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[实用新型]一种扫描探针显微镜-CN201922490543.7有效
发明人：张磊 -专利权人：苏州衡微仪器科技有限公司
申请日： 2019-12-31 - 公布日： 2020-09-18 - 主分类号： G01Q30/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种扫描探针显微镜，包括机架、用于吊挂机架的弹性件、可在竖直平面内沿Z向往复移动的设于机架上的探针、可在水平面内分别沿X向和Y向往复移动的设于机架上的且位于探针下方的样品台、可三轴移动（X向、Y向和Z向）的设于机架上的安装组件、设于安装组件中的且位于探针上方的反射镜、可三轴移动的设于机架上的且连接在安装组件上的位移调节组件；位移调节组件、反射镜、探针同轴延伸，位移调节组件中开设有用于让光线自下而上穿过并照射反射镜的中空间隙；显微镜还包括设于中空间隙下方的光电探测器。本实用新型扫描探针显微镜，通过将控制反射镜移动的位移调节组件同轴设于反射镜下方，使显微镜重心居中，测量精度较高。
一种扫描探针显微镜

[发明专利]基于扫描探针的光路减震装置及方法-CN201710196841.8有效
发明人：蓝剑越;刘争晖;徐耿钊;钟海舰;陈科蓓;张春玉;徐科 -专利权人：中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
申请日： 2017-03-29 - 公布日： 2020-06-23 - 主分类号： G01Q30/00 文献下载
摘要：本发明提供一种基于扫描探针的光路减震装置及方法，用于减少光路振动，所述装置包括控制器、第一扫描振镜及一第二扫描振镜、第一采样镜及第二采样镜、第一四象限光探测器及第二四象限光探测器。本发明的优点在于，通过四象限光探测器感应光路中光信号，并将其位置信息进行实时反馈，通过扫描振镜调节光源的光路，使得样品上的光斑位置相对样品保持稳定不变，实现控制光斑稳定不漂移。本发明方法在减少光路振动的基础上，提高了扫描探针显微镜在材料表面光电测量上的稳定性和可靠性，提升了扫描探针显微镜在微区光电响应表征的准确度。
基于扫描探针减震装置方法

[发明专利]一种扫描探针显微镜-CN201911409382.2在审
发明人：张磊 -专利权人：苏州衡微仪器科技有限公司
申请日： 2019-12-31 - 公布日： 2020-03-31 - 主分类号： G01Q30/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种扫描探针显微镜，包括机架、用于吊挂机架的弹性件、可在竖直平面内沿Z向往复移动的设于机架上的探针、可在水平面内分别沿X向和Y向往复移动的设于机架上的且位于探针下方的样品台、可三轴移动（X向、Y向和Z向）的设于机架上的安装组件、设于安装组件中的且位于探针上方的反射镜、可三轴移动的设于机架上的且连接在安装组件上的位移调节组件；位移调节组件、反射镜、探针同轴延伸，位移调节组件中开设有用于让光线自下而上穿过并照射反射镜的中空间隙；显微镜还包括设于中空间隙下方的光电探测器。本发明扫描探针显微镜，通过将控制反射镜移动的位移调节组件同轴设于反射镜下方，使显微镜重心居中，测量精度较高。
一种扫描探针显微镜

[发明专利]扫描型探针显微镜-CN201910303073.0在审
发明人：渡边一马;藤野敬太;饭田荣治;平出雅人;山崎贤治;中岛秀郎;池田雄一郎;新井浩 -专利权人：株式会社岛津制作所
申请日： 2019-04-16 - 公布日： 2019-10-29 - 主分类号： G01Q30/00 文献下载
摘要：本发明提供一种能够缩短微小对象物体的观察时间的扫描型探针显微镜。通过对每条线(L)重复下述处理，来基于多条线(L)的测定范围(R)内的检测信号执行用于获取样品的表面图像的正式测定：即，一边使悬臂在沿X方向的规定长度的线(L)上进行扫描，一边以规定的第1间隔(D11)获取到检测信号后，使悬臂以规定的第2间隔(D12)在Y方向上进行扫描。在正式测定前，通过以比第1间隔(D11)宽的间隔来获取检测信号，或者使悬臂以比第2间隔(D12)宽的间隔在Y方向上进行扫描，来执行用于获取比正式测定粗的样品的表面图像的预备测定。
检测信号悬臂探针显微镜扫描表面图像扫描型微小对象粗的预备重复观察

