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- [实用新型]超微质量及超微载荷变化量检测装置-CN03247843.7无效
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傅惠南
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广东工业大学
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2003-06-30
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2004-08-25
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G01N13/16
- 本实用新型涉及一种检测装置，具体说涉及一种超微质量及超微载荷变化量检测装置。包括有机体(1)，原子力显微镜检测装置(27)，弹性测微装置(26)，所述弹性测微装置(26)通过螺杆(2)与机体(1)连接，弹性测微装置(26)与机体(1)之间装有压缩弹簧(3)。本实用新型设计一种装置，该装置一方面能够以扫描探针显微镜超微分辨能力进行微观量的探测，另一方面又适应于通常工程技术领域中微观量的精密检测。检测的物理量经过处理容易适用于对过程的监控、计算、转换。本实用新型将使工程上获得一种十分精密的超微质量和超微载荷变化量的检测手段，采用本实用新型，将使微质量和超微载荷变化量的检测变得相对容易。适用范围广，相对操作条件简化。
- 质量载荷变化检测装置
- [实用新型]微尺寸探针测头-CN03260010.0无效
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孙涛;阎永达;董申;王洪祥
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哈尔滨工业大学
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2003-05-28
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2004-05-19
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G01N13/16
- 一种微尺寸探针测头，包括微探针、电容测微仪，其特征在于碟形测头支架中心孔内安装有微探针殷钢支架，带有微探针的微悬臂固定在微探针殷钢支架上，双向调整支架装配在碟形测头支架的两端，双向调整支架分别装有激光器和位置检测器，碟形测头支架的上端安装有精密电极平板和压电陶瓷管，其内部有与精密电极平板有测量间隙的电容测微测量电极。激光器的下部设有准直透镜。本实用新型设计合理，垂直方向位置灵敏度小于±2nm，测量精度高，能够完成微纳米特征的位置与尺寸高精度测量；微探针半径非常尖锐，可达20～30nm，特别适用于微结构尺寸(如微沟槽、微台阶结构等)的测量；最大可以测量的倾斜角度为±30°，可以实现三维测量。
- 尺寸探针
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