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[发明专利]改善硅基光波导工艺鲁棒性的方法-CN202110024201.5在审
发明人：朱继光;宁宁;吴月;潘伯津 -专利权人：联合微电子中心有限责任公司
申请日： 2021-01-08 - 公布日： 2021-05-11 - 主分类号： G02B6/10 文献下载
摘要：本发明提供一改善硅基光波导工艺鲁棒性的方法，包括步骤：提供待刻蚀基底，待刻蚀基底上定义有设计波导图形；确定辅助图形区；进行第一刻蚀形成设计波导图形和辅助图形；进行第二刻蚀去除辅助图形。本发明的改善硅基光波导工艺鲁棒性的方法，在硅基设计图形中不允许添加虚拟图形的区域添加辅助图形结构以形成均匀密集的图形结构，再通过二次刻蚀或多次刻蚀将图形内部的辅助图形刻蚀掉，可在不影响原有图形的基础上进一步提高晶圆最终图形的均匀性，减小设计与工艺之间的差异，还可以对稀疏波导能起到保护作用，一定程度上提高了产品良率，本发明能进一步提高工艺极限，达到更小的波导尺寸。
改善硅基光波导工艺鲁棒性方法

[发明专利]一种采用飞秒激光直写技术在无芯光纤上制备M-Z波导结构的方法-CN202011410019.5在审
发明人：祝连庆;郝思源;张雯;娄小平;董明利;何巍;李红 -专利权人：北京信息科技大学
申请日： 2020-12-03 - 公布日： 2021-04-30 - 主分类号： G02B6/10 文献下载
摘要：本发明提供一种基于飞秒激光直写技术的制备无芯光纤M‑Z波导结构的方法，该方法采用无芯光纤玻璃棒，使用飞秒激光器，通过逐线刻写方式，加工得到M‑Z结构，该方法不需要昂贵的掩模版，易于制作，可重复性高易于实现器件的批量加工，同时，应用此方法得到的无芯光纤M‑Z波导结构灵敏度高，线性度好，适用于折射率传感领域。
一种采用激光技术光纤制备波导结构方法

[发明专利]阵列化光波导柔性触觉传感器的制备方法-CN202010552912.5有效
发明人：赵慧婵;周婧祎;刘辛军;乔飞 -专利权人：清华大学
申请日： 2020-06-17 - 公布日： 2021-04-27 - 主分类号： G02B6/10 文献下载
摘要：阵列化光波导柔性触觉传感器的制备方法，触觉传感器包括依次胶接的柔性光波导触觉敏感层、柔性电路层和柔性衬底层。柔性光波导触觉敏感层包括若干条呈阵列式分布的光波导内芯，以及整体式包覆光波导内芯的光波导包层。柔性电路层包括发光供电端和光信号接收处理端，发光供电端产生光信号，光信号经光波导传输至光信号接收处理端，被光信号接收处理端转变为电信号，并以无线信号方式发送出去。柔性衬底层由柔性材料制成，起保护与辅助固定作用。本发明的触觉传感器可用于触觉信息采集与处理，具有柔顺性高、灵敏度高、空间分辨密度高等优点。结构简单，功耗低，与待测环境集成方便，且在传感面积增加时具有数据代价低的优势。
阵列波导柔性触觉传感器制备方法

[发明专利]光波导结构-CN202011609719.7在审
发明人：高一峰;熊羚鹤;孙理斌;汪杰;陈远 -专利权人：宁波舜宇奥来技术有限公司
申请日： 2020-12-30 - 公布日： 2021-04-09 - 主分类号： G02B6/10 文献下载
摘要：本发明提供了一种光波导结构。光波导结构包括：光波导片；多个耦入光栅，耦入光栅设置在光波导片上，且耦入光栅将外部图像源发出的光耦入到光波导片内；转折光栅，转折光栅用于接收耦入光栅的光，多个耦入光栅绕转折光栅的周向间隔设置；耦出光栅，耦出光栅用于接收转折光栅的光；探测器，探测器为多个，多个探测器分别位于多个耦入光栅远离转折光栅的一侧，以用于接收耦入光栅中未进入转折光栅内的光。本发明解决了现有技术中的光波导结构存在难以实现实时检测的问题。
波导结构

[发明专利]平面波导份步进耦合器-CN201810970268.6有效
发明人： S·R·戴维斯;S·德里韦拉;M·齐埃姆基维茨;D·甘;A·W·斯巴克司;M·H·安德森 -专利权人：美国亚德诺半导体公司
申请日： 2018-08-24 - 公布日： 2021-04-09 - 主分类号： G02B6/10 文献下载
摘要：本公开涉及平面波导份步进耦合器。可以提供光耦合器以将光束耦合到波导中。光耦合器可包括阶梯结构，例如以减少制造期间的困难、减少与制造相关的费用，另外以提供增加的光耦合器的接收角。波导可以包括引导区域，其中覆层厚度可以相对于耦合区域增加，例如以减少由于引导区域中的渐逝外耦合引起的损失。
平面波导步进耦合器