[实用新型]一种简易自组装的扫描探针显微镜减震结构-CN201821735621.4有效
发明人：熊启红;黄大刚 -专利权人：苏州海兹思纳米科技有限公司
申请日： 2018-10-25 - 公布日： 2019-07-23 - 主分类号： G01Q30/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种简易自组装的扫描探针显微镜减震结构，包括底座，所述底座的上端一侧外表面固定安装有一号三角板，所述底座的上端另一侧外表面固定安装有二号三角板，所述底座的上端中部外表面固定安装有套筒，所述套筒的上端设置有支撑柱，所述支撑柱的上端外表面固定安装有圆盘，所述套筒的下端中部内表面固定安装有吸盘，所述底座的一侧外表面固定安装有一号圆环。本实用新型所述的一种简易自组装的扫描探针显微镜减震结构，设有吸盘、底座与圆盘，能够增加套筒与支撑柱连接的紧密性，还能使整体结构具有良好的减震能力，还可以方便安装扫描探针显微镜，带来更好的使用前景。
底座扫描探针显微镜上端套筒减震结构支撑柱自组装吸盘本实用新型简易三角板上端外表面减震能力紧密性内表面下端圆环

[实用新型]一种原子力显微镜拉簧减震调节器-CN201821738032.1有效
发明人：熊启红;黄大刚 -专利权人：苏州海兹思纳米科技有限公司
申请日： 2018-10-25 - 公布日： 2019-06-07 - 主分类号： G01Q30/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种原子力显微镜拉簧减震调节器，包括减震调节器主体，所述减震调节器主体的中部内表面设置有二号连接板，所述二号连接板的下端中部外表面设置有伸缩器，所述二号连接板的上端外表面设置有拉簧，所述拉簧的上端外表面设置有一号连接板。本实用新型所述的一种原子力显微镜拉簧减震调节器，设有可视维修板、防潮板与照明器，能够方便人们对减震调节器内部进行观察，也方便人们对内部进行维修，便于人们使用，并能防止减震调节器内部受潮，防止内部拉簧生锈，对其起到了一个保护作用，便于人们使用，还可以在使用原子力显微镜的时候，便于人们照明，带来更好的使用前景。
减震调节器拉簧原子力显微镜连接板本实用新型上端外表面防潮板内表面伸缩器维修板照明器受潮可视生锈下端维修观察

[发明专利]实时基线确定的力测量-CN201480075041.5有效
发明人：刘长春;B·皮腾杰;胡水清;苏全民 -专利权人：布鲁克公司
申请日： 2014-12-08 - 公布日： 2019-02-19 - 主分类号： G01Q30/00 文献下载
摘要：一种原子力显微镜(AFM)及其方法，提供较小力的(sub‑20pN)AFM控制，并提供力学性能测试。优选实施例采用实时的虚假偏转修正/辨别，通过适应性地修改驱动倾斜来符合偏转伪影。
实时基线确定测量

[发明专利]扫描型探针显微镜-CN201710976079.5在审
发明人：小林宽治;平出雅人 -专利权人：株式会社岛津制作所
申请日： 2017-10-19 - 公布日： 2018-04-27 - 主分类号： G01Q30/00 文献下载
摘要：本发明提供一种扫描型探针显微镜，即使是分束器能够移动的结构也能够高精度地进行观察。在确认扫描型探针显微镜(1)中的试样(S)和悬臂(4)的位置的情况下，用户使光学显微镜(10)与壳体(2)的上表面(21)的第一开口部(21a)相向配置，通过把持并旋转设置于壳体(2)的侧面(22)的操作部，来使被保持部保持的分束器(6)在壳体(2)内旋转移动，从光学显微镜(10)的视场内退出。因此，能够始终将分束器(6)配置在壳体(2)内，从而能够防止用户触碰到分束器(6)。其结果，能够防止分束器(6)损坏、污垢附着于分束器(6)。另外，能够缩短分束器(6)的移动距离。因此，能够抑制分束器(6)的位置产生偏移。
扫描探针显微镜

