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[发明专利]微机械零件三维加工装置-CN200410013586.1无效
发明人：孙涛;阎永达;胡振江;梁迎春;张龙江;董申 -专利权人：哈尔滨工业大学
申请日： 2004-02-27 - 公布日： 2005-01-05 - 主分类号： B23Q1/25 文献下载
摘要：微机械零件三维加工装置，它属于纳米加工装置。现有的基于扫描探针显微镜的加工还只局限于平面二维微图形，没有形成一整套类似于超精密金刚石车削加工的加工机理与相关技术。本发明包括机械台体(1)、设置在机械台体(1)上的三维粗动工作台(2)，在机械台体(1)上设有加工头部件(3)和光学系统(4)，在三维粗动工作台(2)上设有主轴系统(5)，所述三维粗动工作台(2)、加工头部件(3)、光学系统(4)、主轴系统(5)都与控制系统(6)相连。本发明产品具有精度高、效果好的优点。
微机零件三维加工装置

[实用新型]微尺寸探针测头-CN03260010.0无效
发明人：孙涛;阎永达;董申;王洪祥 -专利权人：哈尔滨工业大学
申请日： 2003-05-28 - 公布日： 2004-05-19 - 主分类号： G01N13/16 文献下载
摘要：一种微尺寸探针测头，包括微探针、电容测微仪，其特征在于碟形测头支架中心孔内安装有微探针殷钢支架，带有微探针的微悬臂固定在微探针殷钢支架上，双向调整支架装配在碟形测头支架的两端，双向调整支架分别装有激光器和位置检测器，碟形测头支架的上端安装有精密电极平板和压电陶瓷管，其内部有与精密电极平板有测量间隙的电容测微测量电极。激光器的下部设有准直透镜。本实用新型设计合理，垂直方向位置灵敏度小于±2nm，测量精度高，能够完成微纳米特征的位置与尺寸高精度测量；微探针半径非常尖锐，可达20～30nm，特别适用于微结构尺寸(如微沟槽、微台阶结构等)的测量；最大可以测量的倾斜角度为±30°，可以实现三维测量。
尺寸探针