg

[发明专利]一种“面发射”波导激光器谐振腔的制备方法-CN201910113237.3有效
发明人：姚一村;张丽强;德特列夫·基普;克里斯汀·埃尔文·豪恩霍斯特;塞吉·索恩索夫;多米内克·布鲁斯克;伊娃·法茨格拉夫 -专利权人：聊城大学
申请日： 2019-02-14 - 公布日： 2020-09-01 - 主分类号： H01S3/063 文献下载
摘要：本发明提供一种新型“面发射”型波导激光谐振腔的设计和制备方案，属于集成光子学器件制备技术领域。在晶体片的侧面制备三条波导，其中两条较短的波导垂直于晶体大面，另一条较长的波导作为主谐振腔，并与前两条波导垂直。三条波导相连构成类“之”字形。利用精密金刚石刀切割的方法，在波导连接处分别切割形成两个沟槽作为全反射镜。其特点及优势主要包括：1.实现了类似半导体VCSEL激光器的面发射特性，有利于波导激光的后续封装；2.使波导激光器结构更为紧凑，降低了光路校对的难度，提高了系统稳定性；3.适用于各类全晶体波导激光器，易于推广。
一种发射波导激光器谐振腔制备方法