[发明专利]一种高精度压电陶瓷扫描器-CN201610535874.6在审
发明人：熊启红;张贤;朱峥嵘;黄大刚 -专利权人：苏州海兹思纳米科技有限公司
申请日： 2016-07-09 - 公布日： 2018-01-16 - 主分类号： G01Q30/00 文献下载
摘要：本发明涉及到电镜技术领域，尤其涉及一种高精度压电陶瓷扫描器。该高精度压电陶瓷扫描器，包括支架、压电陶瓷管本体、外壳、盖子、导线一、导线二、连接器和陶瓷管，所述支架固定在外壳的一端内部。本发明所涉及的一种高精度压电陶瓷扫描器，在保证了扫描精度的同时，它的工艺制作简单，成功率高，同时成本较低，应用在扫描隧道显微镜和扫描探针显微镜上，适合产业化生产。
一种高精度压电陶瓷扫描器

[实用新型]一种用于原子力显微镜的新型简易防震装置-CN201621410950.2有效
发明人：熊启红;黄大刚 -专利权人：苏州承祚纳米科技有限公司
申请日： 2016-12-22 - 公布日： 2017-07-21 - 主分类号： G01Q30/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及到显微镜技术领域，尤其涉及一种用于原子力显微镜的新型简易防震装置。该用于原子力显微镜的新型简易防震装置，包括底板、显微镜置物板、弹簧、支腿、显微镜放置底座和显微镜护板。本实用新型所涉及的一种用于原子力显微镜的简易防震装置，该种用于原子力显微镜的简易防震装置的结构简单实用，成本低，弹簧的存在使得防震效果好，小弹簧能够二次对显微镜进行减震；显微镜护板上的显微镜放置底座之间形成手槽能够有效的防止显微镜放置时对手的伤害；该用于原子力显微镜的简易防震装置操作非常方便，提高了原子力显微镜的测量效果，适合推广使用。
一种用于原子显微镜新型简易防震装置

[实用新型]砂轮检测装置-CN201521015697.6有效
发明人：王增;郭强;付连宇 -专利权人：深圳市金洲精工科技股份有限公司
申请日： 2015-12-09 - 公布日： 2016-04-27 - 主分类号： G01Q30/00 文献下载
摘要：本实用新型适用于砂轮检测技术领域，公开了一种砂轮检测装置，砂轮检测装置包括砂轮轴、砂轮轴连接架和固定座，砂轮轴可调节式转动连接于砂轮轴连接架；砂轮轴连接架的另一端可调节式转动连接于固定座，砂轮轴连接架连接有旋转摇柄，旋转摇柄的旋转中心轴线与砂轮轴的旋转中心轴线相互垂直。本实用新型所提供的砂轮检测装置，可以很方便地将砂轮的任意一面的任意位置调整至显微设备的镜头前，无需对砂轮进行破坏也可以对砂轮进行任意局部检测，且整个检测过程简单易行，检测成本低，经检测、修整后的砂轮可以继续安装至加工设备上继续工作，可以有效地跟踪砂轮的加工效果，利于提高砂轮的加工性能。
砂轮检测装置