[实用新型]光波导镜片、增强现实显示模组及增强现实显示眼镜-CN202022143881.6有效
发明人：杜凯凯;赵东峰;李琨;臧法珩;赵恩;程鑫;杨镇源 -专利权人：歌尔股份有限公司
申请日： 2020-09-25 - 公布日： 2021-03-30 - 主分类号： G02B6/10 文献下载
摘要：本实用新型公开一种光波导镜片、增强现实显示模组及增强现实显示眼镜，其中，所述光波导镜片包括：第一波导片，所述第一波导片的第一表面设有第一耦入光栅和第一耦出光栅；以及第二波导片，与所述第一波导片的第一表面相对设置，所述第二波导片朝向所述第一波导片的第一表面一侧设有第二耦入光栅和第二耦出光栅，所述第一耦入光栅与所述第二耦入光栅的位置相对应，所述第一耦出光栅与所述第二耦出光栅的位置相对应。本实用新型通过采用第一波导片和第二波导片相互配合，形成一个中空的区域，用于安装光栅，第一波导和第二波导片对光栅起到保护作用，不需要单独设置玻璃来保护光栅，有助于减小光波导镜片的厚度和重量。
波导镜片增强现实显示模组眼镜

[发明专利]一种电光器件及其制造方法-CN202011460458.7在审
发明人：杨妍 -专利权人：中国科学院微电子研究所
申请日： 2020-12-11 - 公布日： 2021-03-26 - 主分类号： G02B6/10 文献下载
摘要：本发明公开了一种电光器件及其制造方法，涉及光器件制造技术领域，以减小电光器件在使用过程中半导体衬底的微波损耗，进而提高电光器件的带宽和数据率。该电光器件包括：基底，该基底包括衬底，以及形成在衬底上的光波导；沿基底的厚度方向，基底上形成有贯穿衬底的第一开口槽，第一开口槽与光波导相对设置；第一开口槽内填充有空气或低介电损耗材料，低介电损耗材料的介电损耗因子小于衬底的介电损耗因子。
一种电光器件及其制造方法

[发明专利]光波导结构及其制备方法-CN201910907958.1在审
发明人：王子诙 -专利权人：宇目（厦门）科技有限公司
申请日： 2019-09-23 - 公布日： 2021-03-23 - 主分类号： G02B6/10 文献下载
摘要：本发明提供一种光波导结构及其制备方法，光波导结构包括：第一光波导主体结构，第一光波导主体结构包括相对的第一表面及第二表面，第一光波导主体结构的第一表面为平面，第一光波导主体结构的第二表面形成有粘合面阵列结构；第二光波导主体结构，第二光波导主体结构包括相对的第一表面及第二表面，第二光波导主体结构的第一表面为平面，第二光波导主体结构的第二表面形成有反射面阵列结构；第二光波导主体结构贴合于第一光波导主体结构的表面上，粘合面阵列结构的表面与反射面阵列结构的表面完全贴合。本发明的光波导结构可以扩大光波导结构的出瞳范围，降低光波导结构的厚度；同时具有结构简单、制备步骤简单及成本较低等优点。
波导结构及其制备方法

[发明专利]光子结构-CN202010988554.2在审
发明人：陈建宏;徐敏翔 -专利权人：台湾积体电路制造股份有限公司
申请日： 2020-09-18 - 公布日： 2021-03-23 - 主分类号： G02B6/10 文献下载
摘要：提供光子结构，光子结构包含半导体基底、位于半导体基底之上的埋藏氧化物层、位于埋藏氧化物层之上的光耦合区、以及埋入半导体基底中的氧化物结构。光耦合区朝着光耦合区的端点渐缩，此端点位于半导体基底的边缘。在平面图中，光耦合区重叠氧化物结构。
光子结构

[发明专利]使用矩形波导的孔径倍增器-CN201780003193.8有效
发明人：尤查·丹齐格 -专利权人：鲁姆斯有限公司
申请日： 2017-09-12 - 公布日： 2021-03-16 - 主分类号： G02B6/10 文献下载
摘要：一种光学孔径倍增器，包含：一第一光学波导(10)，具有一矩形横截面以及包含与所述波导的一延伸方向形成一倾斜角度的多个部分反射表面(40)；及一第二光学波导(20)，也包含呈一倾斜角度的多个部分反射表面(45)，并与所述第一光学波导(10)光学相耦合。一图像以一倾斜耦合角的一初始传播方向耦合进入到所述第一光学波导中，并沿着所述第一光学波导通过四重内反射而前进，所述图像以一强度比例在所述多个部分反射表面上反射，以便耦合进入到所述第二光学波导中，并接着在所述第二光学波导内通过双重反射进行传播，所述图像并以一强度比例在所述多个部分反射表面反射，以便从所述多个平行面中的一个向外导出而成为一可视图像。
使用矩形波导孔径倍增器