[发明专利]砂轮检测装置和砂轮检测方法-CN201510908998.X在审
发明人：王增;郭强;付连宇 -专利权人：深圳市金洲精工科技股份有限公司
申请日： 2015-12-09 - 公布日： 2016-03-16 - 主分类号： G01Q30/00 文献下载
摘要：本发明适用于砂轮检测技术领域，公开了一种砂轮检测装置和砂轮检测方法。砂轮检测装置包括砂轮轴、砂轮轴连接架和固定座，砂轮轴的一端为穿入砂轮中心孔的连接端，所述砂轮轴的另一端可调节式转动连接于所述砂轮轴连接架一端的一侧；砂轮轴连接架的另一端可调节式转动连接于固定座，砂轮轴连接有旋转摇柄，旋转摇柄与所述砂轮轴的旋转中心轴线相互垂直。砂轮检测方法采用上述的砂轮检测装置。本发明所提供的砂轮检测装置和砂轮检测方法，可以很方便地将砂轮的任意一面的任意位置调整至显微设备的镜头前，无需对砂轮进行破坏也可以对砂轮进行任意局部检测，且整个检测过程简单易行，检测成本低，且可以有效地跟踪砂轮的加工效果。
砂轮检测装置方法

[实用新型]一种扫描探针显微镜的探针与样品趋近装置-CN201420713051.4有效
发明人：韩雄;钱锋;王矛宏;罗力 -专利权人：苏州飞时曼精密仪器有限公司
申请日： 2014-11-24 - 公布日： 2015-04-22 - 主分类号： G01Q30/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种扫描探针显微镜的探针与样品趋近装置，包括底座，底座上设有样品台，样品台上端均匀设有若干固定架，固定架上端设有扫描探头，扫描探头内部设有与探针相匹配的探针架，样品台设置于探针架的前端，样品台内部设有可进行三维移动的样品移动装置，样品移动装置内设有扫描器，扫描器设置连接有位于样品移动装置内的Z向移动导轨，样品移动装置设有控制装置。本实用新型的有益效果为：结构简单，容易操作，通过将扫描探头与样品台的结构一体化，使得两者之间结构回路缩短，有效降低了探针与样品之间的机械噪音，提高了仪器的精度和抗干扰性；另外在样品趋近时，样品能够完全垂直的接近探针，实现了对样品扫描区域的精确定位。
一种扫描探针显微镜样品趋近装置

[实用新型]一种扫描探针显微镜的专用样品台-CN201420550350.0有效
发明人：屈泽华 -专利权人：复旦大学
申请日： 2014-09-24 - 公布日： 2015-03-04 - 主分类号： G01Q30/00 文献下载
摘要：本实用新型属于实验设备技术领域，具体为一种扫描探针显微镜的专用样品台，它的底座是基台，上方是一个夹具体，夹具体可为圆形、方形、多边形环状，夹具体一端固定于基台上，另一端可滑动，两端连接处一端用固定螺栓定位，另一端用连杆螺栓连接。同时夹具上方带有边框。本样品台可以固定无法用双面胶固定的样品，保证样品固定不动和样品不变型，从而达到可以用扫描探针显微镜测试样品的目的。
一种扫描探针显微镜专用样品

[发明专利]一种扫描探针显微镜的探针与样品趋近装置及方法-CN201410682303.6在审
发明人：韩雄;钱锋;王矛宏;罗力 -专利权人：苏州飞时曼精密仪器有限公司
申请日： 2014-11-24 - 公布日： 2015-02-25 - 主分类号： G01Q30/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种扫描探针显微镜的探针与样品趋近装置，包括底座，底座上设有样品台，样品台上端均匀设有若干固定架，固定架上端设有扫描探头，扫描探头内部设有与探针相匹配的探针架，样品台设置于探针架的前端，样品台内部设有可进行三维移动的样品移动装置，样品移动装置内设有扫描器，扫描器设置连接有位于样品移动装置内的Z向移动导轨，样品移动装置设有控制装置。本发明的有益效果为：本装置结构简单，容易操作，通过将扫描探头与样品台的结构一体化，使得两者之间结构回路缩短，有效降低了探针与样品之间的机械噪音，提高了仪器的精度和抗干扰性；另外在样品趋近时，样品能够完全垂直的接近探针，实现了对样品扫描区域的精确定位。
一种扫描探针显微镜样品趋近装置方法