[发明专利]悬浮介质中的波导束制作-CN201780053207.7有效
发明人： G·C·多吉阿米斯;S·N·奥斯特;T·卡姆嘎因;A·A·埃尔谢尔比尼;J·M·斯旺;S·M·利夫;A·阿列克索夫;B·M·罗林斯;R·J·迪施勒 -专利权人：英特尔公司
申请日： 2017-08-17 - 公布日： 2021-02-26 - 主分类号： G02B6/10 文献下载
摘要：一种设备包括：多个波导，其中，所述波导包括电介质材料；外壳；以及处于所述外壳内的支撑特征，其中，所述波导被布置为通过所述支撑特征在所述外壳内相互分开。
悬浮介质中的波导制作

[发明专利]一种介质柱光子晶体光波导转折光栅结构及近眼显示系统-CN202011225023.4在审
发明人：吕晨曦 -专利权人：安徽熙泰智能科技有限公司
申请日： 2020-11-05 - 公布日： 2021-02-09 - 主分类号： G02B6/10 文献下载
摘要：本发明公开了一种介质柱光子晶体光波导转折光栅结构及近眼显示系统，所述介质柱光子晶体光波导转折光栅结构由多个等间隔设置的介质柱组成，通过减少介质柱以沿光束的传输方向上形成有输入波导区、微环微腔区、输出波导区以及扩瞳区；其中，所述微环微腔区置于所述输入波导区的上方以及所述输出波导区的下方。该介质柱光子晶体光波导转折光栅结构可以减小光传播过程中的损耗，并且可以尽可能减小整个转折光栅的面积。
一种介质光子晶体波导转折光栅结构显示系统

[发明专利]均匀性补偿方法、光波导系统及增强现实设备-CN201911162787.0有效
发明人：饶轶;刘德安 -专利权人：歌尔股份有限公司
申请日： 2019-11-21 - 公布日： 2021-02-05 - 主分类号： G02B6/10 文献下载
摘要：本发明公开一种均匀性补偿方法、光波导系统及增强现实设备，所述光波导包括第一光波导与第二光波导，所述方法包括：获取所述第一光波导的第一亮度分布与所述第二光波导的第二亮度分布；根据所述第一亮度分布与所述第二亮度分布确定所述第一光波导的第一亮度分布方向与所述第二光波导的第二亮度分布方向；根据所述第一亮度分布方向确定所述第一光波导的第一摆放方式以及根据所述第二亮度分布方向确定所述第二光波导的第二摆放方式。本发明提供一种均匀性补偿方法、光波导系统及增强现实设备，旨在解决现有技术中由于光波导设计和加工误差导致的耦出区域亮度不同，图像不均匀的问题。
均匀补偿方法波导系统增强现实设备

[发明专利]基于光波导结构的微驱动器-CN201910682015.3有效
发明人：方玉明;沈林坤;李若舟;严静;于映 -专利权人：南京邮电大学
申请日： 2019-07-26 - 公布日： 2021-01-26 - 主分类号： G02B6/10 文献下载
摘要：本发明涉及一种基于光波导结构的微驱动器，其结构包括光波导层和驱动臂两部分。其中，光波导层含有光波导结构和光热转换区域；光波导层和驱动臂两层或者多层以上下叠加的形式组合而成。其中，所述光波导层可为单层或者多层，光波导结构可为直波导、“U”形波导、Y分支、定向耦合器、环形谐振腔、波导光栅或马赫‑曾德尔结构及其变换形式，光热转换区可位于光波导结构的芯层或者包层或者驱动臂或者光热转换区位于光波导层和驱动臂之间或者光波导层表面。本发明提供的基于光波导结构的微驱动器，利用光波导结构控制入射的光信号的导模传输，有利于实现微光机电系统的小型化，集成化和多重控制。
基于波导结构驱动器

[发明专利]超导块、超导纳米晶体、超导器件及其方法-CN201980028962.9在审
发明人： A·潘迪;D·K·塔帕;S·K·萨哈 -专利权人：印度科学研究院
申请日： 2019-03-11 - 公布日： 2021-01-22 - 主分类号： G02B6/10 文献下载
摘要：本发明提供一种超导块，包括一对核，所述核的材料在其常态下具有导电性。该对核以居间的质心距离嵌入在壳中，所述壳的材料在其常态下具有导电性。嵌入的一对核和壳被构造成具有超导性。本发明还提供至少具有超导块的超导纳米晶体。本发明还提供至少具有超导块和超导纳米晶体的超导器件。本发明还提供一种制造超导块和超导晶体的方法。本发明提供超导体(超导块、超导纳米晶体)，其可用于在高温下获得超导性，该高温对应于地球环境中的温度甚至更高的温度。
超导纳米晶体器件及其方法